[實用新型]一種擴散用的石英舟有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201520797178.3 | 申請日： | 2015-10-14 |
| 公開（公告）號： | CN205122616U | 公開（公告）日： | 2016-03-30 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 方結(jié)彬;秦崇德;石強;黃玉平;何達(dá)能;陳剛 | 申請（專利權(quán)）人： | 廣東愛康太陽能科技有限公司 |
| 主分類號： | H01L31/18 | 分類號： | H01L31/18;H01L21/673 |
| 代理公司： | 佛山市中迪知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 44283 | 代理人： | 張伶俐 |
| 地址： | 528100 廣東*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 擴散 石英 | ||
1.一種擴散用的石英舟，包括舟架和橫梁，舟架與橫梁固定連接，橫梁上設(shè)有用于放置硅片的插槽和隔離硅片的凸片，其特征在于，位于橫梁左側(cè)和中部的凸片的寬度小于位于橫梁右側(cè)凸片的寬度。
2.如權(quán)利要求1所述一種擴散用的石英舟，其特征在于，所述橫梁左側(cè)和中部的凸片的寬度相同。
3.如權(quán)利要求1所述一種擴散用的石英舟，其特征在于，位于橫梁左側(cè)和中部的插槽的槽寬小于位于橫梁右側(cè)插槽的槽寬。
4.如權(quán)利要求1所述一種擴散用的石英舟，其特征在于，所述橫梁左側(cè)和中部的插槽的槽寬相同。
5.如權(quán)利要求1所述一種擴散用的石英舟，其特征在于，所述橫梁數(shù)量為三根。
6.如權(quán)利要求5所述一種擴散用的石英舟，其特征在于，三根橫梁呈三角形分布。
7.如權(quán)利要求5所述一種擴散用的石英舟，其特征在于，所述橫梁的其中兩根水平放置，另外一根位于前述兩根橫梁的上方。
8.如權(quán)利要求1所述一種擴散用的石英舟，其特征在于，所述橫梁左側(cè)和中部的凸片的寬度為1～2mm，橫梁右側(cè)凸片的寬度為2.5～3.5mm。
9.如權(quán)利要求1所述一種擴散用的石英舟，其特征在于，所述橫梁左側(cè)和中部的插槽的槽寬為1～2mm，橫梁右側(cè)插槽的槽寬為2.5～3.5mm。
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H01L 半導(dǎo)體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L31-00 對紅外輻射、光、較短波長的電磁輻射，或微粒輻射敏感的，并且專門適用于把這樣的輻射能轉(zhuǎn)換為電能的，或者專門適用于通過這樣的輻射進行電能控制的半導(dǎo)體器件；專門適用于制造或處理這些半導(dǎo)體器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半導(dǎo)體本體為特征的
H01L31-04 .用作轉(zhuǎn)換器件的
H01L31-08 .其中的輻射控制通過該器件的電流的，例如光敏電阻器
H01L31-12 .與如在一個共用襯底內(nèi)或其上形成的，一個或多個電光源，如場致發(fā)光光源在結(jié)構(gòu)上相連的，并與其電光源在電氣上或光學(xué)上相耦合的
