[實用新型]一種應用于MOCVD反應室的三波長免修正在線紅外監測儀有效
| 申請號： | 201520683842.1 | 申請日： | 2015-09-06 |
| 公開（公告）號： | CN204944680U | 公開（公告）日： | 2016-01-06 |
| 發明（設計）人： | 楊超普;劉明寶;耿西俠;周春生;李春;劉彥峰;張美麗;張國春 | 申請（專利權）人： | 商洛學院 |
| 主分類號： | G01J5/10 | 分類號： | G01J5/10;G01B11/06 |
| 代理公司： | 西安通大專利代理有限責任公司 61200 | 代理人： | 陸萬壽 |
| 地址： | 726000 陜西省*** | 國省代碼： | 陜西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 應用于 mocvd 反應 波長 修正 在線 紅外 監測 | ||
1.一種應用于MOCVD反應室的三波長免修正在線紅外監測儀，其特征在于：包括安裝在MOCVD反應室上方的監測儀探頭盒體，在監測儀探頭盒體中設有圓柱狀的分光片腔，在分光片腔上方設有上光感探測器，在分光片腔兩側分別上下交錯設有左光感探測器和右光感探測器，各光感探測器與監測儀探頭盒體分光片腔之間均設有進出光孔，對應左光感探測器和右光感探測器的進出光孔的監測儀探頭盒體分光片腔中分別設有135°二向色濾光片和45°二向色濾光片。
2.根據權利要求1所述的應用于MOCVD反應室的三波長免修正在線紅外監測儀，其特征在于：所述進出光孔為在監測儀探頭盒體分光片腔上、下、左、右分別設有與二向色濾光片相通的上出光孔、下進光孔、左出光孔以及右出光孔，上出光孔和下進光孔在同一直線上，左出光孔與右出光孔相互平行，且均垂直于監測儀探頭盒體。
3.根據權利要求1所述的應用于MOCVD反應室的三波長免修正在線紅外監測儀，其特征在于：在各光感探測器的進出光孔處分別設有窄帶濾光片。
4.根據權利要求1所述的應用于MOCVD反應室的三波長免修正在線紅外監測儀，其特征在于：所述右光感探測器是中心波長為1300nm，半峰寬為10nm的光感探測器。
5.根據權利要求1所述的應用于MOCVD反應室的三波長免修正在線紅外監測儀，其特征在于：所述左光感探測器是中心波長為1150nm，半峰寬為10nm的光感探測器。
6.根據權利要求1所述的應用于MOCVD反應室的三波長免修正在線紅外監測儀，其特征在于：所述上光感探測器是中心波長為940nm，半峰寬為10nm的光感探測器。
7.根據權利要求2所述的應用于MOCVD反應室的三波長免修正在線紅外監測儀，其特征在于：所述監測儀探頭盒體安裝在MOCVD反應室的石英光學窗口的正上方，監測儀探頭盒體的下進光孔對準MOCVD反應室的頂板上的石英光學窗口下的噴淋孔。
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