[實(shí)用新型]一種真空鍍膜設(shè)備觀察窗遮板

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201520719546.2
• 申請(qǐng)日: 2015-09-17
• 公開（公告）號(hào): CN204959027U
• 公開（公告）日: 2016-01-13
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李亞軍
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 鎮(zhèn)江超威納米科技有限公司
• 主分類號(hào): C23C14/52
• 分類號(hào): C23C14/52
• 代理公司: 上海海頌知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 31258
• 代理人: 陳麗君

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及一種真空鍍膜設(shè)備觀察窗遮板。

背景技術(shù)

真空鍍膜設(shè)備主要指一類需要在較高真空度下進(jìn)行的鍍膜，具體包括很多種類，包括真空離子蒸發(fā)，磁控濺射，MBE分子束外延，PLD激光濺射沉積等很多種。主要思路是分成蒸發(fā)和濺射兩種。其中，在進(jìn)行真空離子蒸發(fā)時(shí)，真空鍍膜設(shè)備的觀察窗多會(huì)伴隨著高溫，導(dǎo)致觀察窗變模糊，影響外部人員觀察，同時(shí)由于真空鍍膜設(shè)備的工作特性，幾乎很長(zhǎng)時(shí)間內(nèi)，不會(huì)停機(jī)，觀察窗透鏡的使用壽命會(huì)由于高溫影響，急劇縮短，如發(fā)生碎裂，會(huì)嚴(yán)重影響設(shè)備內(nèi)部的真空度，進(jìn)而影響鍍膜效果，而且通常情況下，會(huì)在觀察窗外設(shè)置遮板，以防止離子外泄，對(duì)工作人員健康產(chǎn)生不良影響，然而此種遮板設(shè)置位置，會(huì)導(dǎo)致觀察窗透鏡直接面臨離子照射，導(dǎo)致透鏡老化、模糊，影響觀察效果，甚至碎裂。

實(shí)用新型內(nèi)容

針對(duì)上述問題，本實(shí)用新型提出了一種真空鍍膜設(shè)備觀察窗遮板。

為解決以上技術(shù)問題，本實(shí)用新型提供的技術(shù)方案是:

一種真空鍍膜設(shè)備觀察窗遮板，其特征在于，包括連接桿、遮板和把手，所述連接桿呈圓柱形，包括固定部、轉(zhuǎn)動(dòng)部和阻尼部，所述轉(zhuǎn)動(dòng)部設(shè)有貫穿轉(zhuǎn)動(dòng)部的插孔，所述插孔直徑為R1，所述把手呈圓柱形，直徑為R2，把手的一端設(shè)有插塊，所述插塊呈圓柱形，直徑為R3，所述R2>R1>R3，插塊上沿其所呈的圓柱形的軸向設(shè)有第一螺孔，插塊與插孔對(duì)應(yīng)配合，插入插孔內(nèi)，把手通過螺栓和第一螺孔與轉(zhuǎn)動(dòng)部固接，把手外套合有硅橡膠隔熱套管；

所述固定部上設(shè)有固定面，所述固定面上設(shè)有貫穿固定部的第二螺孔，所述第二螺孔至少為3個(gè)，并等間距設(shè)置，所述遮板呈方形，其上端設(shè)有固定孔，所述固定孔與第二螺孔對(duì)應(yīng)配合，遮板通過固定孔和第二螺孔用螺栓固定在固定部上；

所述阻尼部上設(shè)有阻尼套，所述阻尼套套合在連接桿上，其內(nèi)壁與連接桿固接；

進(jìn)一步的，所述連接桿的長(zhǎng)度為D1，固定部的長(zhǎng)度為D2，轉(zhuǎn)動(dòng)部的長(zhǎng)度為D3，阻尼部的長(zhǎng)度為D4，所述D2+D3+D4=D1，D2：D3：D4=6.2:1.7:1。

本實(shí)用新型的有益效果為：

本實(shí)用新型提出的一種真空鍍膜設(shè)備觀察窗遮板，其結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，設(shè)計(jì)合理，設(shè)置于觀察窗靠?jī)?nèi)一側(cè)，有效遮擋觀察窗透鏡，減少離子對(duì)觀察窗透鏡的直接照射，防止觀察窗透鏡老化、模糊，保證觀察效果，延長(zhǎng)觀察窗透鏡的使用壽命，本實(shí)用新型通過阻尼套與觀察窗間接連接，減少熱源傳遞，并通過硅橡膠隔熱套管阻隔熱量，方便工作人員拉動(dòng)把手進(jìn)行觀察，同時(shí)阻尼套使遮板具備了自動(dòng)回位功能，杜絕了因工作人員誤操作，而導(dǎo)致的離子外泄。

具有耐高溫、密封好、使用壽命長(zhǎng)的特點(diǎn)，冷水進(jìn)口和冷水出口通過管接頭與冷卻水管理連接，對(duì)觀察窗整體進(jìn)行不間斷的降溫，窗框與透鏡固定框連接穩(wěn)固，密封良好，遮板設(shè)置于觀察窗靠?jī)?nèi)一側(cè)，可有效阻隔真空鍍膜設(shè)備內(nèi)的離子外漏，在需要觀察時(shí)，拉動(dòng)把手，即可實(shí)現(xiàn)遮板轉(zhuǎn)動(dòng)，松下把手，遮板在重力作用下，自動(dòng)歸位，把手外套合有隔熱膠皮套，可阻隔熱量。

附圖說明

圖1本實(shí)用新型示意圖。

圖2A區(qū)域剖視圖。

圖3固定部剖視圖。

圖4把手截面圖。

圖5安裝示意圖。

具體實(shí)施方式

如圖所示的一種真空鍍膜設(shè)備觀察窗遮板，其特征在于，包括連接桿1、遮板2和把手3，所述連接桿1呈圓柱形，包括固定部4、轉(zhuǎn)動(dòng)部5和阻尼部6，所述轉(zhuǎn)動(dòng)部5設(shè)有貫穿轉(zhuǎn)動(dòng)部的插孔7，所述插孔7直徑為R1，所述把手3呈圓柱形，直徑為R2，把手3的一端設(shè)有插塊8，所述插塊8呈圓柱形，直徑為R3，所述R2>R1>R3，插塊8上沿其所呈的圓柱形的軸向設(shè)有第一螺孔9，插塊8與插孔7對(duì)應(yīng)配合，插入插孔7內(nèi)，把手3通過螺栓和第一螺孔9與轉(zhuǎn)動(dòng)部5固接，把手3外套合有硅橡膠隔熱套管10；

所述固定部4上設(shè)有固定面11，所述固定面11上設(shè)有貫穿固定部4的第二螺孔12，所述第二螺孔12至少為3個(gè)，并等間距設(shè)置，所述遮板2呈方形，其上端設(shè)有固定孔13，所述固定孔13與第二螺孔12對(duì)應(yīng)配合，遮板2通過固定孔13和第二螺孔12用螺栓固定在固定部4上；

所述阻尼部6上設(shè)有阻尼套14，所述阻尼套14套合在連接桿1上，其內(nèi)壁與連接桿1固接；

其中，所述連接桿1的長(zhǎng)度為D1，固定部4的長(zhǎng)度為D2，轉(zhuǎn)動(dòng)部5的長(zhǎng)度為D3，阻尼部6的長(zhǎng)度為D4，所述D2+D3+D4=D1，D2：D3：D4=6.2:1.7:1。