[實(shí)用新型]一種用于直寫曝光機(jī)的UVLED陣列光源收集利用裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201520691192.5
• 申請(qǐng)日: 2015-09-09
• 公開（公告）號(hào): CN204945617U
• 公開（公告）日: 2016-01-06
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 曹常瑜
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 合肥芯碁微電子裝備有限公司
• 主分類號(hào): G03F7/20
• 分類號(hào): G03F7/20;G02B27/09
• 代理公司: 合肥天明專利事務(wù)所 34115
• 代理人: 張祥騫;奚華保

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及直寫曝光機(jī)技術(shù)領(lǐng)域，具體來(lái)說(shuō)是一種用于直寫曝光機(jī)的UVLED陣列光源收集利用裝置。

背景技術(shù)

隨著UVLED發(fā)光芯片的技術(shù)更新，UVLED的發(fā)光功率也逐漸增大，UVLED也被使用在相關(guān)光刻設(shè)備上。相比目前使用較多的半導(dǎo)體激光器而言，UVLED光源具有更高的性價(jià)比。但是UVLED發(fā)光芯片在直寫曝光機(jī)上的使用存在重要問(wèn)題，就是如何形成光源收集利用。由于單顆UVLED發(fā)光功率低，因此在直寫曝光機(jī)上使用UVLED光源時(shí)，需要使用多個(gè)UVLED發(fā)光芯片，那么如何將多個(gè)UVLED發(fā)光芯片形成陣列，從而達(dá)到增加整體功率的目的已經(jīng)成為急需解決的技術(shù)問(wèn)題。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的是為了解決現(xiàn)有技術(shù)中針對(duì)UVLED發(fā)光芯片無(wú)法進(jìn)行光源收集利用的缺陷，提供一種用于直寫曝光機(jī)的UVLED陣列光源收集利用裝置來(lái)解決上述問(wèn)題。

為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型的技術(shù)方案如下：

一種用于直寫曝光機(jī)的UVLED陣列光源收集利用裝置，包括UVLED發(fā)光芯片，所述的UVLED發(fā)光芯片前均放置有收集透鏡，收集透鏡前均放置有曲面復(fù)眼，UVLED發(fā)光芯片、收集透鏡和曲面復(fù)眼的數(shù)量均為若干個(gè)，UVLED發(fā)光芯片的光源經(jīng)收集透鏡成像于曲面復(fù)眼上，曲面復(fù)眼前放置有倍率縮小鏡頭組，倍率縮小鏡頭組前放置有勻光棒，曲面復(fù)眼射出的光線經(jīng)倍率縮小鏡頭組成像于勻光棒的入射端口，勻光棒前放置有倍率放大鏡頭組，倍率放大鏡頭組前放置有DMD芯片，勻光棒出光端口射出的光線經(jīng)倍率放大鏡頭組成像于DMD芯片表面。

所述的倍率縮小鏡頭組包括正透鏡A和正透鏡B，正透鏡A和正透鏡B兩者呈鏡像對(duì)應(yīng)，正透鏡A的焦距大于正透鏡B的焦距，曲面復(fù)眼射出的光線經(jīng)過(guò)正透鏡A和正透鏡B成像于勻光棒的入射端口；所述的倍率放大鏡頭組包括正透鏡C和正透鏡D，正透鏡C和正透鏡D兩者呈鏡像對(duì)應(yīng)，正透鏡C的焦距小于正透鏡D的焦距，勻光棒出光端口射出的光線經(jīng)過(guò)正透鏡C和正透鏡D成像于DMD芯片表面。

所述的若干個(gè)UVLED發(fā)光芯片呈二維陣列方式布置，若干個(gè)收集透鏡呈二維陣列方式布置，若干個(gè)曲面復(fù)眼呈二維陣列方式布置，相鄰的UVLED發(fā)光芯片之間的間隔距離與相鄰的收集透鏡之間的間隔距離相等，相鄰的收集透鏡之間的間隔距離與相鄰的曲面復(fù)眼之間的間隔距離相等。

所述的曲面復(fù)眼為矩形，曲面復(fù)眼的面型為球面。

所述的勻光棒為矩形，勻光棒的長(zhǎng)寬比例與DMD芯片的長(zhǎng)寬比例相同。

所述UVLED發(fā)光芯片、收集透鏡和曲面復(fù)眼的數(shù)量均為6個(gè)。

有益效果

本實(shí)用新型的一種用于直寫曝光機(jī)的UVLED陣列光源收集利用裝置，與現(xiàn)有技術(shù)相比能夠?qū)VLED陣列子光源收集，進(jìn)行勻光整形后，成像于DMD表面，達(dá)到所需要的光斑尺寸。通過(guò)倍率縮小鏡頭組的設(shè)計(jì)，將多個(gè)UVLED陣列子光源集中收集到勻光棒上；通過(guò)勻光棒的設(shè)計(jì)，將收集的光線進(jìn)行勻光并整形成矩形；通過(guò)倍率放大鏡頭組的設(shè)計(jì)，將勻光后的光線成像到DMD芯片表面，使其能夠經(jīng)投影鏡頭投影到曝光面。具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、成本低廉、實(shí)用性高的特點(diǎn)。

附圖說(shuō)明

圖1為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖；

其中，1-UVLED發(fā)光芯片、2-收集透鏡、3-曲面復(fù)眼、4-倍率縮小鏡頭組、5-正透鏡A、6-正透鏡B、7-勻光棒、8-倍率放大鏡頭組、9-正透鏡C、10-正透鏡D、11-DMD芯片。

具體實(shí)施方式

為使對(duì)本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)特征及所達(dá)成的功效有更進(jìn)一步的了解與認(rèn)識(shí)，用以較佳的實(shí)施例及附圖配合詳細(xì)的說(shuō)明，說(shuō)明如下：