[實用新型]一種基于擴散爐的進出舟裝置

有效

• 申請號: 201520668039.0
• 申請日: 2015-08-31
• 公開（公告）號: CN205011867U
• 公開（公告）日: 2016-02-03
• 發明（設計）人: 王俊朝;李軍陽;李學文;向文山
• 申請（專利權）人: 深圳豐盛裝備股份有限公司
• 主分類號: C30B31/14
• 分類號: C30B31/14
• 代理公司: 深圳市君盈知識產權事務所(普通合伙) 44315
• 代理人: 陳琳

1.一種基于擴散爐的進出舟裝置，該進出舟裝置上安裝有用于放置硅片的石英舟，該石英舟通過進出舟裝置在擴散爐與插片機之間往返，其特征在于，該進出舟裝置包括：

載體，其包括底板和設置在底板上的定位件，該石英舟與定位件配合安裝，該石英舟通過定位件固定在底板上；

運輸平臺，其包括運輸軌道和動力機構，該動力機構設置在運輸軌道上，該載體放置在運輸軌道上，并通過動力機構的帶動在運輸軌道上往返；

感應單元，其設置在運輸平臺上，其包括石英舟感應器和硅片感應器，該動力機構根據石英舟感應器和硅片感應器的反饋信息帶動在運輸軌道上往返。

2.根據權利要求1所述的進出舟裝置，其特征在于：該運輸軌道包括左右兩側的導向條、若干用于將導向條固定連接的間距定位塊。

3.根據權利要求2所述的進出舟裝置，其特征在于：該動力機構包括設置在導向條兩端的轉輪、用于連接兩端轉輪的運輸皮帶和用于帶動轉輪轉動的電機，該運輸皮帶覆蓋在導向條上，該載體放置在運輸皮帶上，并通過運輸皮帶的帶動在運輸平臺上往返。

4.根據權利要求3所述的進出舟裝置，其特征在于：該動力機構還包括聯軸器，該聯軸器設置在同端的兩個轉輪之間。

5.根據權利要求3所述的進出舟裝置，其特征在于：該電機為三相可逆式電機。

6.根據權利要求5所述的進出舟裝置，其特征在于：還包括一控制單元，該控制單元分別與電機和感應單元連接。

7.根據權利要求2所述的進出舟裝置，其特征在于：該運輸軌道還包括設置在該導向條一端的限位件和設置在該導向條另一端的緩沖輪。

8.根據權利要求7所述的進出舟裝置，其特征在于：該運輸軌道還包括設置在限位件上的定位開關。

9.根據權利要求1所述的進出舟裝置，其特征在于：該定位件包括設置在底板兩端的擋板和設置在擋板上的支撐塊，該石英舟設置在擋板之間，并與支撐塊配合安裝。

10.根據權利要求9所述的進出舟裝置，其特征在于：該擋板上設有與石英舟抵觸的第一石英墊，該支撐塊上設有與石英舟抵觸的第二石英墊。