[實用新型]氣體傳感器設備

有效

• 申請號: 201520765298.5
• 申請日: 2015-09-29
• 公開（公告）號: CN205301225U
• 公開（公告）日: 2016-06-08
• 發明（設計）人: 靳永鋼;R·山卡爾
• 申請（專利權）人: 意法半導體有限公司
• 主分類號: G01N27/04
• 分類號: G01N27/04;H01L23/495;H01L23/488
• 代理公司: 北京市金杜律師事務所 11256
• 代理人: 王茂華

1.一種氣體傳感器設備，其特征在于，包括：

氣體傳感器集成電路，所述氣體傳感器集成電路具有氣體感測 表面以及與其相鄰的多個鍵合焊盤；

框架，所述框架具有穿過其延伸的與所述氣體感測表面相鄰的 多條氣體通路；

多條引線，每條引線具有與所述框架間隔開并且鍵合至對應的 鍵合焊盤的近端以及從所述近端向下延伸的遠端；以及

包封材料，所述包封材料填充在所述多條引線的所述近端與所 述框架之間的空間。

2.如權利要求1所述的氣體傳感器設備，其特征在于，將所述框 架、所述包封材料以及所述多條引線的所述近端對準以限定所述氣 體傳感器設備的上表面。

3.如權利要求1所述的氣體傳感器設備，其特征在于，所述框架 和所述氣體感測表面成間隔關系以在其間限定氣體感測空腔。

4.如權利要求1所述的氣體傳感器設備，其特征在于，所述氣體 傳感器具有與所述氣體感測表面相對的背側表面；并且其中，所述 多條引線的所述遠端延伸過所述背側表面以限定凹陷。

5.如權利要求1所述的氣體傳感器設備，其特征在于，進一步包 括在所述氣體傳感器和所述多條引線之間的粘合層。

6.如權利要求1所述的氣體傳感器設備，其特征在于，進一步包 括與所述多條引線相鄰的附加包封材料以限定所述氣體傳感器設備 的側壁。

7.如權利要求1所述的氣體傳感器設備，其特征在于，所述框架 是矩形形狀的。

8.如權利要求1所述的氣體傳感器設備，其特征在于，每條氣體 通路是圓柱形狀的。

9.如權利要求1所述的氣體傳感器設備，其特征在于，所述多條 引線和所述多個鍵合焊盤各自包括銅和鋁中的至少一種。

10.如權利要求1所述的氣體傳感器設備，其特征在于，所述包封 材料包括電介質材料。

11.一種氣體傳感器設備，其特征在于，包括：

氣體傳感器集成電路，所述氣體傳感器集成電路具有氣體感測 表面以及與其相鄰的多個鍵合焊盤；

框架，所述框架具有穿過其延伸的與所述氣體感測表面相鄰的 多條氣體通路，所述框架和所述氣體感測表面成間隔關系以在其間 限定氣體感測空腔；

多條引線，每條引線具有與所述框架間隔開并且鍵合至對應的 鍵合焊盤的近端以及從所述近端向下延伸的遠端；

粘合層，所述粘合層在所述氣體傳感器和所述多條引線之間； 以及

包封材料，所述包封材料填充在所述多條引線的所述近端與所 述框架之間的空間；

將所述框架、所述包封材料以及所述多條引線的所述近端對準 以限定所述氣體傳感器設備的上表面。

12.如權利要求11所述的氣體傳感器設備，其特征在于，所述氣體 傳感器具有與所述氣體感測表面相對的背側表面；并且其中，所述 多條引線的所述遠端延伸過所述背側表面以限定凹陷。

13.如權利要求11所述的氣體傳感器設備，其特征在于，進一步包 括與所述多條引線相鄰的附加包封材料以限定所述氣體傳感器設備 的側壁。

14.如權利要求11所述的氣體傳感器設備，其特征在于，所述框架 是矩形形狀的。

15.如權利要求11所述的氣體傳感器設備，其特征在于，每條氣體 通路是圓柱形狀的。