[實用新型]一種硅片清洗系統有效
| 申請號： | 201520820350.2 | 申請日： | 2015-10-21 |
| 公開（公告）號： | CN205146761U | 公開（公告）日： | 2016-04-13 |
| 發明（設計）人： | 徐海濤 | 申請（專利權）人： | 青島金匯源電子有限公司 |
| 主分類號： | B08B3/02 | 分類號： | B08B3/02;H01L21/67 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 266400 山*** | 國省代碼： | 山東;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 硅片 清洗 系統 | ||
【權利要求書】：
1.一種硅片清洗系統，其特征在于：包括依次連接的噴淋組件、儲水池和 硅片清洗機，其中，噴淋組件的出水口通過出水管路與儲水池的進水口相連， 硅片清洗機的進水口通過進水管路與儲水池的出水口相連；
所述的噴淋組件包括清洗槽、設于槽體上方的硅片滾筒傳輸裝置和設置在 硅片滾筒傳輸裝置上方用于噴射清洗硅片的多個噴淋管，所述的噴淋組件的出 水口位于清洗槽上。
2.根據權利要求1所述的一種硅片清洗系統，其特征在于：噴淋組件與儲 水池之間的出水管路上設置有袋式過濾器。
3.根據權利要求1所述的一種硅片清洗系統，其特征在于：噴淋組件的出 水口水平位置高于儲水池的進水口，儲水池的出水口水平位置高于硅片清洗機 的進水口。
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