[實(shí)用新型]基于組合透鏡法的光柵尺三探頭焦距測量裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201520684089.8
• 申請日: 2015-09-06
• 公開（公告）號: CN204855140U
• 公開（公告）日: 2015-12-09
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 張霖;楊一;任寰;姜宏振;陳波;馬驊;石振東;原泉;李東;劉勇;劉旭;馬玉榮;楊曉瑜;柴立群
• 申請（專利權(quán)）人: 中國工程物理研究院激光聚變研究中心
• 主分類號: G01M11/02
• 分類號: G01M11/02
• 代理公司: 成都弘毅天承知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 51230
• 代理人: 楊保剛;趙宇

1.一種基于組合透鏡法的光柵尺三探頭焦距測量裝置，其特征在于：包括干涉儀系統(tǒng)（1）和光柵尺（2），所述光柵尺（2）上沿光柵尺（2）的長度方向依次設(shè)置有第一支架（21）、第二支架（22）和第三支架（23），所述第一支架（21）、第二支架（22）和第三支架（23）可分別單獨(dú)沿光柵尺（2）的長度方向移動；所述第一支架（21）的連接端、自由端分別連接有第一探頭（3）、標(biāo)準(zhǔn)透鏡（4），所述第二支架（22）的連接端、自由端分別連接有第二探頭（5）、待測透鏡（6），所述第三支架（23）的連接端、自由端分別連接有第三探頭（7）、平面反射鏡（8）；所述干涉儀系統(tǒng)（1）出射的準(zhǔn)直激光依次經(jīng)標(biāo)準(zhǔn)透鏡（4）、待測透鏡（6）后聚焦在平面反射鏡（8）上，并在平面反射鏡（8）上產(chǎn)生反射形成反射激光，反射激光依次經(jīng)待測透鏡（6）、標(biāo)準(zhǔn)透鏡（4）后進(jìn)入干涉儀系統(tǒng)（1）。

2.如權(quán)利要求1所述的基于組合透鏡法的光柵尺三探頭焦距測量裝置，其特征在于：所述干涉儀系統(tǒng)（1）為斐索干涉儀系統(tǒng)（1）、邁克爾遜干涉儀系統(tǒng)（1）或泰曼格林干涉儀系統(tǒng)（1）。

3.如權(quán)利要求2所述的基于組合透鏡法的光柵尺三探頭焦距測量裝置，其特征在于：所述干涉儀系統(tǒng)（1）為斐索干涉儀系統(tǒng)（1），所述斐索干涉儀系統(tǒng)（1）包括激光器（11）、顯微物鏡（12）、分束器（13）、透鏡（14）、CCD探測器（15）和準(zhǔn)直透鏡（16）；所述激光器（11）出射的激光經(jīng)顯微物鏡（12）后入射至分束器（13）并有分束器（13）分成參考激光和測量激光，所述參考激光經(jīng)透鏡（14）后入射至CCD探測器（15）；所述測量激光經(jīng)準(zhǔn)直透鏡（16）后形成準(zhǔn)直激光，透過標(biāo)準(zhǔn)透鏡（4）、待測透鏡（6）后經(jīng)平面反射鏡（8）反射的激光經(jīng)準(zhǔn)直透鏡（16）后入射至分束器（13）并在分束器（13）上產(chǎn)生反射形成再反射激光，所述再反射激光經(jīng)透鏡（14）后入射至CCD探測器（15）。