[實用新型]微機電振動傳感器以及電子設(shè)備

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201520744591.3
• 申請日: 2015-09-23
• 公開（公告）號: CN205280205U
• 公開（公告）日: 2016-06-01
• 發(fā)明（設(shè)計）人: M·韋內(nèi)里;S·博斯科;A·莫爾切利
• 申請（專利權(quán)）人: 意法半導(dǎo)體股份有限公司
• 主分類號: G01H11/06
• 分類號: G01H11/06;G06F3/041
• 代理公司: 北京市金杜律師事務(wù)所 11256
• 代理人: 王茂華;呂世磊

1.一種微機電振動傳感器，其特征在于，包括：

第一室；

第二室；

在所述第一室與所述第二室之間的半導(dǎo)體隔膜；

被電容性地耦合至所述隔膜的參考電極；以及

封裝結(jié)構(gòu)，所述封裝結(jié)構(gòu)將所述第一室、所述第二室和所述隔膜 包封并與所述封裝結(jié)構(gòu)外的環(huán)境聲學(xué)地隔離。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微機電振動傳感器，其特征在于，包括 具有空腔的基底，所述空腔限定所述第一室。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的微機電振動傳感器，其特征在于，所述 隔膜被錨固至所述基底并且布置成覆蓋所述第一室的一側(cè)。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的微機電振動傳感器，其特征在于，所述 第一室在與所述隔膜相對的一側(cè)上由所述封裝結(jié)構(gòu)界定。

5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的微機電振動傳感器，其特征在于，包括 被接合至所述基底并支撐所述參考電極的支撐結(jié)構(gòu)。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的微機電振動傳感器，其特征在于，所述 支撐結(jié)構(gòu)至少部分地界定所述第二室。

7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的微機電振動傳感器，其特征在于，所述 支撐結(jié)構(gòu)包括剛性電介質(zhì)板。

8.根據(jù)權(quán)利要求5所述的微機電振動傳感器，其特征在于，所述 支撐結(jié)構(gòu)包括半導(dǎo)體主體。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微機電振動傳感器，其特征在于，所述 封裝結(jié)構(gòu)包括集成電路封裝。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微機電振動傳感器，其特征在于，包 括被耦合至所述隔膜的輔助質(zhì)量體。

11.一種電子設(shè)備，其特征在于，包括：

微機電振動傳感器，包括：

第一室；

第二室；

在所述第一室與所述第二室之間的半導(dǎo)體隔膜；

被電容性地耦合至所述隔膜的參考電極；以及

封裝結(jié)構(gòu)，所述封裝結(jié)構(gòu)將所述第一室、所述第二室和所 述隔膜包封并與所述封裝結(jié)構(gòu)外的環(huán)境聲學(xué)地隔離；以及

觸摸屏，所述微機電振動傳感器被剛性地耦合至所述觸摸屏，其 中所述微機電振動傳感器被配置成檢測所述觸摸屏的振動。

12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的電子設(shè)備，其特征在于，包括被耦合 至所述微機電傳感器的處理單元。

13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的電子設(shè)備，其特征在于，所述處理單 元包括：存儲器模塊，包含典型觸摸事件的模板；和分類引擎，被配 置成基于存儲在所述存儲器模塊中的所述模板將由所述微機電振動 傳感器檢測到的觸摸事件分類。

14.根據(jù)權(quán)利要求11所述的電子設(shè)備，其特征在于，所述封裝結(jié) 構(gòu)包括所述觸摸屏的一部分。

15.根據(jù)權(quán)利要求11所述的電子設(shè)備，其特征在于，所述設(shè)備是 平板電腦、便攜式計算機、可穿戴設(shè)備和拍攝設(shè)備中的至少一種。