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[實(shí)用新型]一種可適應(yīng)大小石英坩堝生產(chǎn)的遮熱板結(jié)構(gòu)有效

專利信息
申請?zhí)枺?/td> 201520775474.3 申請日: 2015-10-08
公開(公告)號: CN205046225U 公開(公告)日: 2016-02-24
發(fā)明(設(shè)計)人: 李明;唐美玲;冷小威;姚笛;宿海 申請(專利權(quán))人: 李明
主分類號: C30B15/10 分類號: C30B15/10;C30B29/06
代理公司: 北京科億知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11350 代理人: 肖平安
地址: 325800 浙江省*** 國省代碼: 浙江;33
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摘要:
搜索關(guān)鍵詞: 一種 適應(yīng) 大小 石英 坩堝 生產(chǎn) 板結(jié)
【說明書】:

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及光伏領(lǐng)域,特指一種可適應(yīng)大小石英坩堝生產(chǎn)的遮熱板結(jié)構(gòu)。

背景技術(shù)

目前,電弧法生產(chǎn)的石英坩堝是太陽能、半導(dǎo)體行業(yè)拉制單晶硅必不可少的容器,隨著拉單晶技術(shù)的發(fā)展,對石英坩堝尺寸要求越來越大。大尺寸坩堝生產(chǎn)需要更高功率及溫度熔制,這也對電弧坩堝熔制機(jī)提出了更高的要求,這其中包括了熔制機(jī)的遮熱板結(jié)構(gòu)。

目前,電弧坩堝熔制機(jī)的遮熱板大多為不銹鋼結(jié)構(gòu)或是石英板結(jié)構(gòu),遮熱板中心采用圓形開孔方式,為了保證坩堝熔制溫度,開孔直徑一般在260~360mm之間,這導(dǎo)致在生產(chǎn)大尺寸石英坩堝的高溫功率條件下:金屬遮熱板容易被電弧灼燒,坩堝內(nèi)表面掉入金屬雜質(zhì),造成坩堝不合格,同時由于電弧高溫作用,長時間使用容易出現(xiàn)變形漏水等問題,使坩堝報廢;石英遮熱板經(jīng)常發(fā)生變形炸裂,使坩堝報廢,同時石英遮熱板的制造成本高,且需要經(jīng)常更換,增加坩堝生產(chǎn)成本。另外,由于大尺寸坩堝高溫高功率,二氧化硅蒸汽揮發(fā)特增多,圓形孔不利于排風(fēng)把熔制過程中揮發(fā)的二氧化硅蒸汽及時排走,造成坩堝內(nèi)表面形成白斑、附著物及氣泡群等缺陷,造成產(chǎn)品不合格。

發(fā)明內(nèi)容

針對以上問題,本實(shí)用新型提供了一種可適應(yīng)大小石英坩堝生產(chǎn)的遮熱板結(jié)構(gòu),可以避免金屬遮熱板在石英坩堝熔制過程中出現(xiàn)變形、漏水、掉金屬點(diǎn)的問題,以及避免石英遮熱板出現(xiàn)的變形、炸裂、成本高等問題,同時提高二氧化硅蒸汽的排走效率,降低白斑、附著物及氣泡群等缺陷,適合大尺寸坩堝生產(chǎn)。

為了實(shí)現(xiàn)上述目的,本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案如下:

一種可適應(yīng)大小石英坩堝生產(chǎn)的遮熱板結(jié)構(gòu),機(jī)遮板結(jié)構(gòu)包括進(jìn)水管、出水管、不銹鋼大孔徑遮熱板與采用不合格坩堝直接切割而成的石英片,石英片分別與不銹鋼大孔徑遮熱板對應(yīng)設(shè)置,不銹鋼大孔徑遮熱板中心開孔直徑400~650mm,進(jìn)水管與出水管的一端分別固定設(shè)于不銹鋼大孔徑遮熱板底部左右兩側(cè),進(jìn)水管與出水管另一端與不銹鋼大孔徑遮熱板之間設(shè)有15~40mm空隙,石英片對應(yīng)設(shè)于空隙內(nèi)。

進(jìn)一步而言,所述石英片由8塊石英片拼接成方形結(jié)構(gòu)組成,且中間設(shè)有方形孔徑,方形孔徑尺寸采用260~400mm*260~400mm。

進(jìn)一步而言,所述方形孔徑中心與不銹鋼大孔徑遮熱板的中心為同心設(shè)置。

進(jìn)一步而言,所述進(jìn)水管與出水管平行設(shè)置。

本實(shí)用新型有益效果:

1、不銹鋼遮熱板孔徑擴(kuò)大,加大了遮熱板與電極的中心高溫區(qū)的距離,從而避免了金屬遮熱板在石英坩堝熔制過程中出現(xiàn)變形、漏水、灼燒掉金屬點(diǎn)問題,提高產(chǎn)品合格率;

2、石英片采用不合格石英坩堝直接切割而成,大大降低了生產(chǎn)成本,且石英砂原料純度在99.99%以上,高純度保證了石英片在高溫下不炸裂,不易變形;

3、石英片拼接成的方形結(jié)構(gòu)更有利于將二氧化硅蒸汽排走,降低白斑、附著物及氣泡群等缺陷,提高產(chǎn)品合格率。

附圖說明

圖1是本實(shí)用新型整體結(jié)構(gòu)圖;

圖2是圖1側(cè)視圖;

圖3是不銹鋼大孔徑遮熱板結(jié)構(gòu)圖;

圖4是石英片拼成方形結(jié)構(gòu)圖。

1、進(jìn)水管;2、出水管;3、不銹鋼大孔徑遮熱板;4、石英片。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖與實(shí)施例對本實(shí)用新型的技術(shù)方案進(jìn)行說明。

如圖1至4所示,本實(shí)用新型所述一種可適應(yīng)大小石英坩堝生產(chǎn)的遮熱板結(jié)構(gòu),機(jī)遮板結(jié)構(gòu)包括進(jìn)水管1、出水管2、不銹鋼大孔徑遮熱板3與采用不合格坩堝直接切割而成的石英片4,石英片4分別與不銹鋼大孔徑遮熱板3對應(yīng)設(shè)置,不銹鋼大孔徑遮熱板3中心開孔直徑400~650mm,進(jìn)水管1與出水管2的一端分別固定設(shè)于不銹鋼大孔徑遮熱板3底部左右兩側(cè),進(jìn)水管1與出水管2另一端與不銹鋼大孔徑遮熱板3之間設(shè)有15~40mm空隙,石英片4對應(yīng)設(shè)于空隙內(nèi)。

以上所述構(gòu)成本實(shí)用新型基本結(jié)構(gòu)。

傳統(tǒng)的遮熱板開孔直徑采用260~360mm,而本實(shí)施例所述不銹鋼大孔徑遮熱板3開孔直徑采用550mm,孔徑的擴(kuò)大也就加大了遮熱板與電極的中心高溫區(qū)的距離,從而有效達(dá)到避免金屬遮熱板與石英坩堝熔制過程中出現(xiàn)變形、漏水、灼燒掉金屬點(diǎn)問題,有效提高產(chǎn)品合格率,石英片4采用不合格石英坩堝直接切割而成,大大降低了生產(chǎn)成本,且石英砂原料純度在99.99%以上,高純度保證了石英片在高溫下不炸裂,不易變形,另外,石英片4設(shè)于進(jìn)水管1與出水管2和不銹鋼大孔徑遮熱板3之間的空隙內(nèi),本實(shí)施例采用20mm,起到定位作用。

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1、專利原文基于中國國家知識產(chǎn)權(quán)局專利說明書;

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