[實用新型]一種快速制備材料的微波等離子反應裝置

有效

• 申請號: 201520771710.4
• 申請日: 2015-09-28
• 公開（公告）號: CN204973856U
• 公開（公告）日: 2016-01-20
• 發明（設計）人: 馮雙龍;陸文強;劉雙翼;石彪
• 申請（專利權）人: 中國科學院重慶綠色智能技術研究院
• 主分類號: B01J19/12
• 分類號: B01J19/12
• 代理公司: 上海光華專利事務所 31219
• 代理人: 熊萬里

1.一種快速制備材料的微波等離子反應裝置，其特征在于：包括真空調節系統、等離子體激發裝置和反應器，所述反應器的反應區置于等離子體激發裝置內，所述真空調節系統包括抽氣裝置、抽氣管路和工作氣接入管路，所述工作氣接入管路和抽氣管路分別與反應器的進氣端和出氣端密閉連接，所述抽氣管路還與抽氣裝置連接，在所述抽氣管路和工作氣接入管路上設置有氣體調節閥。

2.根據權利要求1所述的一種快速制備材料的微波等離子反應裝置，其特征在于：在靠近所述反應器出氣端的抽氣管路上設置有真空計。

3.根據權利要求2所述的一種快速制備材料的微波等離子反應裝置，其特征在于：所述抽氣管路包括通過法蘭接口連接的第一連接管和第二連接管，所述第一連接管通過真空密封連接頭與反應器的出氣端連接，所述第二連接管與抽氣裝置連接。

4.根據權利要求3所述的一種快速制備材料的微波等離子反應裝置，其特征在于：所述第一連接管上設置有一個氣體調節閥。

5.根據權利要求3所述的一種快速制備材料的微波等離子反應裝置，其特征在于：所述第一連接管上設置三通接口，所述真空計通過管路與三通接口連接。

6.根據權利要求1所述的一種快速制備材料的微波等離子反應裝置，其特征在于：所述工作氣接入管路包括通過法蘭接口連接的第三連接管和第四連接管，所述第三連接管通過真空密封連接頭與反應器的進氣端連接，第四連接管用于連接工作氣供氣裝置，所述第三連接管上設置有一個氣體調節閥。

7.根據權利要求1所述的一種快速制備材料的微波等離子反應裝置，其特征在于：所述等離子體激發裝置包括微波源、開關及微波腔室，所述反應器的反應區置于微波腔室內。

8.根據權利要求1所述的一種快速制備材料的微波等離子反應裝置，其特征在于：所述反應器為U型管結構。

9.根據權利要求1所述的一種快速制備材料的微波等離子反應裝置，其特征在于：所述反應器包括左右通氣管以及連接在左右通氣管之間的反應腔體，所述反應腔體為球形或由多個相連的橢圓形腔室構成。

10.根據權利要求1所述的一種快速制備材料的微波等離子反應裝置，其特征在于：所述所述抽氣裝置為機械泵。