[實用新型]一種真空濺射鍍膜基片的裝夾裝置

有效

• 申請號: 201520668550.0
• 申請日: 2015-08-23
• 公開（公告）號: CN205011833U
• 公開（公告）日: 2016-02-03
• 發明（設計）人: 王新;牛建國
• 申請（專利權）人: 洛陽新兆電子有限公司
• 主分類號: C23C14/50
• 分類號: C23C14/50
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本實用新型涉及電子產品ITO鍍膜加工生產設備，尤其是一種真空濺射鍍膜基片的裝夾裝置。

背景技術

現有ITO真空濺射鍍膜基片裝夾裝備，形式多樣，有鑲嵌式的，有開放式的。開放式的，結構簡單，裝夾基片方便，通用性強，造價便宜，但是鍍膜產品質量受影響，不能生產高品質產品；鑲嵌式的，結構復雜，裝夾基片稍難，產品的質裝夾基片方便量有保證，但是通用性差，每種產品要對應一套，造價昂貴；不論鑲嵌式的還是開放的，目前都不做到單面和雙面鍍膜的通用性，都需要兩套裝夾裝備；鑒于上述原因，ITO真空濺射鍍膜基片裝夾裝備的鑲嵌式的，結構復雜，裝夾基片稍難，單面和雙面鍍膜需要兩套裝夾裝備，需要改進鑲嵌式真空濺射鍍膜基片裝夾裝備，現發明出一種真空濺射鍍膜基片的裝夾裝置。

實用新型內容

本實用新型的目的是為了克服現有ITO真空濺射鍍膜基片裝夾裝備的鑲嵌式的，結構復雜，裝夾基片稍難，單面和雙面鍍膜需要兩套裝夾裝備，需要改進鑲嵌式真空濺射鍍膜基片裝夾裝備，通過合理設計，提供一種真空濺射鍍膜基片的裝夾裝置，特殊設計的橫梁通過連接片固定到豎梁上，彈性夾具通過螺釘連接到橫梁上，單面產品或雙面產品，徒手固定在彈性夾具上；單面和雙面產品，裝夾裝備兼容，不同規格的產品，只要移動橫梁，并重新固定，便可使用；橫梁上下的擋片和基片之間的適當間距，可以防止繞射，生產的效率高。

本實用新型為了實現上述目的，采用如下技術方案：一種真空濺射鍍膜基片的裝夾裝置，是由：雙面基片、雙面下彈性卡、雙面上彈性卡、橫梁、豎梁、單面上彈性卡、單面下彈性卡、單面基片構成；如圖所示，豎梁一側設置至少兩根橫梁，橫梁設置為十字型，十字型橫梁兩側分別設置側梁；中部橫梁上面對稱設置兩個雙面下彈性卡、上方橫梁下面對稱設置兩個雙面上彈性卡，雙面上彈性卡與雙面下彈性卡的卡頭對應設置，雙面下彈性卡與雙面上彈性卡之間設置雙面基片；上方橫梁下面與中部橫梁上面設置一組雙面上彈性卡與雙面下彈性卡；上方橫梁的側梁下方對稱設置兩個單面上彈性卡、中部橫梁的側梁上面對稱設置兩個單面下彈性卡，單面上彈性卡與單面下彈性卡的卡頭對應設置，單面上彈性卡與單面下彈性卡之間設置單面基片；豎梁一側設置至少兩根橫梁，上下相鄰兩根橫梁之間對應基片的規格設置，兩根橫梁之間設置雙面基片；橫梁設置為十字型，十字型橫梁兩側分別設置側梁；同一側的兩根橫梁側梁之間設置單面基片。

有益效果：單面或雙面鍍膜共用一套裝夾裝備，通用性強；更換產品品種，方便快捷；徒手快速裝卸基片，減少人力資源的使用；解決繞射問題，可以生產低阻高檔產品；結構簡單，加工容易，造價便宜，永久使用。

本實用新型的豎梁是和移動小車是一體的，特殊設計的橫梁通過連接片固定到豎梁上，彈性夾具通過螺釘連接到橫梁上，單面產品或雙面產品，徒手固定在彈性夾具上；單面和雙面產品，裝夾裝備兼容，不同規格的產品，只要移動橫梁，并重新固定，便可使用；橫梁上下的擋片和基片之間的適當間距，可以防止繞射。

附圖說明

下面結合附圖對本實用新型作進一步說明：

圖1是，總裝結構示意圖；

圖2是，側視剖面結構示意圖；

圖3是，安裝雙面基片的結構示意圖；

圖4是，安裝單面基片結構示意圖；

圖1、2、3、4中：雙面基片1、雙面下彈性卡2、雙面上彈性卡3、橫梁4、豎梁5、單面上彈性卡6、單面下彈性卡7、單面基片8。

具體實施方式

下面結合附圖與具體實施方式對本實用新型作進一步詳細說明：

如圖所示，豎梁5一側設置至少兩根橫梁4，橫梁4設置為十字型，十字型橫梁4兩側分別設置側梁；中部橫梁4上面對稱設置兩個雙面下彈性卡2、上方橫梁4下面對稱設置兩個雙面上彈性卡3，雙面上彈性卡3與雙面下彈性卡2的卡頭對應設置，雙面下彈性卡2與雙面上彈性卡3之間設置雙面基片1；上方橫梁4下面與中部橫梁4上面設置一組雙面上彈性卡3與雙面下彈性卡2；

上方橫梁4的側梁下方對稱設置兩個單面上彈性卡6、中部橫梁4的側梁上面對稱設置兩個單面下彈性卡7，單面上彈性卡6與單面下彈性卡7的卡頭對應設置，單面上彈性卡6與單面下彈性卡7之間設置單面基片8；

豎梁5一側設置至少兩根橫梁4，上下相鄰兩根橫梁4之間對應基片的規格設置，兩根橫梁4之間設置雙面基片1；橫梁4設置為十字型，十字型橫梁4兩側分別設置側梁；同一側的兩根橫梁4側梁之間設置單面基片8。