[實用新型]一種石墨舟存儲柜有效
| 申請號: | 201520615512.9 | 申請日: | 2015-08-14 |
| 公開(公告)號: | CN204905229U | 公開(公告)日: | 2015-12-23 |
| 發明(設計)人: | 姚華 | 申請(專利權)人: | 浙江艾能聚光伏科技股份有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/673 | 分類號: | H01L21/673 |
| 代理公司: | 北京天奇智新知識產權代理有限公司 11340 | 代理人: | 韓洪 |
| 地址: | 314300 浙江省嘉*** | 國省代碼: | 浙江;33 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 石墨 存儲 | ||
1.一種石墨舟存儲柜,其特征在于:包括柜體(1)、氮氣系統(2),所述柜體(1)形狀為豎直長方體,柜體(1)底部有支撐腳(3),柜體(1)正面為玻璃門(4),玻璃門(4)與柜體(1)通過兩個合頁(5)相連,柜體(1)內有支撐架(6),所述氮氣系統(2)包括通氣管(7)、空流閥(8)、第一三通(9)、第二三通(10)、第三三通(11)、第四三通(12)。
2.如權利要求1所述的一種石墨舟存儲柜,其特征在于:所述支撐腳(3)數量為四,支撐腳(3)位于柜體(1)底部四角上,支撐腳(3)高度可調。
3.如權利要求1所述的一種石墨舟存儲柜,其特征在于:所述支撐架(6)數量為四,支撐架(6)形狀與柜體(1)橫截面形狀大小相同,所述支撐架(6)將柜體(1)從上到下依次分為等高的第一、第二、第三、第四、第五層,每層柜體(1)側面均有一通氣孔(13),氮氣系統(2)與通氣孔(13)相連。
4.如權利要求1至3中任一項所述的一種石墨舟存儲柜,其特征在于:所述空流閥(8)通過通氣管(7)與第一三通相連(9),所述第一三通(9)通過通氣管(7)分別與第二三通(10)、第一層通氣孔(13)相連,所述第二三通(10)通過通氣管(7)分別與第三三通(11)、第四三通相連(12),所述第三三通(11)通過通氣管(7)分別與第二層、第三層的通氣孔(13)相連,所述第四三通(12)通過通氣管(7)分別與第四層、第五層的通氣孔(13)相連。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





