[實用新型]混合材料的薄膜電阻蒸發沉積裝置有效
| 申請號： | 201520736442.2 | 申請日： | 2015-09-22 |
| 公開（公告）號： | CN205035460U | 公開（公告）日： | 2016-02-17 |
| 發明（設計）人： | 周明;丁逸君;張莉;劉定權 | 申請（專利權）人： | 中國科學院上海技術物理研究所 |
| 主分類號： | C23C14/26 | 分類號： | C23C14/26;C23C14/54 |
| 代理公司： | 上海新天專利代理有限公司 31213 | 代理人： | 郭英 |
| 地址： | 200083 *** | 國省代碼： | 上海;31 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 混合 材料 薄膜 電阻 蒸發 沉積 裝置 | ||
1.一種混合材料的薄膜電阻蒸發沉積裝置，包括第一蒸發裝置(13)和第二蒸發裝置(14)，一個電源控制裝置(2)，一個電壓轉換裝置(3)，其特征在于：
所述第一蒸發裝置(13)和第二蒸發裝置(14)組成蒸發裝置，位于整個沉積系統的真空系統內，第一蒸發裝置(13)和第二蒸發裝置(14)并聯接入電壓轉換裝置(3)的輸出級(次級)，電壓轉換裝置(3)的輸入級(初級)串聯電源控制裝置(2)接入外接電源(1)；
在所述第一蒸發裝置(13)包含第一電流計(9)和第一蒸發舟(11)，所述第二蒸發裝置(14)包含第二電流計(8)和第二蒸發舟(10)；第一蒸發裝置(13)和第二蒸發裝置(14)組成的蒸發裝置與電壓轉換裝置(3)的輸出級串聯，所述蒸發裝置與電壓裝換裝置中間串聯第三電流計(5)。
2.根據權利要求1所述的混合材料的薄膜電阻蒸發沉積裝置，其特征在于：所述第一蒸發裝置(13)中的第一電流計(9)和第一蒸發舟(11)串聯連接，第二蒸發裝置(14)中的第二電流計(8)和第二蒸發舟(10)串聯連接。
3.根據權利要求1所述的混合材料的薄膜電阻蒸發沉積裝置，其特征在于：所述第一蒸發裝置(13)和第二蒸發裝置(14)并聯接入電壓轉換裝置(3)。
4.根據權利要求1所述的混合材料的薄膜電阻蒸發沉積裝置，其特征在于：第一蒸發舟(11)和第二蒸發舟(10)可通過調節自身寬度來調節蒸發功率比值。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于中國科學院上海技術物理研究所，未經中國科學院上海技術物理研究所許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201520736442.2/1.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
- 上一篇：鋁電解槽陰極結構
- 下一篇：一種電極坯烘烤預熱爐
- 同類專利
- 專利分類
