[實用新型]一種探針卡

有效

• 申請號: 201520793943.4
• 申請日: 2015-10-14
• 公開（公告）號: CN204989257U
• 公開（公告）日: 2016-01-20
• 發明（設計）人: 謝翠萍;莫保章;王靚
• 申請（專利權）人: 上海華力微電子有限公司
• 主分類號: G01R1/067
• 分類號: G01R1/067
• 代理公司: 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237
• 代理人: 智云

技術領域

本實用新型涉及一種探針卡，應用于微電子技術領域。

背景技術

微電子技術是隨著集成電路，尤其是超大型規模集成電路而發展起來的一門新的技術。微電子技術包括系統電路設計、器件物理、工藝技術、材料制備、自動測試以及封裝、組裝等一系列專門的技術，微電子技術是微電子學中的各項工藝技術的總和。微電子技術中，半導體硅片在完成所有制程工藝后，需要針對硅片上的各種測試結構進行電性測試，即晶片允收測試(WAT測試，WaferAcceptanceTest)。通過對WAT數據的分析，可以發現半導體制程工藝中的問題，幫助制程工藝進行調整。通常，在晶圓制程完成后，對晶圓進行晶片允收測試。通過探針卡上的探針與晶圓芯片上的焊墊或凸塊直接接觸，引出芯片訊號，再配合周邊測試儀器與軟件控制達到自動化量測的目的。探針卡通常需要固定在探針臺上，探針卡的取放工作顯得非常重要。現有技術的探針臺向下凹陷，形成與探針卡相對應的圓槽，即探針卡放置區域。為了方便取放探針卡，在圓槽邊緣上設置有凹槽，同時，在圓槽底部設置有凸起的固定點，用于固定探針卡。由于凹槽的深度與探針卡的厚度相同，同時探針卡表面沒有把手或其他著力點，使得探針卡的取放非常不方便，還容易將置于探針卡及探針臺之間的防漏電紙連帶取出，需要花費大量時間和精力重新放置，也可能造成防漏電紙被撕壞，導致更多的顆粒污染。而且，在將探針卡通過固定點固定時，只能通過凹槽調節位置，非常不便。采用現有技術，在取放探針卡時需要花費大量的時間和精力，工作效率低。

實用新型內容

本實用新型的目的是提供一種能夠進行快速、便捷取放的探針卡。

為了實現上述目的，本實用新型采用如下技術方案予以實現：一種探針卡，包括PCB基板和取放桿，所述PCB基板上設置有連接孔，所述連接孔與取放桿連接。

優選的，所述取放桿與連接孔采用可拆卸式連接或固定連接。

優選的，所述連接孔的數量為2個，分別位于PCB基板中心的兩側。

優選的，所述取放桿采用截面為T形的柱體。

進一步的，所述柱體包括連接在一起的下圓柱和上圓柱，所述下圓柱直徑與連接孔直徑相互固定配合。

進一步的，所述下圓柱直徑為3～5mm，高度為10～12mm，所述上圓柱直徑為13～15mm，高度為5～7mm。

優選的，所述PCB基板上設置有PCB線路和探針，所述探針和PCB線路連接且分別位于PCB基板的兩個面上，所述PCB基板上設置有固定孔，所述固定孔與探針臺上的固定件相對應。

進一步的，所述固定孔和連接孔與PCB線路彼此獨立。

進一步的，所述固定孔的數量為2個，分別位于PCB基板中心的兩側。

優選的，所述取放桿采用有機玻璃材料。

與現有技術相比，本實用新型的探針卡在PCB基板的連接孔上連接取放桿，通過取放桿連接整個探針卡，在取放探針卡時，只需要通過取放桿進行施力，即可帶動整個探針卡進行移動，也可以通過取放桿調整探針卡的位置。本實用新型結構簡單，操作方便，節省了取放探針卡的時間和精力，具有快速、便捷取放的效果，提高了工作效率。

附圖說明

圖1是本實用新型一實施例中探針臺的結構示意圖；

圖2是本實用新型一實施例中柱體的結構示意圖；

圖3是本實用新型一實施例中柱體的結構示意圖。

圖中所示：10、PCB基板；20、取放桿；21、上圓柱；22、下圓柱；30、固定孔。

具體實施方式

下面結合附圖對本實用新型作詳細描述：

如圖1所示，本實用新型的探針卡，包括PCB基板10、PCB線路、探針和取放桿20，所述PCB基板10上設置有PCB線路和探針，所述探針和PCB線路連接且分別位于PCB基板10的兩個面上，所述PCB基板10上設置有固定孔30和連接孔，所述固定孔30與探針臺上的固定件相對應，所述連接孔與取放桿20連接。所述固定孔30的數量為2個，分別位于PCB基板10中心的兩側。所述連接孔的數量為2個，分別位于PCB基板10中心的兩側。在測試時，探針卡固定放置在探針臺上，PCB線路面朝上，與周邊測試儀器連接，探針面朝下，與晶圓上的集成電路接觸連接，共同構成晶片允收測試的電路。