[實用新型]防止成膜熱損傷的卷取式ITO成膜裝置

有效

• 申請號: 201520826715.2
• 申請日: 2015-10-23
• 公開（公告）號: CN205077128U
• 公開（公告）日: 2016-03-09
• 發明（設計）人: 由龍;黃振革
• 申請（專利權）人: 山東金鼎電子材料有限公司
• 主分類號: C23C14/08
• 分類號: C23C14/08;C23C14/34
• 代理公司: 北京海虹嘉誠知識產權代理有限公司 11129
• 代理人: 陳雙喜

1.一種防止成膜熱損傷的卷取式ITO成膜裝置，其特征在于：包括密封腔體，以及設置于密封腔體內的放料輥、卷取輥、濺射主輥、靶材，所述放料輥及卷取輥分別位于密封腔體內兩側，所述濺射主輥處于放料輥與卷取輥之間的下方，所述濺射主輥內部為中空結構，內部設有冷卻系統。

2.根據權利要求1所述防止成膜熱損傷的卷取式ITO成膜裝置，其特征在于：所述冷卻系統為水循環系統。

3.根據權利要求1所述防止成膜熱損傷的卷取式ITO成膜裝置，其特征在于：還包括有除靜電裝置，所述除靜電裝置設于卷取輥旁，并且該除靜電裝置生成的帶電粒子射向卷取輥上的ITO薄膜。

4.根據權利要求1所述防止成膜熱損傷的卷取式ITO成膜裝置，其特征在于：還包括有放料導輥和收料導輥，所述放料導輥包括第一放料導輥和第二放料導輥，第一放料導輥處于放料輥及濺射主輥之間，并且位于放料輥的右下方，第二放料導輥位于第一放料導輥下方；所述收料導輥包括第一收料導輥和第二收料導輥，第二收料導輥處于卷取輥左下方，第一收料導輥位于第二收料導輥和濺射主輥之間。

5.根據權利要求4所述防止成膜熱損傷的卷取式ITO成膜裝置，其特征在于：還包括有張力擺輥、展平輥，所述張力擺輥在第二放料導輥的左下方，所述展平輥在張力擺輥的左下方。

6.根據權利要求5所述防止成膜熱損傷的卷取式ITO成膜裝置，其特征在于：所述放料輥上的基材按順序經過第一放料導輥和第二放料導輥外側，張力擺輥、展平輥內側，濺射主輥，第一收料導輥內側，第二收料導輥外側后，到卷取輥收卷。

7.根據權利要求1或4所述防止成膜熱損傷的卷取式ITO成膜裝置，其特征在于：所述濺射主輥和第一收料導輥與地線相連接。

8.根據權利要求5所述防止成膜熱損傷的卷取式ITO成膜裝置，其特征在于：所述展平輥從中軸線開始往兩邊設有對稱螺紋，該展平輥主要由丁晴橡膠添加靜電液生成。

9.根據權利要求1所述防止成膜熱損傷的卷取式ITO成膜裝置，其特征在于：所述靶材包括有第一靶材、第二靶材和第三靶材，第一靶材和第三靶材分別設于濺射主輥左右兩側的密封腔體壁面上，第二靶材設于濺射主輥下方的密封腔體壁面上。