[實用新型]一種用于液晶玻璃基板的溫控系統

有效

• 申請號: 201520721282.4
• 申請日: 2015-09-17
• 公開（公告）號: CN204925833U
• 公開（公告）日: 2015-12-30
• 發明（設計）人: 楊政諭
• 申請（專利權）人: 亞翔系統集成科技（蘇州）股份有限公司
• 主分類號: G05D23/20
• 分類號: G05D23/20
• 代理公司: 蘇州翔遠專利代理事務所(普通合伙) 32251
• 代理人: 陸金星

技術領域

本實用新型涉及一種溫控系統，具體涉及一種用于液晶玻璃基板的溫控系統，主要用于液晶玻璃基板的制作工藝中。

背景技術

現有技術中，液晶玻璃基板是液晶平板顯示器的重要組成部分，具有十分廣闊的發展前景。目前在商業上應用的玻璃基板，其主要厚度為0.7mm及0.5mm，且即將邁入更薄（如0.4mm）厚度之制程。超薄平板玻璃基材之特性主要取決于玻璃的組成，而玻璃的組成則影響玻璃的熱膨脹、黏度（應變、退火、轉化、軟化和工作點）、耐化學性、光學穿透吸收及在各種頻率與溫度下的電氣特性，產品質量除深受材料組成影響外，也取決于生產制程。整個玻璃基板的制程中，主要技術包括進料、薄板成型及后段加工三部分。其中進料技術主要控制于配方的好壞，首先是在高溫的熔爐中將玻璃原料熔融成低黏度且均勻的玻璃熔體，不但要考慮玻璃各項物理與化學特性，并需在不改變化學組成的條件下，選取原料最佳配方，以便有效降低玻璃熔融溫度，使玻璃澄清，同時達到玻璃特定性能，符合實際應用之需求。而薄板成型技術則攸關尺寸精度、表面性質和是否需進一步加工研磨，以達成特殊的物理、化學特性要求，后段加工則包含玻璃之分割、研磨、洗凈及熱處理等制程。

另一方面，解析度是數碼影像比較突出的技術指標。以目前FullHD畫質1920×1080幾乎是普遍的標準，也就是我們說的2K，而4K分辨率（4Kresolution）是一種新興的數字電影及計算機視訊的分辨率標準，包含規格、長、寬畫素都是目前FullHD的2倍以上，從今年初美國消費性電子展（CES）中，4K話題已成為新焦點，象征著更高的視訊標準正悄悄轉變當中進軍電影市場。

為了獲得4K分辨率的液晶玻璃基板，并使其具有優異的熱膨脹性能，需要在其曝光前將玻璃基板放入一恒溫區域（通常是23±0.01℃）一段時間。然而，為了使恒溫區域具有±0.01℃的精度，需要采用特別的溫控系統。現有的溫控系統參見附圖1所示，主要包括蒸發器1、冷凝器、壓縮機2、和加熱裝置3；空氣由溫控系統調節后再由風機輸入恒溫區域。其中，蒸發器主要采用銅管和翅片的結構，銅管中裝有丙二醇甲醚醋酸酯（PGMEA)作為冷媒。

然而，實際應用中發現，曝光工藝中光阻的有機溶劑丙二醇甲醚醋酸酯（PGMEA)在生產過程中會揮發至空氣中，并與空氣中水氣水解產生醋酸，而醋酸會腐蝕銅管（又稱蟻腐），導致銅管上產生小洞，進而使蒸發器發生微量漏冷媒的情況。

針對上述問題，現有的方法是補充添加冷媒，然而，隨著使用時間的增加，銅管上的小洞會越來越大，最終導致蒸發器報廢。另一方面，現有的溫控系統的價格非常昂貴，限制了本行業的發展。因此，開發一種價格較低的溫控系統，使其更易推廣應用，顯然具有積極的現實意義。

發明內容

本實用新型的目的是提供一種用于液晶玻璃基板的溫控系統。

為達到上述發明目的，本實用新型采用的技術方案是：一種用于液晶玻璃基板的溫控系統，包括板式換熱器，所述板式換熱器具有進水口、出水口，以及氣體入口和氣體出口；

所述板式換熱器的進水口與供水管路連通；所述板式換熱器的出水口與排水管路連通；

所述供水管路和排水管路之間通過連通管路連通；連通管路上設有單向閥，沿水流方向使板式換熱器、與出水口連通的部分排水管路、連通管路、與進水口連通的部分供水管路構成一套水循環結構；

所述與進水口連通的部分供水管路上設有水泵；所述供水管路或排水管路上設有閥門；

還設有控制系統，所述水泵和閥門由控制系統控制連接，使經過板式換熱器調節后的氣體的溫差小于等于0.01℃。

上文中，所述板式換熱器可以采用現有技術，其具有良好的傳熱強度。

所述供水管路和排水管路之間通過連通管路連通，即供水管路被連通管路分隔成上下兩段，上段為所述與進水口連通的部分供水管路，下段則是遠離進水口的供水管路。同樣的，排水管路被連通管路分隔成上下兩段，上段為所述與進水口連通的部分供水管路，下段則是遠離出水口的排水管路。

所述沿水流方向使板式換熱器、與出水口連通的部分排水管路、連通管路、與進水口連通的部分供水管路構成一套水循環結構；其水流路線依次為：與進水口連通的部分供水管路、板式換熱器的進水口、板式換熱器、板式換熱器的出水口、與出水口連通的部分排水管路、連通管路、與進水口連通的部分供水管路。即形成了一個內循環體系。而為了調節其溫度，可以引入微量或少量的外部水，可以從所述遠離進水口的供水管路引入。

所述板式換熱器內設有氣體通道和冷卻水通道，兩者通過熱交換來對氣體進行溫度控制。