[實用新型]放電檢測電路

有效

• 申請號: 201520684701.1
• 申請日: 2015-09-06
• 公開（公告）號: CN204925328U
• 公開（公告）日: 2015-12-30
• 發明（設計）人: 李興華;王振輝;王錦喆;許志俊;臧俊敏
• 申請（專利權）人: 中芯國際集成電路制造（北京）有限公司
• 主分類號: G01R31/14
• 分類號: G01R31/14
• 代理公司: 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237
• 代理人: 屈蘅;李時云

1.一種放電檢測電路，其特征在于，包括：

電平比較單元，接收一電流監控輸出端的電壓和一預定電壓，并對所述電流監控輸出端的電壓和預定電壓進行比較，當所述電流監控輸出端的電壓超過所述預定電壓時，所述電平比較單元的輸出電平翻轉，當所述電流監控輸出端的電壓回落到所述預定電壓以下時，所述電平比較單元的輸出電平再次翻轉；以及

脈沖輸出單元，連接所述電平比較單元，所述脈沖輸出單元檢測所述電平比較單元輸出電平的翻轉以檢測所述電流監控輸出端是否有放電，所述脈沖輸出單元檢測到所述電平比較單元輸出電平的翻轉時輸出高電平。

2.如權利要求1所述的放電檢測電路，其特征在于，還包括電平轉換單元，連接于所述電平比較單元和所述脈沖輸出單元之間，接收所述電平比較單元輸出電平，并轉換為滿足脈沖輸出單元電平輸入的電平。

3.如權利要求2所述的放電檢測電路，其特征在于，所述電平轉換單元包括一電壓比較器和一晶體管，所述電壓比較器的一輸入端接收所述電平比較單元輸出的翻轉后的電平，所述電壓比較器的另一輸入端接地，所述電壓比較器的輸出端連接所述晶體管的基極，所述晶體管的發射極接地，所述晶體管的集電極連接所述脈沖輸出單元。

4.如權利要求1所述的放電檢測電路，其特征在于，所述脈沖輸出單元包括脈沖輸出主體和發光二極管，所述脈沖輸出主體的第一輸入端接收所述電平比較單元輸出電平，所述脈沖輸出主體的第一輸出端連接所述發光二極管的陰極，所述發光二極管的陽極連接一第一外界電壓，所述發光二極管的陰極作為所述脈沖輸出單元的輸出端，當所述脈沖輸出主體檢測到所述電流監控輸出端有放電時，所述發光二極管熄滅。

5.如權利要求4所述的放電檢測電路，其特征在于，所述脈沖輸出單元還包括一電阻及一電容，所述脈沖輸出主體通過所述電阻及電容控制所述高電平的持續時間。

6.如權利要求5所述的放電檢測電路，其特征在于，所述發光二極管的陽極通過所述電阻連接所述外界電壓，并通過所述電容接地。

7.如權利要求6所述的放電檢測電路，其特征在于，所述脈沖輸出單元還包括與門，所述與門的一輸入端和輸出端分別連接于所述脈沖主體和所述發光二極管之間，用于驅動所述發光二極管。

8.如權利要求7所述的放電檢測電路，其特征在于，所述與門的另一輸入端還分別連接所述脈沖輸出主體的第二輸入端和第三輸入端，所述脈沖輸出主體的第二輸入端、第三輸入端以及所述與門的另一輸入端還接入一第二外界電壓。

9.如權利要求4所述的放電檢測電路，其特征在于，所述脈沖輸出主體為非重觸發單穩態觸發器。

10.如權利要求1所述的放電檢測電路，其特征在于，所述電平比較單元為比較器，其兩個輸入端分別接收所述電流監控輸出端的電壓和所述預定電壓。

11.如權利要求1-10任意一項所述的放電檢測電路，其特征在于，所述放電檢測電路為離子注入機的放電檢測電路。