[實用新型]一種低壓擴散爐

有效

• 申請號: 201520667229.0
• 申請日: 2015-08-31
• 公開（公告）號: CN205011866U
• 公開（公告）日: 2016-02-03
• 發明（設計）人: 王俊朝;李學文;李軍陽;向文山;劉兵吉
• 申請（專利權）人: 深圳豐盛裝備股份有限公司
• 主分類號: C30B31/06
• 分類號: C30B31/06
• 代理公司: 深圳市君盈知識產權事務所(普通合伙) 44315
• 代理人: 陳琳

1.一種低壓擴散爐，包括石英管、石英管端口法蘭和置于石英管端口法蘭外側的爐門機構，該石英管的一端設有石英管口，該石英管端口法蘭設置在石英管口上，其特征在于，該爐門機構包括：

石英爐門；

冷卻法蘭，其嵌入石英爐門中，該冷卻法蘭與石英爐門的結合處設有一密封圈槽，該冷卻法蘭包括一與密封圈槽靠近的環形冷卻管道，該環形冷卻管道中通入冷卻液；

密封圈，其設置在密封圈槽內且部分突出，其用于在石英爐門與石英管端口法蘭閉合時抵靠在石英管端口法蘭的外側面，使低壓擴散爐內形成密封空間。

2.根據權利要求所述1的低壓擴散爐，其特征在于：該石英爐門包括爐門主體和設置在爐門主體上的凸臺，該冷卻法蘭設置在爐門主體上，該爐門主體的端面與石英管端口法蘭的外側面抵靠，該凸臺與石英管端口法蘭的端口配合。

3.根據權利要求所述2的低壓擴散爐，其特征在于：該密封圈槽為燕尾槽，該密封圈槽的槽口與爐門主體的端面處于同一平面。

4.根據權利要求所述2的低壓擴散爐，其特征在于：該石英爐門包括一隔熱層。

5.根據權利要求所述1的低壓擴散爐，其特征在于：該冷卻法蘭還包括與環形冷卻管道連通的進液端和出液端。

6.根據權利要求所述5的低壓擴散爐，其特征在于：該進液端和出液端鄰近設置，該環形冷卻管道包括設置在進液端的端口和出液端的端口之間的隔液板。

7.根據權利要求所述1的低壓擴散爐，其特征在于：還包括一用于驅動爐門機構的驅動機構，該爐門機構包括一與驅動機構連接的固定支架，該固定支架與石英爐門固定連接。

8.根據權利要求所述7的低壓擴散爐，其特征在于：該爐門機構還包括一固定法蘭，該固定法蘭分別與石英爐門和固定支架連接。

9.根據權利要求所述1的低壓擴散爐，其特征在于：該爐門機構還包括設置在石英爐門和冷卻法蘭之間的緩沖墊片。

10.根據權利要求所述9的低壓擴散爐，其特征在于：該爐門機構還包括用于聯接石英爐門、冷卻法蘭和緩沖墊片的固定桿。