[實用新型]非線性薄膜材料的光學(xué)非線性測量裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201520680761.6
• 申請日: 2015-09-06
• 公開（公告）號: CN204903381U
• 公開（公告）日: 2015-12-23
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 張霖;任寰;姜宏振;楊一;陳波;馬驊;石振東;原泉;李東;劉勇;劉旭;馬玉榮;楊曉瑜;柴立群
• 申請（專利權(quán)）人: 中國工程物理研究院激光聚變研究中心
• 主分類號: G01N21/17
• 分類號: G01N21/17
• 代理公司: 成都弘毅天承知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 51230
• 代理人: 楊保剛;趙宇

1.一種非線性薄膜材料的光學(xué)非線性測量裝置，其特征在于：包括激光器（1）、泵浦光路、探測光路、測量光路和計算機處理系統(tǒng)（18）；所述激光器（1）產(chǎn)生的入射激光入射至第一分束器（2)后并由第一分束器（2）分成泵浦光和探測光；所述泵浦光經(jīng)泵浦光路入射至待測樣品（8），所述探測光經(jīng)探測光路入射至待測樣品（8），所述探測光在待測樣品（8）上產(chǎn)生反射形成反射激光，反射激光入射至第二分束器（13）后并由第二分束器（13）分成透射測量光和反射測量光；所述透射測量光、反射測量光分別經(jīng)開孔測量光路、閉孔測量光路后通過衰減器（16）入射至同一CCD探測器（17）并在CCD探測器（17）上得到一系列開孔測量光斑和閉孔測量光斑；所述CCD探測器（17）與計算機處理系統(tǒng)（18）電連接，所述CCD探測器（17）上得到的測量光斑和監(jiān)測光斑傳輸至計算機處理系統(tǒng)（18）。

2.如權(quán)利要求1所述的非線性薄膜材料的光學(xué)非線性測量裝置，其特征在于：所述探測光路包括第一反射鏡（5）、相位光闌（6）和第一透鏡（7），所述探測光在第一反射鏡（5）上產(chǎn)生反射形成反射探測激光，反射探測激光依次經(jīng)相位光闌（6）、第一透鏡（7）后入射至待測樣品（8）。

3.如權(quán)利要求2所述的非線性薄膜材料的光學(xué)非線性測量裝置，其特征在于：所述相位光闌（6）為環(huán)形結(jié)構(gòu)，所述相位光闌（6）的中心陰影區(qū)域與其他區(qū)域的相位差為π/2。

4.如權(quán)利要求2或3所述的非線性薄膜材料的光學(xué)非線性測量裝置，其特征在于：所述相位光闌（6）置于第一透鏡（7）的前焦平面上，所述待測樣品（8）置于第一透鏡（7）的后焦平面上。

5.如權(quán)利要求1所述的非線性薄膜材料的光學(xué)非線性測量裝置，其特征在于：入射到待測樣品（8）的泵浦光和入射至待測樣品（8）的探測光之間的夾角α為10°-20°。

6.如權(quán)利要求1所述的非線性薄膜材料的光學(xué)非線性測量裝置，其特征在于：所述泵浦光路包括第二反射鏡（9）、直角棱鏡（10）、第三反射鏡（11）和第二透鏡（12），所述泵浦光入射至第二反射鏡(9)上產(chǎn)生反射形成反射泵浦激光，反射泵浦激光經(jīng)直角棱鏡（10）后入射至第三反射鏡（11）并在第三反射鏡（11）上產(chǎn)生再次反射形成再反射泵浦激光，再反射泵浦激光經(jīng)第二透鏡（12）后入射至待測樣品（8）。

7.如權(quán)利要求1所述的非線性薄膜材料的光學(xué)非線性測量裝置，其特征在于：所述開孔測量光路包括第四反射鏡（14），所述透射測量光入射至第四反射鏡（14）并在第四反射鏡（14）上產(chǎn)生反射形成開孔測量光，所述開孔測量光通過衰減器（13）入射至CCD探測器（14）并在CCD探測器（14）上得到一系列開孔測量光斑；所述閉孔測量光路包括小孔光闌（15），所述反射測量光通過小孔光闌（15）形成閉孔測量光，所述閉孔測量光通過衰減器（13）入射至CCD探測器（14）并在CCD探測器（14）上得到一系列閉孔測量光斑。

8.如權(quán)利要求7所述的非線性薄膜材料的光學(xué)非線性測量裝置，其特征在于：所述小孔光闌（15）的孔徑的尺寸與相位光闌（6）在遠(yuǎn)場的衍射光斑的尺寸相同。

9.如權(quán)利要求1所述的非線性薄膜材料的光學(xué)非線性測量裝置，其特征在于：所述開孔測量光與閉孔測量光相互平行。

10.如權(quán)利要求1所述的非線性薄膜材料的光學(xué)非線性測量裝置，其特征在于：所述第一分束器（2）的反射—透射比大于10:1。