[實用新型]翻轉(zhuǎn)機構(gòu)及用以翻轉(zhuǎn)多個基板的輸送系統(tǒng)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201520718610.5
• 申請日: 2015-09-17
• 公開（公告）號: CN204991671U
• 公開（公告）日: 2016-01-20
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 顧海澤;謝君霞;劉昌杰
• 申請（專利權(quán)）人: 茂迪（蘇州）新能源有限公司
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677
• 代理公司: 上海光華專利事務(wù)所 31219
• 代理人: 余明偉

1.一種翻轉(zhuǎn)機構(gòu)，其特征在于，包含：

一樞軸；

多個翻轉(zhuǎn)單元，沿所述樞軸的一旋轉(zhuǎn)方向排列，并連接于所述樞軸；以及

多個吸嘴，設(shè)置于所述翻轉(zhuǎn)單元上；

其中，所述翻轉(zhuǎn)機構(gòu)的兩側(cè)分別設(shè)有一第一承接區(qū)域與一第二承接區(qū)域；所述翻轉(zhuǎn)單元沿所述旋轉(zhuǎn)方向旋轉(zhuǎn)，以所述吸嘴吸附至少一硅基板，將所述至少一硅基板由所述第一承接區(qū)域移動至所述第二承接區(qū)域。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的翻轉(zhuǎn)機構(gòu)，其特征在于：所述翻轉(zhuǎn)單元以所述樞軸為中心對稱排列。

3.根據(jù)權(quán)利要求1至2中任一項所述的翻轉(zhuǎn)機構(gòu)，其特征在于：所述翻轉(zhuǎn)單元的數(shù)量為兩個。

4.根據(jù)權(quán)利要求1至2中任一項所述的翻轉(zhuǎn)機構(gòu)，其特征在于：所述翻轉(zhuǎn)單元的數(shù)量為四個。

5.根據(jù)權(quán)利要求1至2中任一項所述的翻轉(zhuǎn)機構(gòu)，其特征在于：所述翻轉(zhuǎn)單元的數(shù)量為十二個。

6.一種用以翻轉(zhuǎn)多個基板的輸送系統(tǒng)，其特征在于，包含：

一輸送單元；以及如權(quán)利要求1至5中任一項所述的翻轉(zhuǎn)機構(gòu)，所述翻轉(zhuǎn)機構(gòu)沿所述輸送單元行進方向的兩側(cè)分別設(shè)有所述第一承接區(qū)域及所述第二承接區(qū)域。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的用以翻轉(zhuǎn)多個基板的輸送系統(tǒng)，其特征在于：所述輸送單元位于所述第一承接區(qū)域或所述第二承接區(qū)域，用以將所述至少一基板輸送至所述第一承接區(qū)域，或用以將所述至少一基板輸送離開所述第二承接區(qū)域。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的用以翻轉(zhuǎn)多個基板的輸送系統(tǒng)，其特征在于：所述第二承接區(qū)域包含至少一個緩沖墊。

9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的用以翻轉(zhuǎn)多個基板的輸送系統(tǒng)，其特征在于：還包含一保護罩，用以包覆所述翻轉(zhuǎn)機構(gòu)。