[實用新型]一種CIGS薄膜電池生產線磁控濺射用遮擋裝置

有效

• 申請號: 201520699643.X
• 申請日: 2015-09-10
• 公開（公告）號: CN204999966U
• 公開（公告）日: 2016-01-27
• 發明（設計）人: 陸傳達;畢磊
• 申請（專利權）人: 南京漢能薄膜太陽能有限公司
• 主分類號: C23C14/35
• 分類號: C23C14/35
• 代理公司: 南京經緯專利商標代理有限公司 32200
• 代理人: 張惠忠

技術領域

本實用新型屬于光伏技術領域，特別是一種CIGS薄膜電池生產線磁控濺射用遮擋裝置。

背景技術

磁控濺射已發展為工業鍍膜生產中最主要的技術之一。在磁控濺射鍍膜過程中，從靶材濺射出來的高能粒子除了向基片凝聚、形成薄膜之外，不可避免的會有一部分沉積到陰極靶材四周及腔室遮罩或其它部件上。隨著濺射鍍膜的反復進行，濺射室腔體表面的沉積物越來越厚，進而導致不得不花費大量的人力物力清除。

目前行業內的遮擋裝置設計結構偏于繁瑣、重量過重，成本高，鍍膜效果不好等問題，生產過程中很容易出現遮擋裝置短路，產生異常放電，導致產品報廢。

實用新型內容

本實用新型針對上述現有技術的不足，在陰極靶材及沉積基片之間設計一種遮擋裝置，在濺射鍍膜過程中，該遮擋裝置能夠將陰極靶材和沉積基片之間的空間區域及靶材與陰極腔體封閉起來，并有效阻斷沉積粒子向濺射室內壁及靶材四壁沉積，降低濺射室的污染，且陽極腔體不需要匹配的輔助擋板。

為解決上述技術問題，本實用新型采用的技術方案是：

一種CIGS薄膜電池生產線磁控濺射用遮擋裝置，包括側擋板和底板，側擋板由兩塊側板拼合形成圍擋，該圍擋的兩端位于拐角處設置有1/4圓弧狀的圍板結構，所述側擋板有兩塊，兩塊側擋板圍合形成一側面敞口的長方體，底板上具有一個半圓形缺口，所述底板有兩塊，底板卡設于兩塊側擋板之間，底板與側擋板的兩個1/4圓弧圍合形成完整的圓孔。

該設計打破傳統的設計理念，只需陰極靶材四周安裝遮擋裝置，不需要在陽極區域另行設置遮擋板，遮擋板的使用數量減少，可縮短維護時間，降低維護人員負荷，降低遮擋板與腔體陰陽極短路風險，從而提高濺射效率。

本實用新型遮擋裝置與陰極腔體壁的接觸方式為點接觸，打破傳統的遮擋板直接與陰極腔體壁面接觸。接觸面越多，隨著濺射發生，遮擋板表層會被不斷濺鍍膜，隨之遮擋板溫度升高，產生形變，導致與腔體壁發生短路風險增加。遮擋板數量增加，相應也會提高短路風險。

本實用新型設計陰極遮擋裝置結構設計與陰極腔體壁不在一個水平面。其中側擋板開口大小及角度匹配待鍍物襯底濺鍍膜范圍，襯底附近腔體僅有很小一部分被濺鍍膜，設備維護時，及時清理即可。

優通過控制側擋板的開口位置、角度，限制成膜范圍，獲得理想的膜層質量。選地，所述側擋板由兩塊側板垂直拼合形成L形圍擋。

優選所述CIGS薄膜電池生產線磁控濺射用遮擋裝置的基材采用鋁5052材質，或其它材質（具有質量輕、硬度高、耐酸堿腐蝕），表面進行噴砂或熔射處理。

所述側擋板的外側壁上安裝有冷卻管。冷卻管用銅管或其它管材冷卻水管固定在側擋板背面，達到冷卻作用。

本實用新型采用上述結構后，具有如下技術效果：

本實用新型所述遮擋裝置設計結構簡單，使用輕便，可縮短維護時間，降低維護人員負荷，有效將濺射腔室內污染降到最低，降低短路風險，可提高制品膜層質量及濺射效率。

附圖說明

為了更清楚地說明本實用新型實施例或現有技術中的技術方案，下面將對實施例或現有技術描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實用新型的一些實施例，對于本領域普通技術人員來講，在不付出創造性勞動的前提下，還可以根據這些附圖獲得其他的附圖。

圖1顯示了本實用新型所述CIGS薄膜電池生產線磁控濺射用遮擋裝置的整體結構；

圖2顯示了本實用新型所述側擋板的結構；

圖3顯示了本實用新型所述側擋板上安裝冷卻管的結構；

圖4顯示了本實用新型所述CIGS薄膜電池生產線磁控濺射用遮擋裝置的使用狀態圖。

具體實施方式

為使本實用新型的目的和技術方案更加清楚，下面將結合本實用新型實施例對本實用新型的技術方案進行清楚、完整地描述。顯然，所描述的實施例是本實用新型的一部分實施例，而不是全部的實施例。基于所描述的本實用新型的實施例，本領域普通技術人員在無需創造性勞動的前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本實用新型保護的范圍。

一種CIGS薄膜電池生產線磁控濺射用遮擋裝置，包括側擋板1、底板2、冷卻管3等技術特征。

實施例1