[實(shí)用新型]鍺烷生產(chǎn)中回收乙鍺烷和丙鍺烷的吸收塔

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201520780370.1
• 申請日: 2015-10-10
• 公開（公告）號(hào): CN205127677U
• 公開（公告）日: 2016-04-06
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 陳國富;龔施健;陳金彬;于勝
• 申請（專利權(quán)）人: 福建博純材料有限公司
• 主分類號(hào): B01D53/18
• 分類號(hào): B01D53/18;C01B6/06;B01D35/02;F27D17/00
• 代理公司: 廣州市紅荔專利代理有限公司 44214
• 代理人: 張文

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及稀有氣體回收裝置領(lǐng)域，特別是一種鍺烷生產(chǎn)中回收乙鍺烷和丙鍺烷的吸收塔。

背景技術(shù)

鍺烷是重要的電子工業(yè)用原料氣體，是制造高純鍺和各種硅鍺合金的重要原材料，隨著半導(dǎo)體工業(yè)的快速發(fā)展，對(duì)鍺烷的要求日益增多。目前，鍺烷氣體的生產(chǎn)方法主要有：化學(xué)還原法、電化學(xué)反應(yīng)法、等離子合成法等等，但是上述合成方法均不能避免生產(chǎn)過程中副產(chǎn)物的產(chǎn)生，如何提高生產(chǎn)鍺烷氣體的純度，已成為制約半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展的瓶頸。

在鍺烷氣體的生產(chǎn)過程中會(huì)伴隨產(chǎn)生少量的乙鍺烷和丙鍺烷等稀有氣體，然而缺少相應(yīng)的回收分離技術(shù)，使得這些珍貴的稀有氣體被直接廢棄處理掉，造成了重要稀有材料的損失。高效的回收分離乙鍺烷和丙鍺烷不僅可以提高生產(chǎn)的鍺烷氣體純度，有利于半導(dǎo)體的制備，而且可以回收具有高經(jīng)濟(jì)收益的稀有氣體，對(duì)半導(dǎo)體制備產(chǎn)業(yè)的發(fā)展和企業(yè)自身經(jīng)濟(jì)收益均有明顯益處。

發(fā)明內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的在于提供一種鍺烷生產(chǎn)中回收乙鍺烷和丙鍺烷的吸收塔，解決了鍺烷生產(chǎn)氣體中乙鍺烷和丙鍺烷的回收利用問題。

為實(shí)現(xiàn)上述技術(shù)目的，達(dá)到上述技術(shù)效果，本實(shí)用新型公開了一種鍺烷生產(chǎn)中回收乙鍺烷和丙鍺烷的吸收塔，包括了冷卻塔組件、前輸氣管道、吸收塔組件、后輸氣管道、收集塔組件、溫度壓力控制中心，冷卻塔組件通過前輸氣管道與吸收塔組件相連，吸收塔組件通過后輸氣管道與收集塔組件相連，溫度壓力控制中心通過輸配線路與吸收塔組件連接。

其中，冷卻塔組件包括了冷卻塔塔體、冷卻塔進(jìn)氣管道，冷卻塔進(jìn)氣管道設(shè)置于冷卻塔塔體底部，吸收塔組件包括了吸收塔塔體、填料室、加熱管和過濾網(wǎng)，吸收塔塔體內(nèi)設(shè)置有填料室、填料室的上下兩端均設(shè)置有過濾網(wǎng)、加熱管安裝于填料室內(nèi)；收集塔組件包括了收集塔塔體、余熱回收裝置、氣體收集管道和余熱回收管道，收集塔塔體內(nèi)安裝有余熱回收裝置，收集塔塔體上安裝有氣體收集管道和余熱回收管道。

優(yōu)選的，還包括了進(jìn)氣閥門和出氣閥門,進(jìn)氣閥門和出氣閥門分別安裝在前輸氣管道和后輸氣管道上。

其中，加熱管為多組直行加熱管或單組螺旋型加熱管。

其中，余熱回收裝置為氣-氣式熱管換熱器或氣-液式熱管換熱器。

本實(shí)用新型具有以下有益效果：

1.本實(shí)用新型通過合理的篩選氣體吸收劑實(shí)現(xiàn)通過溫度控制將鍺烷生產(chǎn)氣體中混有的乙鍺烷和丙鍺烷三種氣體進(jìn)行分離收集。

2.通過對(duì)吸收塔及其配件進(jìn)行合理優(yōu)化，增加了冷卻塔和余熱回收裝置，經(jīng)過合理分布的吸收塔不僅可以進(jìn)行多種組分氣體的回收而且可以對(duì)分離過程中使用的余熱和潛熱進(jìn)行回收，提高了能量的利用效率。

附圖說明

圖1為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。

主要組件符號(hào)說明:

1：冷卻塔進(jìn)氣管道，2：冷卻塔塔體，3：前輸氣管道，4：進(jìn)氣閥門，5：吸收塔塔體，6：填料室，7：加熱管，8：過濾網(wǎng)，9：溫度壓力控制中心，10：后輸氣管道，11：出氣閥門，12：收集塔塔體，13：氣體收集管道，14：余熱回收管道。

具體實(shí)施方式

為了使本實(shí)用新型的目的、技術(shù)方案及優(yōu)點(diǎn)更加清楚明白，以下結(jié)合附圖及實(shí)施例，對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行進(jìn)一步詳細(xì)說明。

如圖1所示，本實(shí)用新型公開了一種鍺烷生產(chǎn)中回收乙鍺烷和丙鍺烷的吸收塔，包括冷卻塔進(jìn)氣管道1、冷卻塔塔體2、前輸氣管道3、進(jìn)氣閥門4、吸收塔組件、溫度壓力控制中心9、后輸氣管道10、出氣閥門11、收集塔組件、氣體收集管道13、余熱回收管道14。吸收塔組件包括了吸收塔塔體5、填料室6、加熱管7、過濾網(wǎng)8。收集塔組件包括收集塔塔體12和余熱回收裝置（未示出）。

安裝過程：

冷卻塔塔體2上連接有冷卻塔進(jìn)氣管道1和前輸氣管道3、前輸氣管道3上安裝有進(jìn)氣閥門4并與吸收塔塔體5相連，吸收塔塔體5內(nèi)設(shè)置有填料室6、填料室6的上下兩端均設(shè)置有過濾網(wǎng)8、加熱管7安裝于填料室6內(nèi)、后輸氣管道10安裝于吸收塔塔體5頂部、后輸氣管道10上安裝有出氣閥門11并與收集塔塔體12相連，收集塔塔體12上設(shè)置有氣體收集管道13和余熱回收管道14，收集塔塔體12內(nèi)安裝有余熱回收裝置，溫度壓力控制中心9通過輸配線路與加熱管7和余熱回收裝置相連。

工作原理：