[實用新型]一種四甲基氫氧化銨生產過程所用的超純水的制備裝置

有效

• 申請號: 201520629216.4
• 申請日: 2015-08-20
• 公開（公告）號: CN204939153U
• 公開（公告）日: 2016-01-06
• 發明（設計）人: 劉頌軍
• 申請（專利權）人: 滄州信聯化工有限公司
• 主分類號: C02F9/08
• 分類號: C02F9/08;C02F103/04
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本實用新型涉及水處理設備領域，具體是一種四甲基氫氧化銨生產過程所用的超純水的制備裝置。

背景技術

四甲基氫氧化銨，簡稱TMAH，是一種重要的有機堿。其與苛性堿同等強度的強堿，加熱分解后不會殘留任何雜質，尤其是不會殘留可導電的離子物質，因而被廣泛應用于電子工業領域。由于用于顯示面板生產過程中的顯影液要求純度非常高：單個金屬離子要求低于100ppb，單個陰離子雜質低于1ppm。而目前市場上普通的純凈去離子水，遠遠不能滿足這個標準，因此要求生產四甲基氫氧化銨過程中要全部使用高純度的水，以免對四甲基氫氧化銨造成污染。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種四甲基氫氧化銨生產過程所用的超純水的制備裝置，以解決上述背景技術中提出的問題。

為實現上述目的，本實用新型提供如下技術方案：

一種四甲基氫氧化銨生產過程所用的超純水的制備裝置，包括砂濾罐、自斷閥門、超濾器、樹脂罐、反滲透管、紫外線殺菌儀、拋光床和超純水儲罐；所述砂濾罐入口連接自來水管，砂濾罐出口連接超濾器，自斷閥門設在砂濾罐與超濾器之間的管道上；所述超濾器的出口連接樹脂罐，樹脂罐的出口連接反滲透管；所述反滲透管的出口連接紫外線殺菌儀，紫外線殺菌儀的出口連接拋光床，拋光床的出口連接超純水儲罐。

作為本實用新型進一步的方案：所述樹脂罐共2個，分別為樹脂罐A和樹脂罐B。

作為本實用新型再進一步的方案：所述樹脂罐A與樹脂罐B并聯。

與現有技術相比，本實用新型的有益效果是：該四甲基氫氧化銨生產過程所用的超純水的制備裝置所制備的水純度較高，單個金屬離子低于100ppb，單個陰離子雜質低于1ppm，滿足四甲基氫氧化銨生產過程中對水的要求，避免了水純度不夠造成四甲基氫氧化銨被污染。

附圖說明

圖1為四甲基氫氧化銨生產過程所用的超純水的制備裝置的結構示意圖。

圖中：1-砂濾罐、2-自斷閥門、3-超濾器、4-樹脂罐A、5-樹脂罐B、6-反滲透管、7-紫外線殺菌儀、8-拋光床、9-超純水儲罐。

具體實施方式

下面將結合本實用新型實施例中的附圖，對本實用新型實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本實用新型一部分實施例，而不是全部的實施例。基于本實用新型中的實施例，本領域普通技術人員在沒有做出創造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本實用新型保護的范圍。

請參閱圖1，本實用新型實施例中，一種四甲基氫氧化銨生產過程所用的超純水的制備裝置，包括砂濾罐1、自斷閥門2、超濾器3、樹脂罐、反滲透管6、紫外線殺菌儀7、拋光床8和超純水儲罐9；所述砂濾罐1入口連接自來水管，砂濾罐1出口連接超濾器3，自斷閥門2設在砂濾罐1與超濾器3之間的管道上；所述超濾器3的出口連接樹脂罐，樹脂罐的出口連接反滲透管6，所述樹脂罐共2個，分別為樹脂罐A4和樹脂罐B5，樹脂罐A4與樹脂罐B5并聯；所述反滲透管6的出口連接紫外線殺菌儀7，紫外線殺菌儀7的出口連接拋光床8，拋光床8的出口連接超純水儲罐9。

本實用新型的工作原理是：所述四甲基氫氧化銨生產過程所用的超純水的制備裝置，自來水進入砂濾罐1，經過砂濾后，流入超濾器3，經過超濾處理后，分兩路分別送入樹脂罐A4和樹脂罐B5，經過樹脂罐A4和樹脂罐B5處理后，均送入反滲透管6，經過反滲透處理后，送入紫外線殺菌儀7進行消毒殺菌，消毒殺菌后送入拋光床8，經過拋光床8處理后送入超純水儲罐9內待用。

所述四甲基氫氧化銨生產過程所用的超純水的制備裝置所制備的水純度較高，單個金屬離子低于100ppb，單個陰離子雜質低于1ppm，滿足四甲基氫氧化銨生產過程中對水的要求，避免了水純度不夠造成四甲基氫氧化銨被污染。

對于本領域技術人員而言，顯然本實用新型不限于上述示范性實施例的細節，而且在不背離本實用新型的精神或基本特征的情況下，能夠以其他的具體形式實現本實用新型。因此，無論從哪一點來看，均應將實施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本實用新型的范圍由所附權利要求而不是上述說明限定，因此旨在將落在權利要求的等同要件的含義和范圍內的所有變化囊括在本實用新型內。不應將權利要求中的任何附圖標記視為限制所涉及的權利要求。

此外，應當理解，雖然本說明書按照實施方式加以描述，但并非每個實施方式僅包含一個獨立的技術方案，說明書的這種敘述方式僅僅是為清楚起見，本領域技術人員應當將說明書作為一個整體，各實施例中的技術方案也可以經適當組合，形成本領域技術人員可以理解的其他實施方式。