[實用新型]曝光裝置

有效

• 申請號: 201520657815.7
• 申請日: 2015-08-27
• 公開（公告）號: CN205080365U
• 公開（公告）日: 2016-03-09
• 發明（設計）人: 姜輝望;雷巖;楊海波
• 申請（專利權）人: 深圳華祥榮正電子有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 廣州華進聯合專利商標代理有限公司 44224
• 代理人: 生啟

1.一種曝光裝置，包括曝光臺，其特征在于，所述曝光臺包括曝光盤及導氣條，所述曝光盤包括位于所述曝光盤的中部的承載區，所述曝光盤開設有的導氣槽，所述導氣槽位于承載區外側；所述導氣條形成有抽氣槽，所述導氣條固設于所述承載區且自所述承載區的邊緣向所述承載區的中部延伸，所述抽氣槽與所述導氣槽連通。

2.根據權利要求1所述的曝光裝置，其特征在于，所述導氣條包括基板及固定于所述基板上的至少兩個蓋板，所述至少兩個蓋板間隔設置以形成所述抽氣槽。

3.根據權利要求2所述的曝光裝置，其特征在于，所述蓋板與所述基板鉚接、焊接、黏接或螺接。

4.根據權利要求2所述的曝光裝置，其特征在于，所述基板及蓋板的橫截面均為矩形。

5.根據權利要求4所述的曝光裝置，其特征在于，所述蓋板的長度與所述基板的長度相等，所述蓋板的寬度為所述基板的寬度的10～40％，所述蓋板的厚度為所述基板的厚度的70～130％。

6.根據權利要求2所述的曝光裝置，其特征在于，所述蓋板的橫截面為梯形，且相鄰的兩個蓋板的斜面相對設置。

7.根據權利要求1所述的曝光裝置，其特征在于，所述導氣條靠近所述導氣槽的一端的端面與所述導氣槽的槽壁平齊。

8.根據權利要求1所述的曝光裝置，其特征在于，所述導氣槽有多個，多個導氣槽均勻分布在所述承載區的外側，所述曝光盤還開設有導氣孔，相鄰的兩個導氣槽通過導氣孔連通。

9.根據權利要求1所述的曝光裝置，其特征在于，所述導氣條遠離所述承載區的表面設有壓花。

10.根據權利要求1所述的曝光裝置，其特征在于，所述導氣條遠離承載區的一側表面向內凹陷形成所述抽氣槽。