[實(shí)用新型]一種酸液循環(huán)冷卻裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201520617308.0
• 申請日: 2015-08-17
• 公開（公告）號: CN204825136U
• 公開（公告）日: 2015-12-02
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 郭城;呂明;趙海玲;郭英云;盧國香
• 申請（專利權(quán)）人: 山東科芯電子有限公司
• 主分類號: C30B33/10
• 分類號: C30B33/10
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• 代理人: 暫無信息

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及一種酸液循環(huán)冷卻裝置。

背景技術(shù)

半導(dǎo)體晶片在生產(chǎn)制造過程中需要多道酸液清洗、腐蝕等工序，通過化學(xué)試劑與晶片表面進(jìn)行反應(yīng)，對晶片表面的雜質(zhì)和損傷層面進(jìn)行去除，或者根據(jù)工藝需求制作某一特定的腐蝕形狀。反應(yīng)過程中腐蝕效果受酸液溫度、濃度的影響比較大，在使用過程中晶片與酸液反應(yīng)，酸液溫度會迅速升高，酸液濃度分布也會有很大的差異。現(xiàn)有方案只能在酸溫過高時(shí)停止操作，等待其回落，或者在酸液中加入冰塊進(jìn)行降溫，改善酸液濃度不均的方法也只能是空槽時(shí)作業(yè)員人工使用燒杯攪拌，嚴(yán)重影響到工作效率。

現(xiàn)今酸液在使用過程中，晶片與酸液反應(yīng)，酸液溫度會迅速升高，濃度分布也會有很大的差異，而反應(yīng)過程中腐蝕效果受酸液溫度、濃度的影響比較大，會造成反應(yīng)速度快，反應(yīng)效果不均勻，表面厚度去除不一致，腐蝕形狀異常等不良情況，最終影響到產(chǎn)品質(zhì)量。

實(shí)用新型內(nèi)容

為解決半導(dǎo)體晶片在化學(xué)酸劑腐蝕過程中，溫度不易控制，反應(yīng)速度快，反應(yīng)效果不均勻等問題，本實(shí)用新型提供了一種酸液循環(huán)冷卻裝置，目的在于使用耐腐蝕的特質(zhì)盤管放入酸液周圍，內(nèi)充入循環(huán)制冷液，使升高的酸溫通過盤管與制冷液進(jìn)行冷熱交換，將熱量帶出酸液，達(dá)到穩(wěn)定液溫的目的；同時(shí)使用耐酸循環(huán)泵使酸液不斷循環(huán)，使酸液的濃度分布均勻一致，最終達(dá)到酸溫恒定、濃度均勻的目的。

為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型采用如下技術(shù)方案。

一種酸液循環(huán)冷卻裝置，包括制冷壓縮機(jī)、存放酸液的槽體、外涂耐腐蝕特氟龍材質(zhì)的不銹鋼盤管、耐腐蝕PP循環(huán)泵、酸液出酸口、酸液進(jìn)酸口及PP材質(zhì)酸液循環(huán)管道；制冷壓縮機(jī)與外涂耐腐蝕特氟龍材質(zhì)的不銹鋼盤管循環(huán)連接，外涂耐腐蝕特氟龍材質(zhì)的不銹鋼盤管位于存放酸液的槽體內(nèi)，所述存放酸液的槽體上設(shè)有酸液出酸口和酸液進(jìn)酸口，酸液出酸口通過PP材質(zhì)酸液循環(huán)管道與耐腐蝕PP循環(huán)泵連接，耐腐蝕PP循環(huán)泵通過PP材質(zhì)酸液循環(huán)管道與酸液進(jìn)酸口連接。

作為本實(shí)用新型的進(jìn)一步改進(jìn)，所述酸液進(jìn)酸口有兩個(gè)，分列于存放酸液的槽體的兩側(cè)。

所述酸液出酸口位于存放酸液的槽體的底部。

所述耐腐蝕PP循環(huán)泵與酸液出酸口之間的PP材質(zhì)酸液循環(huán)管道的直徑，大于耐腐蝕PP循環(huán)泵與酸液進(jìn)酸口之間的PP材質(zhì)酸液循環(huán)管道的直徑。

本實(shí)用新型使用耐腐蝕的特質(zhì)盤管放入酸液周圍，盤管內(nèi)充入循環(huán)制冷液，通過外部壓縮機(jī)的工作，將制冷液在盤管內(nèi)不斷通過升高的酸液，使升高的酸溫通過冷熱交換將熱量帶出液體，從而穩(wěn)定酸溫；用耐酸循環(huán)泵使酸液不斷循環(huán)，使酸槽內(nèi)不同區(qū)域酸液濃度在要求范圍內(nèi)，使腐蝕的速率相同，均勻一致。

本實(shí)用新型的有益效果是，升高的酸溫通過冷熱交換將熱量帶出液體，達(dá)到穩(wěn)定酸溫的效果；酸液不斷循環(huán)，使酸液的濃度分布更均勻一致，達(dá)到濃度均勻的目的。酸溫恒定、濃度一致，晶片與酸液的反應(yīng)更加均勻，厚度去除誤差小，腐蝕形狀一致性好。

當(dāng)然，實(shí)施本實(shí)用新型的任一產(chǎn)品并不一定需要同時(shí)達(dá)到以上所述的所有優(yōu)點(diǎn)。

附圖說明

圖1是本實(shí)用新型整體結(jié)構(gòu)示意圖。

其中，1、制冷壓縮機(jī)；2、槽體；3、不銹鋼盤管；4、酸液進(jìn)酸口；5、酸液出酸口；6、耐腐蝕PP循環(huán)泵；7、制冷液；8、PP材質(zhì)酸液循環(huán)管道。

具體實(shí)施方式

下面將結(jié)合附圖對本實(shí)用新型的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例是本實(shí)用新型一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例。基于本實(shí)用新型中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。

在本實(shí)用新型的描述中，需要說明的是，術(shù)語“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“豎直”、“水平”、“內(nèi)”、“外”等指示的方位或位置關(guān)系為基于附圖所示的方位或位置關(guān)系，僅是為了便于描述本實(shí)用新型和簡化描述，而不是指示或暗示所指的裝置或元件必須具有特定的方位、以特定的方位構(gòu)造和操作，因此不能理解為對本實(shí)用新型的限制。此外，術(shù)語“第一”、“第二”、“第三”僅用于描述目的，而不能理解為指示或暗示相對重要性。

在本實(shí)用新型的描述中，需要說明的是，除非另有明確的規(guī)定和限定，術(shù)語“安裝”、“相連”、“連接”應(yīng)做廣義理解，例如，可以是固定連接，也可以是可拆卸連接，或一體地連接；可以是機(jī)械連接，也可以是電連接；可以是直接相連，也可以通過中間媒介間接相連，可以是兩個(gè)元件內(nèi)部的連通。對于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員而言，可以具體情況理解上述術(shù)語在本實(shí)用新型中的具體含義。