[實用新型]一種平板電路微觀缺陷檢測線陣掃描系統

有效

• 申請號: 201520680520.1
• 申請日: 2015-09-02
• 公開（公告）號: CN204989056U
• 公開（公告）日: 2016-01-20
• 發明（設計）人: 全燕鳴;姜長城;陳秋華
• 申請（專利權）人: 華南理工大學
• 主分類號: G01N21/89
• 分類號: G01N21/89
• 代理公司: 廣州市華學知識產權代理有限公司 44245
• 代理人: 霍健蘭;李衛東

技術領域

本實用新型涉及一種平板電路微觀缺陷檢測線陣掃描系統。

背景技術

在平板顯示行業的電路表觀缺陷檢測中，由于基板尺寸大、電路刻蝕密度高、缺陷小至微米級、要求高檢測速率等特點，通常使用基于線陣相機的AOI(自動光學檢測)系統。當進行小尺寸基板離線檢測時，為平衡成本與效率，一般采用單臺線陣相機結合基板往復運動遍歷掃描整張基板。目前在業界中，常用伺服電機編碼器的反饋信號來同步線陣相機采集。該方式為被動控制，頻繁啟停必然會造成機械沖擊并引起機械振動，使得在啟停階段線陣相機采集同步信號無法與速度變化相匹配，嚴重影響掃描圖像兩端的成像質量。因此需要設計出一種新的平板電路微觀缺陷檢測線陣掃描系統，以減輕啟停沖擊帶來的圖像畸變。

實用新型內容

本實用新型的目的在于克服現有技術中的缺點與不足，提供一種可避免由于機械慣性沖擊而引起的圖像畸變、結構簡單、使用安全可靠的平板電路微觀缺陷檢測線陣掃描系統。

為了達到上述目的，本實用新型通過下述技術方案予以實現：一種平板電路微觀缺陷檢測線陣掃描系統，其特征在于：包括上位機、PLC控制器、線陣相機、伺服驅動器、伺服電機和工作臺；其中，上位機分別與PLC控制器和線陣相機信號連接；PLC控制器通過伺服驅動器與伺服電機信號連接；伺服電機與工作臺連接；PLC控制器與線陣相機信號連接。

本實用新型線陣掃描系統中，將設有平板電路的基板放置在工作臺上；PLC控制器在控制伺服驅動器來移動工作臺的同時，輸出同步信號控制線陣相機對平板電路進行掃描成像；線陣相機將圖像信息傳送到上位機進行分析處理以實現平板電路微觀缺陷檢測。與傳統線陣掃描系統相比，本實用新型線陣掃描系統結構簡單，使用安全可靠；線陣相機同步依據并不是伺服電機編碼器的反饋信號，而是PLC控制器的同步信號；由于作為同步依據的信號來自于PLC控制器，而PLC控制器為主動控制器，因此可以有效預測工作臺移動速度的變化量，避免由于機械慣性沖擊而引起線陣相機掃描形成的圖像畸變，有利于提高平板電路微觀缺陷檢測的準確程度。

進一步的方案是：所述的PLC控制器與線陣相機信號連接是指，PLC控制器的高速脈沖輸出端口與線陣相機的相機采集同步端口信號連接。PLC控制器的高速脈沖輸出端口輸出的同步信號可有效控制線陣相機對平板電路進行掃描，可簡化系統結構，降低系統成本。

所述的PLC控制器通過伺服驅動器與伺服電機信號連接是指，PLC控制器與伺服驅動器雙向信號連接；伺服驅動器的輸出端與伺服電機的輸入端信號連接。

所述伺服電機的反饋端與伺服驅動器的輸入端信號連接。伺服電機的編碼器反饋脈沖信號作為反饋參考信號輸入PLC控制器，可修正PLC控制器向線陣相機輸出的同步信號。

所述上位機通過RS232接口與PLC控制器信號連接。

所述工作臺上設置有載物臺；基板放置在載物臺上，便于操作，有利于檢測效率。

與現有技術相比，本實用新型具有如下優點與有益效果：

1、本實用新型線陣掃描系統結構簡單，使用安全可靠；可以有效預測工作臺移動速度的變化量，避免由于機械慣性沖擊而引起線陣相機掃描形成的圖像畸變，有利于提高平板電路微觀缺陷檢測的準確程度；

2、本實用新型線陣掃描系統中，伺服電機的編碼器反饋脈沖信號作為反饋參考信號輸入PLC控制器，可修正PLC控制器向線陣相機輸出的同步信號。

附圖說明

圖1是本實用新型線陣掃描系統的系統框圖；

圖2是實施例二線陣掃描系統的系統框圖。

具體實施方式

下面結合附圖與具體實施方式對本實用新型作進一步詳細的描述。

實施例一

本實施例平板電路微觀缺陷檢測線陣掃描系統，其系統框圖如圖1所示；包括上位機、PLC控制器、線陣相機、伺服驅動器、伺服電機和工作臺。其中，上位機分別與PLC控制器和線陣相機信號連接。PLC控制器通過伺服驅動器與伺服電機信號連接；具體地說，PLC控制器與伺服驅動器雙向信號連接；伺服驅動器的輸出端與伺服電機的輸入端信號連接。伺服電機與工作臺連接。PLC控制器與線陣相機信號連接。