[實(shí)用新型]壓力傳感器與測(cè)試器件

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201520778734.2
• 申請(qǐng)日: 2015-10-09
• 公開（公告）號(hào): CN205049266U
• 公開（公告）日: 2016-02-24
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: A·帕加尼
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 意法半導(dǎo)體股份有限公司
• 主分類號(hào): G01L1/00
• 分類號(hào): G01L1/00
• 代理公司: 北京市金杜律師事務(wù)所 11256
• 代理人: 王茂華

1.一種用于定位在結(jié)構(gòu)內(nèi)的壓力傳感器，其特征在于，所述壓力傳感器包括：

壓力傳感器集成電路IC，包括

響應(yīng)于彎曲的壓力傳感器電路；和

收發(fā)器電路，耦合到所述壓力傳感器電路；以及

在其中具有凹陷的支撐體，耦合到所述壓力傳感器集成電路IC，使得所述壓力傳感器集成電路IC在所述壓力傳感器集成電路IC受到外部壓力時(shí)向所述凹陷內(nèi)彎曲。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓力傳感器，其特征在于，所述壓力傳感器集成電路IC包括導(dǎo)電天線跡線，所述導(dǎo)電天線跡線耦合到所述收發(fā)器電路用于接收射頻RF能量。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓力傳感器，其特征在于，所述凹陷在形狀上是梯形的。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓力傳感器，其特征在于，進(jìn)一步包括在所述壓力傳感器集成電路IC與所述支撐體之間的玻璃粉鍵合層。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓力傳感器，其特征在于，所述支撐體包括限定所述凹陷并且包括耦合到所述收發(fā)器電路的附加導(dǎo)電天線跡線的第一層，以及鄰近所述第一層的第二層。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓力傳感器，其特征在于，進(jìn)一步包括至少一個(gè)襯底，所述至少一個(gè)襯底鄰近所述壓力傳感器集成電路IC，并且所述至少一個(gè)襯底包括耦合到所述收發(fā)器電路的附加導(dǎo)電天線跡線。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的壓力傳感器，其特征在于，所述至少一個(gè)襯底包括從所述壓力傳感器集成電路IC向外橫向延伸的柔性襯底。

8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的壓力傳感器，其特征在于，所述附加導(dǎo)電天線跡線圍繞所述壓力傳感器集成電路IC。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓力傳感器，其特征在于，所述支撐體包括陶瓷材料、玻璃材料以及硅材料中的至少一種。

10.一種用于至少一個(gè)被測(cè)壓力傳感器的測(cè)試器件，其特征在于，所述至少一個(gè)被測(cè)壓力傳感器被定位在結(jié)構(gòu)內(nèi)并且包括壓力傳感器集成電路IC以及在其中具有凹陷、耦合到所述壓力傳感器集成電路IC的支撐體，所述壓力傳感器集成電路IC包括響應(yīng)于彎曲的壓力傳感器電路，以及耦合到所述壓力傳感器電路的收發(fā)器電路，所述測(cè)試器件包括：

探測(cè)塊，被配置為向所述至少一個(gè)被測(cè)壓力傳感器的所述支撐體施加壓力；以及

無(wú)線卡，被配置為

向所述至少一個(gè)被測(cè)壓力傳感器的所述壓力傳感器集成電路IC施加壓力，以及

生成射頻RF能量以激活所述至少一個(gè)被測(cè)壓力傳感器。

11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的測(cè)試器件，其特征在于，所述至少一個(gè)被測(cè)壓力傳感器包括多個(gè)被測(cè)壓力傳感器；并且所述測(cè)試器件進(jìn)一步包括接合部，所述接合部耦合到所述無(wú)線卡并被配置為將所述無(wú)線卡鄰近相應(yīng)的被測(cè)壓力傳感器定位。

12.根據(jù)權(quán)利要求10所述的測(cè)試器件，其特征在于，所述無(wú)線卡包括：

剛性壓件，被配置為向所述至少一個(gè)被測(cè)壓力傳感器的所述壓力傳感器集成電路IC施加壓力；

導(dǎo)電天線跡線，被配置為生成RF能量以激活所述至少一個(gè)被測(cè)壓力傳感器；以及

襯底，耦合到所述剛性壓件并承載所述導(dǎo)電天線跡線。

13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的測(cè)試器件，其特征在于，所述剛性壓件與所述襯底是一體的。

14.根據(jù)權(quán)利要求12所述的測(cè)試器件，其特征在于，所述剛性壓件與所述襯底橫向間隔開。

15.根據(jù)權(quán)利要求12所述的測(cè)試器件，其特征在于，所述剛性壓件具有彎曲的表面。

16.根據(jù)權(quán)利要求10所述的測(cè)試器件，其特征在于，進(jìn)一步包括在所述無(wú)線卡與所述至少一個(gè)壓力傳感器之間的可變形層。