[實(shí)用新型]一種鐳射打印芯片抽塵裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201520666458.0
• 申請(qǐng)日: 2015-08-31
• 公開（公告）號(hào): CN204885112U
• 公開（公告）日: 2015-12-16
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 楊懷君;鄒顯紅;劉俊;王明云
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 成都先進(jìn)功率半導(dǎo)體股份有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/67
• 分類號(hào): H01L21/67
• 代理公司: 四川力久律師事務(wù)所 51221
• 代理人: 王蕓;熊曉果

1.一種鐳射打印芯片抽塵裝置，其特征在于，包括抽塵管和與抽塵管連通的真空發(fā)生器，所述真空發(fā)生器上設(shè)置有壓縮空氣入口和抽風(fēng)口，所述壓縮空氣入口與壓縮空氣氣源相連，所述抽風(fēng)口與抽風(fēng)裝置相連，所述抽塵管的尺寸與待抽塵芯片的尺寸相適應(yīng)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的鐳射打印芯片抽塵裝置，其特征在于，所述真空發(fā)生器產(chǎn)生的真空負(fù)壓力與芯片質(zhì)量相適應(yīng)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的鐳射打印芯片抽塵裝置，其特征在于，所述抽塵管設(shè)置在抽塵管基座上，所述抽塵管基座的安裝高度與芯片鐳射打印操作的平臺(tái)高度相適應(yīng)，使抽塵管與芯片配合抽塵。

4.根據(jù)權(quán)利要求1或3所述的鐳射打印芯片抽塵裝置，其特征在于，所述抽塵管靠近芯片端管口面為斜面。

5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的鐳射打印芯片抽塵裝置，其特征在于，所述抽塵管基座包括基座橫板和基座豎板，所述基座豎板用于穩(wěn)定抽塵管的位置，所述基座橫板與支撐平臺(tái)連接，使抽塵管基座固定。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的鐳射打印芯片抽塵裝置，其特征在于，所述基座豎板上設(shè)置有抽塵通道管安裝孔，所述抽塵通道管安裝孔的中心線與基座橫板面平行，并且抽塵通道管安裝孔為基座豎板上的通孔。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的鐳射打印芯片抽塵裝置，其特征在于，所述抽塵通道管安裝孔上方還設(shè)置有調(diào)整槽，所述調(diào)整槽的長(zhǎng)度與抽塵通道管安裝孔的長(zhǎng)度相同，并且所述調(diào)整槽從基座豎板的上板面延伸到與抽塵通道管安裝孔連通的位置。

8.根據(jù)權(quán)利要求6或7所述的鐳射打印芯片抽塵裝置，其特征在于，所述基座豎板上還開有鎖緊孔，所述鎖緊孔的位置與調(diào)整槽的位置相配合，使得鎖緊孔內(nèi)設(shè)螺栓后可使調(diào)整槽的槽寬尺寸變化。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的鐳射打印芯片抽塵裝置，其特征在于，所述抽塵管的管徑為6-8mm。