[實(shí)用新型]一種基于反射型數(shù)字全息術(shù)的光學(xué)元件表面疵病檢測裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201520651774.0
• 申請日: 2015-08-26
• 公開（公告）號: CN204855407U
• 公開（公告）日: 2015-12-09
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 姜宏振;巴榮聲;張霖;劉旭;劉勇;楊一;鄭芳蘭;李東;任寰;陳波;楊曉瑜
• 申請（專利權(quán)）人: 中國工程物理研究院激光聚變研究中心
• 主分類號: G01N21/95
• 分類號: G01N21/95;G01N21/01
• 代理公司: 成都弘毅天承知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 51230
• 代理人: 楊保剛

1.一種基于反射型數(shù)字全息術(shù)的光學(xué)元件表面疵病檢測裝置，它包括激光器（1）、CCD相機(jī)（13）及計(jì)算機(jī)（12），其特征在于：它還包括光學(xué)系統(tǒng)；所述激光器（1）設(shè)置在光學(xué)系統(tǒng)的光入射端，所述CCD相機(jī)（13）設(shè)置在光學(xué)系統(tǒng)的光射出端,所述CCD相機(jī)（13）與計(jì)算機(jī)（12）電連接；所述光學(xué)系統(tǒng)包括依次設(shè)置的第一顯微物鏡（2）、針孔（3）、第一透鏡（4）、第一分光棱鏡（5）、第一反射鏡（6）、第二反射鏡（7）、第二透鏡（8）、第二分光棱鏡（9）及第二顯微物鏡（10）；所述第一分光棱鏡（5）與第二分光棱鏡（9）之間設(shè)置有可調(diào)衰減器（11）；

細(xì)激光束由激光器（1）發(fā)出，穿過第一顯微物鏡（2）和針孔（3）變?yōu)榍蛎婀馐蛎婀馐┻^第一透鏡（4）變?yōu)槠叫泄馐蠼?jīng)過第一分光棱鏡（5）分為反射平行光和透射平行光；所述反射平行光經(jīng)過第一反射鏡（6）、第二反射鏡（7）反射后照射到第二透鏡（8），反射平行光再依次經(jīng)第二透鏡（8）、第二分光棱鏡（9）和第二顯微物鏡（10）透射后照射到測試樣品（14）上，反射平行光經(jīng)測試樣品(14)反射后穿過第二顯微物鏡（10）到達(dá)第二分光棱鏡（9）,并經(jīng)第二分光棱鏡（9）反射到達(dá)CCD相機(jī)（13）；所述透射平行光依次穿過可調(diào)衰減器（11）和第二分光棱鏡（9）后到達(dá)CCD相機(jī)（13）。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于反射型數(shù)字全息術(shù)的光學(xué)元件表面疵病檢測裝置，其特征在于，所述的針孔（3）位于第一顯微物鏡（2）的焦點(diǎn)上。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于反射型數(shù)字全息術(shù)的光學(xué)元件表面疵病檢測裝置，其特征在于，所述的第一透鏡（4）的焦點(diǎn)位于針孔（3）上。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于反射型數(shù)字全息術(shù)的光學(xué)元件表面疵病檢測裝置，其特征在于，所述的第二透鏡（8）的焦點(diǎn)位于第二顯微物鏡（10）的焦點(diǎn)上。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于反射型數(shù)字全息術(shù)的光學(xué)元件表面疵病檢測裝置，其特征在于，經(jīng)過第一分光棱鏡（5）反射后的光束與經(jīng)過第二反射鏡（7）反射后的光束平行。