[實用新型]一種防靜電封測小轉盤

有效

• 申請號: 201520656329.3
• 申請日: 2015-08-27
• 公開（公告）號: CN204991674U
• 公開（公告）日: 2016-01-20
• 發明（設計）人: 張巍巍
• 申請（專利權）人: 江蘇格朗瑞科技有限公司
• 主分類號: H01L21/68
• 分類號: H01L21/68
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種防靜電封測小轉盤，其特征在于，包括小轉盤本體，所述小轉盤本體上沿徑向圓周均勻設置有凹槽，每個所述凹槽內均設置有兩個并列的真空孔；所述凹槽內的設置有四個引腳，四個所述引腳的端面對應所述真空孔，所述凹槽的四個所述引腳與所述凹槽的側壁之間填充有金屬墊塊；

對應所述凹槽設置有導電塊，所述導電塊連接至封測設備本體并接地設置以引出表面靜電；

所述真空孔中設置有導線孔，所述導線孔中設置有接地線，所述接地線的一端連接至所述凹槽的槽壁，另一端接地設置以引出內部靜電；

所述真空孔內還設置有離子發生器，以用于產生離子以消除產品表面靜電。

2.根據權利要求1所述的防靜電封測小轉盤，其特征在于，所述導電塊壓在所述金屬墊塊上。

3.根據權利要求1所述的防靜電封測小轉盤，其特征在于，所述導線孔同時設置在兩個所述真空孔內，且兩個所述真空孔內的所述導線孔內均設置有所述接地線，所述接地線的一端均連接至所述凹槽的槽壁，另一端接地設置以引出靜電。

4.根據權利要求1所述的防靜電封測小轉盤，其特征在于，所述離子發生器且設置在具有吹氣功能的所述真空孔內。

5.根據權利要求4所述的防靜電封測小轉盤，其特征在于，所述離子發生器為離子風網，以覆蓋所述真空孔的出口起到分散離子的作用。