[實用新型]一種靶材濺射裝置有效
| 申請號： | 201520722250.6 | 申請日： | 2015-09-17 |
| 公開（公告）號： | CN204939603U | 公開（公告）日： | 2016-01-06 |
| 發明（設計）人： | 魏鈺 | 申請（專利權）人： | 京東方科技集團股份有限公司 |
| 主分類號： | C23C14/35 | 分類號： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 北京同達信恒知識產權代理有限公司 11291 | 代理人： | 任嘉文 |
| 地址： | 100015 *** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 濺射 裝置 | ||
【權利要求書】：
1.一種靶材濺射裝置，其特征在于，該裝置包括：背板和位于所述背板下面均勻分布的多個相互絕緣的電磁線圈單元；
在預設周期內，多個所述電磁線圈單元產生與所述背板做相對運動的磁場，所述磁場正交于所述背板且密度相同。
2.根據權利要求1所述的裝置，其特征在于，在預設周期內，多個所述電磁線圈單元產生的磁場相對于所述背板做往返運動。
3.根據權利要求1所述的裝置，其特征在于，在預設周期內的每個時刻僅對每間隔固定個數的所述電磁線圈單元加載預設交流電，且兩相鄰時刻加載所述預設交流電的所述電磁線圈單元各不相同。
4.根據權利要求3所述的裝置，其特征在于，在同一時刻加載到相鄰兩個每間隔固定個數的電磁線圈單元的預設交流電的方向相同或相反，且所述預設交流電的有效值相同。
5.根據權利要求1-4任一項所述的裝置，其特征在于，所述電磁線圈單元包括鐵芯，以及纏繞所述鐵芯的線圈，且各所述電磁線圈單元中包括的線圈個數相同。
6.根據權利要求5所述的裝置，其特征在于，所述電磁線圈單元中的線圈為矩形，且矩形的長邊與所述背板相互平行，與所述背板的長邊相互垂直。
7.根據權利要求6所述的裝置，其特征在于，所述矩形的短邊為50-500mm。
8.根據權利要求5所述的裝置，其特征在于，相鄰的兩個所述電磁線圈單元之間的間隙為5-50mm。
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