[實用新型]一種高溫四探針測量系統

有效

• 申請號: 201520667725.6
• 申請日: 2015-08-29
• 公開（公告）號: CN204925182U
• 公開（公告）日: 2015-12-30
• 發明（設計）人: 方輝
• 申請（專利權）人: 武漢佰力博科技有限公司
• 主分類號: G01R1/073
• 分類號: G01R1/073;G01R31/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本實用新型涉及一種材料電學性能檢測設備，具體涉及一種高溫四探針測量系統，屬于材料測試設備技術領域。

背景技術

四探針測量系統運用四探針測量原理的多用途綜合測量設備。該儀器按照單晶硅物理測試方法國家標準并參考美國A.S.T.M標準而設計的，專用于測試變溫、真空及氣氛條件下測試半導體材料電學性能的最佳測量系統。

目前國內市場上已有常溫條件下使用的四探針測試系統，但是該系統只能在室溫條件下使用，不能測試升溫條件下樣品的數據變化。部分科研機構的人員采用先將樣品在管式爐里面升溫至某一階段溫度后，取出樣品在常溫四探針下測試，這樣的步驟即繁瑣，又不能精確測量溫度，當溫度過高突然將樣品取出來也會損傷樣品。普通探針在高溫下會氧化而不導電、在高溫下又需要有彈性、對多晶硅等高溫易氧化的樣品，這些問題都是需要解決的技術問題。國內市場上也未出現更好的測試儀器。

因此，為解決上述技術問題，確有必要提供一種創新的高溫四探針測量系統，以克服現有技術中的所述缺陷。

實用新型內容

為解決上述問題，本實用新型的目的在于提供一種密封性好、抗氧化性好、且適合室溫～600℃連續升溫測試的高溫四探針測量系統。

為實現上述目的，本實用新型采取的技術方案為：一種高溫四探針測量系統，其包括真空氣氛爐、四探針夾具模塊、電動升降模塊、真空泵、控制器、溫控器、探針引線、測試儀表以及PC機；其中，所述四探針夾具模塊能夠插入真空氣氛爐內；所述電動升降模塊連接并驅動四探針夾具模塊升降；所述真空泵和真空氣氛爐連接，并能將真空氣氛爐抽真空；所述控制器一端連接真空泵，另一端連接PC機；所述溫控器一端延伸入真空氣氛爐，另一端連接PC機；所述探針引線連接四探針夾具模塊和控制器；所述控制器和PC機之間連接有一測試引線，于測試引線上安裝有所述測試儀表。

本實用新型的高溫四探針測量系統進一步設置為：所述四探針夾具模塊包括探針、探針絕緣板、絕熱陶瓷、密封蓋、絕緣樣品臺以及鎖緊螺桿；其中，所述探針豎直安裝于探針絕緣板上；所述絕熱陶瓷套設在探針絕緣板外，并安裝于密封蓋上；所述絕緣樣品臺安裝在絕熱陶瓷套的底部，其和探針相對設置；所述鎖緊螺桿螺接于密封蓋上，其能和真空氣氛爐螺接。

本實用新型的高溫四探針測量系統進一步設置為：所述探針為碳化鎢材質的探針。

本實用新型的高溫四探針測量系統進一步設置為：所述密封蓋內設有減震彈簧，頂部設有一和電動升降模塊連接的連接件。

本實用新型的高溫四探針測量系統還設置為：所述真空泵上設有真空閥；所述真空氣氛爐上連接有氣氛閥；所述真空閥和氣氛閥分別連接至控制器。

與現有技術相比，本實用新型具有如下有益效果：

1.本實用新型的高溫四探針測量系統彌補了四探針的高溫段的空白，并按照國標測量方法在高溫中運用確保了測量的穩定性。

2.本實用新型的高溫四探針測量系統的四探針夾具模塊采用模塊化設計，探針采用碳化鎢材質并利用真空解決了高溫氧化問題，保證了探針與試樣的良好接觸性并能長時間在400℃中工作。

3.本實用新型的高溫四探針測量系統的四探針夾具模塊、電動升降模塊具完美結合，在減震彈簧與鎖緊螺桿的作用下，由PC控制升降并完美的達到密封效果，操作更加簡便。

4.本實用新型的高溫四探針測量系統的真空氣氛爐采用真空標準制作，具有很好的絕熱效果和整體密封性，保證了長期可靠性。

附圖說明

圖1是本實用新型的高溫四探針測量系統的結構示意圖。

圖2是圖1中的四探針夾具模塊的結構示意圖。

具體實施方式

請參閱說明書附圖1和附圖2所示，本實用新型為一種高溫四探針測量系統，其由真空氣氛爐1、四探針夾具模塊2、電動升降模塊3、真空泵4、控制器5、溫控器6、探針引線7、測試儀表8以及PC機9等幾部分組成。

其中，所述真空氣氛爐1采用真空標準制作，具有很好的絕熱效果和整體密封性，保證了長期可靠性。于所述真空氣氛爐1上連接有氣氛閥11。

所述四探針夾具模塊2能夠插入真空氣氛爐1內，其由括探針21、探針絕緣板22、絕熱陶瓷23、密封蓋24、絕緣樣品臺25以及鎖緊螺桿26等幾部分組成。