[實用新型]一種平面陰極

有效

• 申請號: 201520738884.0
• 申請日: 2015-09-22
• 公開（公告）號: CN205099747U
• 公開（公告）日: 2016-03-23
• 發明（設計）人: 郭江濤
• 申請（專利權）人: 上海曉睿真空科技有限公司
• 主分類號: C23C14/35
• 分類號: C23C14/35
• 代理公司: 上海脫穎律師事務所 31259
• 代理人: 李強

技術領域

本實用新型涉及一種真空磁控濺射設備，特別是一種平面陰極。

背景技術

目前，現有技術中的平面陰極都不具備在大氣側直接調整磁場均勻性的功能。膜層均勻性在大面積磁控濺射鍍膜設備中，是一項非常重要的指標。影響磁控濺射鍍膜均勻性的因素有很多，比如磁場分布、布氣分布、電場分布和濺射擋板開口等因素。目前，提高膜層均勻性的主要方法是，保證設備的磁場均勻性、布氣的均勻性和調節濺射擋板的開口尺寸等方法，及綜合使用這幾種方法。但是，在一些對膜層均勻性要求非常苛刻的工藝中，這些方式就無法實現要求的工藝，或實現后，均勻性會隨著靶材逐漸刻蝕而逐漸變差，后期需要設備破空，做進一步的鍍膜設備調整，造成設備停產，產能降低，或產品質量較差而難以滿足質量要求。

實用新型內容

本實用新型的目的之一是為了克服現有技術中的不足，提供一種相對于靶材的磁場可以調節的平面陰極。

為實現以上目的，本實用新型通過以下技術方案實現：

平面陰極，包括：

陰極體基座，所述陰極體基座設置有容腔；

磁體，該磁體設置在靶材的一側以約束電子，形成等離子體；

移位機構；

所述磁體可移動地設置于所述容腔內，所述移位機構可移動地設置于所述陰極體基座上，并延伸至所述容腔內驅動所述磁體移動。

根據本實用新型的一個優選實施例，所述移位機構包括調整桿和調節螺母；所述調整桿貫穿所述陰極體基座，一端位于所述容腔內，另一端伸出所述容腔之外并與所述調節螺母螺紋配合；所述調整桿可沿軸向移動地設置于所述陰極體基座上；所述調整桿一端與所述磁體直接連接或者傳動連接；所述調整桿與所述調節螺母其中之一可轉動地設置，所述調整桿與所述調節螺母其中之一轉動時可使所述調整桿沿軸向移動，所述調整桿沿軸向移動過程中驅動所述磁體移動。

根據本實用新型的一個優選實施例，所述磁體安裝在支撐梁上，所述支撐梁可移動地設置在所述容腔內，所述調整桿一端與所述支撐梁連接。

根據本實用新型的一個優選實施例，所述調節螺母上設置有刻度線。

根據本實用新型的一個優選實施例，所述調整桿與所述陰極體基座之間設置有第一密封圈。

根據本實用新型的一個優選實施例，還包括限位柱，所述限位柱設置有第一管腔，所述限位柱與所述陰極體基座連接，所述調整桿穿過所述第一管腔；所述調節螺母安裝在所述限位柱端部。

根據本實用新型的一個優選實施例，所述調節螺母可轉動地設置。

根據本實用新型的一個優選實施例，還包括蓋板，所述蓋板設置在所述陰極體基座下方，所述限位柱穿過所述蓋板。

根據本實用新型的一個優選實施例，所述陰極體基座與所述蓋板絕緣連接；所述陰極體基座與所述蓋板之間設置有絕緣板，所述絕緣板使所述陰極體基座與所述蓋板兩者絕緣；所述陰極體基座與所述絕緣板之間、所述絕緣板與所述蓋板之間分別設置有第二密封圈，所述第二密封圈環繞所述限位柱設置，將所述陰極體基座與所述絕緣板之間、所述絕緣板與所述蓋板之間密封。

根據本實用新型的一個優選實施例，還包括背部陽極板和墊塊，所述背部陽極板與所述陰極體基座絕緣連接；所述背部陽極板與所述陰極體基座之間設置有絕緣板，所述絕緣板使所述陰極體基座與所述背部陽極板兩者絕緣；所述陰極體基座與所述蓋板之間、所述絕緣板與所述背部陽極板之間分別設置有第二密封圈，所述第二密封圈環繞所述限位柱設置，將所述陰極體基座與所述絕緣板之間、所述絕緣板與所述背部陽極板之間密封；所述墊塊一端與所述背部陽極板密封連接，另一端與蓋板密封連接。

根據本實用新型的一個優選實施例，還包括限位柱和支撐桿，所述限位柱設置有第一管腔，所述支撐桿設置有第二管腔；所述限位柱一端與所述支撐桿連接，另一端與所述陰極體基座連接；所述支撐桿一端與所述限位柱連接，另一端延伸貫穿所述蓋板并安裝有可轉動的調節螺母，所述第二管腔與所述第一管腔連通。

根據本實用新型的一個優選實施例，所述磁體包括：

磁軛，該磁軛傳輸磁力線；

第一磁鐵；

第二磁鐵；

所述第一磁鐵與所述第二磁鐵間隔設置，并均與所述磁軛接觸；

所述第一磁鐵與第二磁鐵形成閉合磁力線，所述磁力線用于約束位于靶材一側的電子使之形成等離子體。