[實(shí)用新型]具有波紋管式腔鏡調(diào)節(jié)裝置的氣體激光器

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201520615506.3
• 申請日: 2015-08-14
• 公開（公告）號: CN205212163U
• 公開（公告）日: 2016-05-04
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 沙鵬飛;彭卓君;單耀瑩;宋興亮;李慧;蔡茜瑋;范元媛;趙江山;周翊
• 申請（專利權(quán)）人: 中國科學(xué)院光電研究院
• 主分類號: H01S3/036
• 分類號: H01S3/036;H01S3/086
• 代理公司: 中科專利商標(biāo)代理有限責(zé)任公司 11021
• 代理人: 宋焰琴

1.一種具有波紋管式腔鏡調(diào)節(jié)裝置的氣體激光器，包括作為放電腔的腔體(1)、位于放電腔的兩端并作為放電腔激光輸出窗口的兩個(gè)布儒斯特窗(5)，以及位于放電腔兩端的外側(cè)，用于接收從所述布儒斯特窗(5)出射的激光的輸出耦合鏡(4)和全反射鏡(6)，其特征在于，

所述氣體激光器的腔體(1)的兩端的外側(cè)分別具有一個(gè)腔鏡調(diào)節(jié)裝置(8)，該兩個(gè)腔鏡調(diào)節(jié)裝置(8)分別用于固定和保持輸出耦合鏡(4)和全反射鏡(6)，并分別將所述兩個(gè)布儒斯特窗(5)中的一個(gè)包裹在內(nèi)；并且

所述腔鏡調(diào)節(jié)裝置(8)包括波紋管(13)，且通過該波紋管(13)與所述腔體(1)密封連接，輸出耦合鏡(4)固定于波紋管上，所述輸出耦合鏡(4)與腔體(1)之間，以及所述全反射鏡(6)與腔體(1)之間均形成密閉空間。

2.如權(quán)利要求1所述的具有波紋管式腔鏡調(diào)節(jié)裝置的氣體激光器，其特征在于，所述腔鏡調(diào)節(jié)裝置(8)還包括外殼(14)，其中，

所述外殼(14)是一個(gè)兩端開口的筒體，該筒體的一個(gè)開口端與激光器的腔體(1)固定，另一個(gè)開口端可供所述波紋管(13)沿其軸向伸入；

所述波紋管(13)部分伸入所述外殼(14)的筒體；

所述輸出耦合鏡(4)固定在所述波紋管(13)的伸入外殼(14)的一端的底面上并與該底面實(shí)現(xiàn)密封連接。

3.如權(quán)利要求2所述的具有波紋管式腔鏡調(diào)節(jié)裝置的氣體激光器，其特征在于，所述腔鏡調(diào)節(jié)裝置(8)還包括調(diào)節(jié)螺母(11)，所述波紋管(13)露出于筒體外部的部分具有一個(gè)徑向向外凸出的外緣(10)，該外緣(10)上具有通孔以供所述調(diào)節(jié)螺母(11)穿過；

所述調(diào)節(jié)螺母(11)穿入所述外緣(10)上的通孔并頂?shù)炙鐾鈿?14)的伸入波紋管一側(cè)的開口端的底面的外壁。

4.如權(quán)利要求3所述的具有波紋管式腔鏡調(diào)節(jié)裝置的氣體激光器，其特征在于，所述調(diào)節(jié)螺母(11)具有4個(gè)，它們且呈十字交叉分布。

5.如權(quán)利要求1所述的具有波紋管式腔鏡調(diào)節(jié)裝置的氣體激光器，其特征在于，所述密閉空間中抽成真空。

6.如權(quán)利要求1所述的具有波紋管式腔鏡調(diào)節(jié)裝置的氣體激光器，其特征在于，所述密閉空間中充入非氧化性氣體。