[實用新型]一種紫外遠心激光掃描鏡頭

有效

• 申請號: 201520726922.0
• 申請日: 2015-09-17
• 公開（公告）號: CN204964857U
• 公開（公告）日: 2016-01-13
• 發明（設計）人: 屈紅亮;何競彥;吳季;陳偉
• 申請（專利權）人: 福建福晶科技股份有限公司
• 主分類號: G02B13/00
• 分類號: G02B13/00;G02B13/22;G02B13/14
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本實用新型涉及光學鏡頭領域，特別涉及一種紫外遠心激光掃描鏡頭。

背景技術

由于激光的諸多優點，越來越多的被應用到我們的生活當中，特別是在工業應用當中，例如激光打標、激光切割、激光鉆孔、激光焊接、印刷、醫療、照明等都得到廣泛應用。

而激光掃描鏡頭就是其中一些應用當中的一個關鍵部分，它的作用就是聚焦成像，把平行入射光聚焦成高能量激光束對工件局部照射來進行工作。

傳統的掃描鏡頭，各個視場的像方主光線在焦平面上的入射角會隨著視場的增大而增大，使得在焦平面上的成像點變形，如果是激光鉆孔的話，那么邊緣與中心的孔就會不一致。遠心激光掃描鏡頭就是經過一些設計，使得各個視場的像方主光線可以垂直入射到焦平面上，形成中心與邊緣較一致的聚焦效果。另外不同的加工件材料需要使用不同波長的激光來進行加工，柔性線路板的加工使用紫外（UV）激光。

發明內容

本實用新型目的是為了克服現有技術中的不足，提供一種利用紫外激光進行材料加工的紫外遠心激光掃描鏡頭。

為了實現上述目的，本實用新型的技術方案如下：

一種紫外遠心激光掃描鏡頭，包括光闌、第一透鏡、第二透鏡、第三透鏡、第四透鏡以及第五透鏡，同一軸心。沿光傳播方向從左至右依次為光闌、第一透鏡、第二透鏡、第三透鏡、第四透鏡以及第五透鏡，其中所述第一透鏡為凹面朝向入射光的彎月型負透鏡，第二透鏡、第三透鏡和第四透鏡均為凹面朝向入射光的彎月型正透鏡，第五透鏡為雙凸型正透鏡。

本實用新型還可以：光闌距離第一透鏡前方25mm-45mm。

本實用新型還可以：所述的第一透鏡為凹面朝向入射光方向的彎月型負透鏡，R1=-26.3mm，R2=-350.4mm，中心厚度d1=5mm，材料為紫外熔融石英玻璃；第二透鏡為凹面朝向入射光的方向的彎月型正透鏡，R3=-81mm，R4=-45mm，中心厚度d2=13mm，材料為紫外熔融石英玻璃；第三透鏡為凹面朝向入射光方向的彎月型正透鏡，R5=-300.2mm，R6=-60.08mm，中心厚度d3=11.5mm，材料為紫外熔融石英玻璃；第四透鏡為凹面朝向入射光方向的彎月型正透鏡，R7=-310.6mm，R8=-79.0mm，中心厚度d4=14mm，材料為紫外熔融石英玻璃；第五透鏡為雙凸型正透鏡，R9=398.2mm，R10=-200.3mm，中心厚度d5=10mm，材料為紫外熔融石英玻璃。

與現有技術相比，本實用新型的有益效果是：

1、邊緣視場的聚焦光斑與中心視場的聚焦光斑較為一致，提高了加工精度；

2、使得各個視場的像方主光線始終垂直于加工臺面，在不移動加工件或工作臺，一次性加工的情況下，可以掃描60mm×60mm的范圍，掃描鏡頭焦距正好100mm；

3、使用光源為紫外(UV)激光，擴展了激光的應用范圍；

4、光學系統的遠心度誤差保持在2.5度以下。

附圖說明

圖1為紫外遠心激光掃描鏡頭結構示意圖。

具體實施方式

下面結合附圖與具體實施方式對本實用新型做進一步詳細描述。

一種紫外遠心激光掃描鏡頭，包括光闌、第一透鏡1、第二透鏡2、第三透鏡3、第四透鏡4以及第五透鏡5，同一軸心，沿光傳播方向從左至右依次為光闌、第一透鏡1、第二透鏡2、第三透鏡3、第四透鏡4以及第五透鏡5，其中所述第一透鏡1為凹面朝向入射光的彎月型負透鏡，第二透鏡2、第三透鏡3和第四透鏡4均為凹面朝向入射光的彎月型正透鏡，第五透鏡5為雙凸型正透鏡。光闌距離所述的第一透鏡1前方25mm-45mm。

所述的第一透鏡1為凹面朝向入射光方向的彎月型負透鏡，R1=-26.3mm，R2=-350.4mm，中心厚度d1=5mm，材料為紫外熔融石英玻璃；第二透鏡2為凹面朝向入射光的方向的彎月型正透鏡，R3=-81mm，R4=-45mm，中心厚度d2=13mm，材料為紫外熔融石英玻璃；第三透鏡3為凹面朝向入射光方向的彎月型正透鏡，R5=-300.2mm，R6=-60.08mm，中心厚度d3=11.5mm，材料為紫外熔融石英玻璃；第四透鏡4為凹面朝向入射光方向的彎月型正透鏡，R7=-310.6mm，R8=-79.0mm，中心厚度d4=14mm，材料為紫外熔融石英玻璃；第五透鏡5為雙凸型正透鏡，R9=398.2mm，R10=-200.3mm，中心厚度d5=10mm，材料為紫外熔融石英玻璃。

紫外光從光闌進入，經過第一透鏡1、第二透鏡2、第三透鏡3、第四透鏡4及第五透鏡5后，進行“負-正-正-正-正”的光焦變化后，出射激光束垂直的被聚焦到加工表面，形成高能量的光斑進行打標、切割、鉆孔等加工操作。在不移動加工件或工作臺，一次性加工的情況下，可以掃描60mm×60mm的范圍，掃描鏡頭焦距正好100mm。