[實用新型]一種單晶爐真空泵廢油收集系統(tǒng)

有效

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• 申請日: 2015-08-14
• 公開（公告）號: CN204851592U
• 公開（公告）日: 2015-12-09
• 發(fā)明（設計）人: 張明亮;趙險峰;王松濤;司鵬輝
• 申請（專利權）人: 麥斯克電子材料有限公司
• 主分類號: F04B39/00
• 分類號: F04B39/00;C30B15/00
• 代理公司: 洛陽公信知識產權事務所(普通合伙) 41120
• 代理人: 羅民健

技術領域

本實用新型涉及到單晶硅生產領域，具體的說是一種單晶爐真空泵廢油收集系統(tǒng)。

背景技術

硅單晶直拉爐正常運行期間，是從爐子上端通入氬氣，從爐子下端抽走硅料及摻雜劑在1500度高溫狀態(tài)下揮發(fā)的廢氣，爐內一直處于氬氣保護狀態(tài)，工作壓力穩(wěn)定在15Torr左右的真空狀態(tài)下，保護爐內的石墨加熱器及各種石墨器件和硅料等不因接觸外界空氣而發(fā)生氧化。這一工作狀態(tài)，要靠真空泵聯系不斷的工作來保證該條件的實現，每一爐次處于連續(xù)的加熱狀態(tài)的時間要在平均要在60個小時左右，真空泵泵油里會滲入大量的揮發(fā)物，拉制2-3爐次后，真空泵泵油性能會明顯下降，變得粘稠，需要更換新的泵油保證下一爐次的正常生產，現在更換泵油是靠員工手動將泵油從放油口放出，用小油桶接油，放完后將廢油提到廢油存放處倒入大的廢油桶內，在此期間經常會出現不同程度的廢泵油泄漏和灑落，就需要員工用手去清理，泵油里面有很多有毒有害的物質，并且有揮發(fā)性，不可避免的要對人體和環(huán)境造成傷害和污染。

實用新型內容

為解決現有技術中真空泵的泵油需要人工進行更換所導致的一系列問題，本實用新型提供了一種單晶爐真空泵廢油收集系統(tǒng)，將廢真空泵油封閉環(huán)境下抽出并集中輸送到大廢油桶內，避免人為更換泵油過程中的各種泄漏和灑落風險，最大限度的降低換廢油過程對人體和環(huán)境的傷害和污染。

本實用新型為解決上述技術問題采用的技術方案為：一種單晶爐真空泵廢油收集系統(tǒng)，包括氣動隔膜泵、廢油桶和廢油收集管道，其中，廢油收集管道通過若干支管道分別與每個真空泵的放油口連接，并通過廢油輸送管道與氣動隔膜泵的進口連接，氣動隔膜泵的出口通過排油管與廢油桶連接，在每條支管道上均設置有閥門Ⅰ，在廢油輸送管道上設置閥門Ⅱ，在排油管和氣動隔膜泵的壓縮空氣管道上分別設置有控制閥。

所述真空泵的放油口與支管道之間通過連接軟管連接，該連接軟管為外層的塑料軟管和內層的鋼絲管嵌套而成的雙層結構，能夠克服真空泵運轉時產生的機械震動對管道的損壞，內嵌鋼絲管還具有防止因內部真空引起的軟管變形的作用。

所述廢油輸送管道與氣動隔膜泵的進口之間通過連接軟管連接，該連接軟管為外層的塑料軟管和內層的鋼絲管嵌套而成的雙層結構，能夠克服真空泵運轉時產生的機械震動對管道的損壞，內嵌鋼絲管還具有防止因內部真空引起的軟管變形的作用。

所述排油管與氣動隔膜泵的出口之間通過連接軟管連接，該連接軟管為外層的塑料軟管和內層的鋼絲管嵌套而成的雙層結構，能夠克服真空泵運轉時產生的機械震動對管道的損壞，內嵌鋼絲管還具有防止因內部真空引起的軟管變形的作用。

所述廢油收集管道上設置有阻斷其與廢油輸送管道連通的控制閥。

有益效果：本實用新型通過采用氣動隔膜泵、廢油收集管道和若干支管道，實現了利用氣動隔膜泵將真空泵中的廢油自動抽送到廢油桶內儲存，避免人為更換泵油過程中的各種泄漏和灑落風險，最大限度的降低更換廢油過程對人體和環(huán)境的傷害、污染；同時，采用特殊的連接軟管進行連接，能夠克服真空泵運轉時產生的機械震動對管道的損壞，內嵌鋼絲管還具有防止因內部真空引起的軟管變形的作用。

附圖說明

圖1為本實用新型的結構示意圖；

圖2為連接軟管的結構示意圖；

附圖標記：1、真空泵，2、廢油收集管道，3、支管道，4、閥門Ⅰ，5、控制閥，6、閥門Ⅱ，7、廢油輸送管道，8、氣動隔膜泵，9、排油管，10、廢油桶，11、壓縮空氣管道，12、連接軟管，1201、塑料軟管，1202、鋼絲管。

具體實施方式

如圖所示，一種單晶爐真空泵廢油收集系統(tǒng)，包括氣動隔膜泵8、廢油桶10和廢油收集管道2，其中，廢油收集管道2通過若干支管道3分別與每個真空泵1的放油口連接，并通過廢油輸送管道7與氣動隔膜泵8的進口連接，氣動隔膜泵8的出口通過排油管9與廢油桶10連接，在每條支管道3上均設置有閥門Ⅰ4（處于常閉狀態(tài)），在廢油輸送管道7上設置閥門Ⅱ6（該閥門處于常開狀態(tài)），在排油管9和氣動隔膜泵8的壓縮空氣管道11上分別設置有控制閥（處于常閉狀態(tài)）。

以上為本實用新型的基本實施方式，可在以上基礎上做進一步的改進和優(yōu)化：

如，所述真空泵1的放油口與支管道3之間通過連接軟管12連接，該連接軟管12為外層的塑料軟管1201和內層的鋼絲管1202嵌套而成的雙層結構，能夠克服真空泵1運轉時產生的機械震動對管道的損壞，內嵌的鋼絲管1202還具有防止因內部真空引起的塑料軟管1201變形的作用；