[實用新型]一種VB/VGF法制備晶體用立封管支撐固定裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201520753170.7
• 申請日: 2015-09-25
• 公開（公告）號: CN205035485U
• 公開（公告）日: 2016-02-17
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 于會永
• 申請（專利權(quán)）人: 大慶佳昌晶能信息材料有限公司
• 主分類號: C30B11/00
• 分類號: C30B11/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術(shù)領(lǐng)域：

本實用新型涉及VB/VGF法制備晶體技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種VB/VGF法制備晶體用立封管支撐固定裝置。

背景技術(shù)：

VB/VGF法是目前量產(chǎn)銻化鎘、砷化鎵、磷化銦等晶體的主流技術(shù)。VB/VGF法制備晶體一般需要經(jīng)過以下步驟：將多晶料、籽晶裝入PBN坩堝，然后放入立封管內(nèi)，石英帽蓋合，用氫氧焰進(jìn)行焊接密封，再將密封好的立封管放入單晶爐，進(jìn)行單晶生長過程，單晶生長完畢后，將立封管從爐內(nèi)取出，敲碎立封管或?qū)α⒎夤苓M(jìn)行切割，取出立封管內(nèi)裝有晶體的PBN坩堝。在破壞立封管的過程中，存在下述幾個問題：1、VB/VGF法制備晶體所用的立封管本身為圓柱形且底端有一個細(xì)的籽晶槽保護(hù)套，難以保持穩(wěn)定；2、立封管可能仍有一定的余溫，不利于對其進(jìn)行控制；因此，在敲管過程中操作難度較大，容易對立封管內(nèi)的PBN坩堝及坩堝內(nèi)的晶體造成損傷，另外也可能會給操作人員帶來傷害。

實用新型內(nèi)容：

為了解決背景技術(shù)存在的問題，本實用新型旨在提出一種VB/VGF法制備晶體用立封管支撐固定裝置。該裝置簡單快捷地完成對立封管的支撐及固定，減小操作難度，保障操作人員的安全；減少立封管內(nèi)的PBN坩堝及晶體的損傷幾率，降低生產(chǎn)成本。

本實用新型的技術(shù)方案是：VB/VGF法制備晶體用立封管支撐固定裝置包括底座，所述的底座的中心位置設(shè)有籽晶槽保護(hù)套掉落孔，底座通過螺絲孔及螺栓固定有支撐管，支撐管內(nèi)腔依次安裝有管狀粒面氟橡膠內(nèi)芯及漏斗形石英棉內(nèi)芯，管狀粒面氟橡膠內(nèi)芯及漏斗形石英棉內(nèi)芯的外壁分別與支撐管的內(nèi)壁緊配合，管狀粒面氟橡膠內(nèi)芯中心為籽晶槽保護(hù)套放置腔，管狀粒面氟橡膠內(nèi)芯中心為立封管管體放置腔。

上述方案中的底座由帶有5個圓孔的平臺和4個支撐腿組成。

本實用新型具有如下有益效果：由于采取上述方案，該裝置可獲得以下效果：(1)設(shè)計了立封管支撐固定裝置，確保實施過程操作簡單，降低操作人員工作難度，保障操作人員人身安全；(2)該裝置可將有效起到支撐和固定的作用，有利于下一步工作的進(jìn)行；(3)該裝置還可起到緩沖和保護(hù)的作用，可大幅度減少立封管內(nèi)的PBN坩堝及坩堝內(nèi)的晶體的損壞幾率，降低生產(chǎn)成本，提高晶體成品率。

附圖說明：

附圖1是本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖；

附圖2是附圖1的俯視圖；

附圖3是附圖1的主視圖。

圖中1-底座平臺，2-螺絲孔，3-籽晶槽保護(hù)套掉落孔，4-籽晶槽保護(hù)套放置腔，5-石英棉內(nèi)芯，6-支撐管，7-粒面氟橡膠內(nèi)芯，8-立封管管體放置腔，9-支撐腿。

具體實施方式：

下面結(jié)合附圖對本實用新型作進(jìn)一步說明：

由圖1結(jié)合圖2～圖3所示，VB/VGF法制備晶體用立封管支撐固定裝置包括底座，所述的底座包括底座平臺1和支撐腿9組成，所述的底座平臺1的中心位置設(shè)有籽晶槽保護(hù)套掉落孔3，籽晶槽保護(hù)套掉落孔3是為了防止立封管底端的籽晶槽保護(hù)套掉落后難以取出，底座平臺1通過螺絲孔2及螺栓固定有支撐管6，支撐管6內(nèi)腔依次安裝有粒面氟橡膠內(nèi)芯7及石英棉內(nèi)芯5，粒面氟橡膠內(nèi)芯7由耐高溫的粒面氟橡膠制成，目的在于增大立封管與粒面氟橡膠內(nèi)芯7之間的摩擦力，石英棉內(nèi)芯5由石英棉制成，對籽晶槽可起到緩沖及保護(hù)的作用，粒面氟橡膠內(nèi)芯7及石英棉內(nèi)芯5的外壁分別與支撐管6的內(nèi)壁緊配合，粒面氟橡膠內(nèi)芯7圍成圓柱形立封管管體放置腔8,立封管放置在立封管管體放置腔8內(nèi)，立封管管體放置腔8的內(nèi)徑要略大于立封管管體的外徑,高度為立封管管體長度的20％-40％左右。石英棉內(nèi)芯5圍成漏斗形籽晶槽保護(hù)套放置腔4，籽晶槽保護(hù)套放置腔4的直徑要略大于立封管籽晶槽保護(hù)套的外徑，高度要略高于立封管籽晶槽保護(hù)套的長度。底座由帶有5個圓孔的底座平臺1和4個支撐腿9組成。