[實用新型]一種微納操作裝置有效
| 申請號： | 201520762877.4 | 申請日： | 2015-09-29 |
| 公開（公告）號： | CN205021591U | 公開（公告）日： | 2016-02-10 |
| 發明（設計）人： | 閆允杰 | 申請（專利權）人： | 清華大學 |
| 主分類號： | B25J9/08 | 分類號： | B25J9/08;B25J9/12;B25J13/00 |
| 代理公司： | 北京眾合誠成知識產權代理有限公司 11246 | 代理人： | 陳波 |
| 地址： | 100084 北京市*** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 操作 裝置 | ||
1.一種微納操作裝置，其特征在于，該裝置的X向壓電陶瓷線性馬達運動桿(5)，X向壓電陶瓷線性馬達(6)，第三連接件(7)，Z向壓電陶瓷線性馬達運動桿(8)，Z向壓電陶瓷線性馬達(9)，第四連接件(10)，Y向壓電陶瓷旋轉馬達旋轉盤(11)、Y向壓電陶瓷旋轉馬達(12)和固定件(13)從上到下依次布置，且相鄰部件之間為剛性連接，延長桿(3)的一端通過第二連接件(4)與X向壓電陶瓷線性馬達運動桿(5)剛性連接，操作器(1)通過第一連接件(2)與延長桿(3)的另一端剛性連接；操作器(1)上連接操作器電源(20)；X向壓電陶瓷線性馬達(6)和X向驅動電源(17)之間連接X向壓電陶瓷線性馬達控制器(16)；Z向壓電陶瓷線性馬達(9)和Z向驅動電源(18)之間連接Z向壓電陶瓷線性馬達控制器(15)；Y向壓電陶瓷旋轉馬達(12)和Y向驅動電源(19)之間連接Y向壓電陶瓷旋轉馬達控制器(14)；X向壓電陶瓷線性馬達控制器(16)、Z向壓電陶瓷線性馬達控制器(15)和Y向壓電陶瓷旋轉馬達控制器(14)分別連接至計算機控制系統(21)。
2.根據權利要求1所述的一種微納操作裝置，其特征在于，所述操作器(1)為微納探針，對材料進行探測；或所述操作器(1)為微納注入針，對材料進行注入；或所述操作器(1)為電信號施加針，對材料施加電壓、電流信號；或所述操作器(1)為微納刀具，對材料進行微納尺度切割。
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