[實用新型]回收系統

有效

• 申請號: 201520648000.2
• 申請日: 2015-08-25
• 公開（公告）號: CN205011391U
• 公開（公告）日: 2016-02-03
• 發明（設計）人: 楊永亮;張志剛;司文學;蔣國瑜;嚴大洲
• 申請（專利權）人: 中國恩菲工程技術有限公司
• 主分類號: C01B33/03
• 分類號: C01B33/03;C01B33/107
• 代理公司: 北京康信知識產權代理有限責任公司 11240
• 代理人: 趙囡囡;吳貴明

1.一種回收系統，用于回收多晶硅還原系統(30)產生的還原尾氣，所述多晶硅還原系統(30)與四氯化硅氫化系統(20)連通，其特征在于，所述回收系統(10)包括：

冷凝單元(110)，所述還原尾氣通過所述冷凝單元(110)后得到不凝氣體和冷凝后液體，且所述冷凝單元(110)的出口連接有不凝氣體輸出管道和冷凝后液體輸出管道；

吸脫附單元(120)，與所述不凝氣體輸出管道連接，所述吸脫附單元(120)用于將所述不凝氣體中的氫氣分離出來，所述不凝氣體通過所述吸脫附單元(120)發生吸附和脫附后得到脫附氣體，且所述吸脫附單元(120)的出口連接有氫氣輸出管道(122)和脫附氣體輸出管道(121)，且所述氫氣輸出管道(122)連接于所述多晶硅還原系統(30)的入口，所述脫附氣體輸出管道(121)連接于所述四氯化硅氫化系統(20)的入口。

2.根據權利要求1所述的回收系統，其特征在于，所述回收系統(10)還包括：

脫吸單元(130)，與所述冷凝后液體輸出管道連接，所述冷凝后液體通過所述脫吸單元(130)后得到組分包括氯化氫的脫吸后氣體；

尾氣處理單元(140)，連接于所述脫吸單元(130)的出口，用于對所述脫吸后氣體進行冷凝和提純以得到包括氯化氫的冷凝后尾氣；

結晶單元(150)，連接于所述尾氣處理單元(140)的出口，包括中和槽和蒸發裝置，所述冷凝后尾氣中的氯化氫與所述中和槽中的堿液反應生成氯化物溶液，且所述氯化物溶液通過蒸發裝置進行蒸發后得到氯化物結晶體。

3.根據權利要求2所述的回收系統，其特征在于，所述脫吸單元(130)包括低壓氯硅烷貯罐(131)和/或氯硅烷分離提純塔(132)。