[實用新型]一種藍寶石長晶設備

有效

• 申請號: 201520623916.2
• 申請日: 2015-08-18
• 公開（公告）號: CN205024352U
• 公開（公告）日: 2016-02-10
• 發明（設計）人: 黃仕彪
• 申請（專利權）人: 浙江工商職業技術學院
• 主分類號: C30B29/20
• 分類號: C30B29/20;C30B35/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本實用新型涉及長晶設備，尤其是一種藍寶石長晶設備。

背景技術

藍寶石是三氧化二鋁的單晶體，目前主要用于作為LED的基板，高硬度的特性使其在其他領域的應用也日漸收到重視，在現今的藍寶石長晶工藝中，當長晶完成后預取出晶體時，是由上方開啟真空腔體(或稱長晶爐)，再利用繩索將晶體吊起并取出，但這種做法費時費力，且晶體有較大碰撞受損的風險，目前也有可向下取出晶體的設備，但是提取過程動作復雜，需要多個位移機構，提高了設備的成本，而且設備的高度也增加，體積更為龐大笨重，提高了安裝和維修的難度。

發明內容

本實用新型要解決上述現有技術的缺點，提供一種結構簡單，體積較小的藍寶石長晶設備。

本實用新型解決其技術問題采用的技術方案：這種藍寶石長晶設備，主要包括真空腔體、垂直動力機構和水平動力機構，真空腔體的底部設有下蓋，垂直動力機構的上端與下蓋連接固定，下端與水平動力機構連接固定，真空腔體內設有坩堝，坩堝通過其下部的坩堝承載座與下蓋相連接。

所述垂直動力機構為滾珠螺桿、電機、滑軌或氣缸。

所述水平動力機構為滾珠螺桿、電機、滑軌或氣缸。

本實用新型有益的效果是：本實用新型結構通過垂直動力機構及水平動力機構，可便捷得取出或放入晶體，有效得縮小了設備的高度和體積的大小，進而達到大幅簡化結構、降低成本及提高安裝維修便利性的功效。

附圖說明

圖1是本實用新型結構示意圖；

圖2是本實用新型垂直位移運動示意圖；

圖3是本實用新型水平位移運動示意圖。

附圖標記說明：真空腔體1，垂直動力機構2，水平動力機構3，下蓋4，坩堝5，坩堝承載座6，滾輪7。

具體實施方式

下面結合附圖對本實用新型作進一步說明：

如圖所示，這種藍寶石長晶設備，主要包括真空腔體1、垂直動力機構2和水平動力機構3，真空腔體1的底部設有下蓋4，用以在制造過程中與真空腔體1保持密封結合的狀態，垂直動力機構2的上端與下蓋4連接固定，下端與水平動力機構3連接固定，真空腔體1內設有坩堝5，坩堝5通過其下部的坩堝承載座6與下蓋4相連接，坩堝承載座6用來支撐固定坩堝5，真空腔體1的其余機構如真空設備或加熱設備等均為現有技術，且不是本實用新型的技術特征，這里就不贅述。

垂直動力機構2用以帶動下蓋4、坩堝承載座6及坩堝5升降并移入或移出真空腔體1，垂直動力機構2可為滾珠螺桿、電機、滑軌或氣缸等這些結構的單個或組合來實現。

水平動力機構3用以帶動垂直動力機構2、下蓋4、坩堝承載座6及坩堝5等部件水平移出或移至真空腔體1下方，水平動力機構3可為滾珠螺桿、電機、滑軌或氣缸等這些結構的單個或組合來實現。更具體的，水平動力機構3為滑軌，滑軌的下方設有滾輪7，用以提升動作的順暢性，。

本實用新型可方便操作人員將坩堝5內的晶體取出并進行坩堝5的更換操作，實現從下方便捷提取晶體的目的，此過程中真空腔體1完全不需要也不會移動，可大幅簡化設備的結構復雜度，并降低組裝和制造成本，同時也可有效縮小設備的高度及體積大小，提升了操作和安裝維修的便利性，進而達到大幅簡化結構，降低成本及提高使用便利性的功效。

除上述實施例外，本實用新型還可以有其他實施方式。凡采用等同替換或等效變換形成的技術方案，均落在本實用新型要求的保護范圍。