[實用新型]冷卻劑再生裝置和線鋸系統

有效

• 申請號: 201520605632.0
• 申請日: 2015-08-12
• 公開（公告）號: CN204914280U
• 公開（公告）日: 2015-12-30
• 發明（設計）人: 井上一真;荻田大;玉井雅之;西田高治
• 申請（專利權）人: 株式會社可樂麗
• 主分類號: B28D7/02
• 分類號: B28D7/02;B28D5/04;B28D1/06
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 張雨;李婷

技術領域

本實用新型涉及一種使用于對硅、藍寶石、鎵砷、磁鐵等各種脆性材料進行加工的線鋸裝置的冷卻劑再生裝置以及具備該冷卻劑再生裝置的線鋸系統。

背景技術

例如在制造半導體元件、太陽能電池元件等制品的過程中，進行將塊狀的硅錠(硅材料)切斷為預先規定的尺寸的切片工序。在該切片工序中，當使用線鋸裝置切斷硅錠時，為了抑制切斷部分的溫度上升以及賦予潤滑性而使用冷卻劑。在切片工序使用后的冷卻劑(使用過的冷卻劑)中含有硅等切削屑(淤渣)。

例如，在日本專利公開公報特開2010-253622號中公開了向線鋸(固定磨粒線)供給冷卻劑并切斷硅材料的線鋸的冷卻劑管理方法以及裝置。該日本專利公開公報特開2010-253622號中設有接收從線鋸掉下的切斷淤漿的淤漿接收槽。在該淤漿接收槽中接收的切斷淤漿被導向離心分離機。被導向離心分離機的切斷淤漿被分離為粗粒固體成分和分離液。在離心分離機被分離的分離液被供給到膜過濾裝置，被分離為微粒混合液和回收冷卻劑。在離心分離機被分離的分離液的一部分和在膜過濾裝置分離的回收冷卻劑在調配罐被調配而再次被供給到線鋸。

作為線鋸裝置，例如有圖8所示的類型。圖8所示的線鋸裝置2具備線鋸21、線鋸罐22以及循環機構23。該循環機構23包含循環路徑24和循環泵25。在線鋸裝置2中，當在線鋸21加工硅錠時，向線鋸21供給冷卻劑。使用后的冷卻劑在包含切削屑的狀態下被回收到線鋸罐22。被回收的冷卻劑利用循環泵25而通過循環路徑24再次被供給到線鋸21。

在如圖8所示的線鋸裝置2中，隨著硅錠的加工的進行，線鋸罐22內的冷卻劑中的切削屑濃度(淤渣濃度)逐漸上升。如果該切削屑濃度達到規定濃度以上，有時會影響切斷硅錠而制得的晶片的質量。因此，在使用線鋸裝置2進行加工后，將線鋸罐22內的冷卻劑的一部分或全部更換為新的冷卻劑。據此，能夠防止線鋸罐22內的冷卻劑中的切削屑濃度上升到規定濃度以上。然而，此種冷卻劑的更換作業繁雜，成為使生產效率降低的原因。

此外，上述的日本專利公開公報特開2010-253622號的裝置中，通過了離心分離機以及膜過濾裝置的冷卻劑在調配罐中被調配，并從該調配罐通過冷卻劑供給管而直接供給至線鋸，因此，不能把日本專利公開公報特開2010-253622號的裝置直接適用于具備圖8所示的結構的線鋸裝置2中。如果將日本專利公開公報特開2010-253622號的裝置直接適用于具備圖8所示的結構的線鋸裝置2中，則用于將線鋸罐22內的冷卻劑供給至線鋸21的循環機構23無用處。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種冷卻劑再生裝置，使用于具備線鋸、回收在線鋸中使用的冷卻劑的線鋸罐以及將線鋸罐內的冷卻劑送回線鋸的循環機構的線鋸裝置，在賦予冷卻劑的再生功能時，能夠有效地利用線鋸裝置的循環機構，而且，能夠自動且穩定地將線鋸罐內的冷卻劑中包含的切削屑濃度維持得低。本實用新型的目的還在于提供一種包括所述冷卻劑再生裝置的線鋸系統。

本實用新型的一個方面涉及冷卻劑再生裝置，其使用于線鋸裝置，該線鋸裝置具備：線鋸；回收在所述線鋸使用過的冷卻劑的線鋸罐；以及使所述線鋸罐內的冷卻劑返回到所述線鋸的循環機構，所述冷卻劑再生裝置包括：導出路徑，導出所述線鋸罐內的冷卻劑的一部分；導出量調節機構，調節向所述導出路徑導出的冷卻劑的導出量；處理裝置，對通過所述導出路徑而被導出的冷卻劑進行再生；導入路徑，將在所述處理裝置被再生的冷卻劑導入所述線鋸罐；以及導入量調節機構，調節向所述線鋸罐導入的冷卻劑的導入量。

在該實用新型中，線鋸裝置的線鋸中使用過的冷卻劑在被回收到線鋸罐后，與通過循環路徑重新供給到線鋸這一冷卻劑的一連的路徑獨立地形成冷卻劑再生用的一連的路徑。在該再生用的路徑中，線鋸罐內的冷卻劑被導出到導出路徑，在處理裝置中被再生的冷卻劑通過導入路徑被導入到線鋸罐。因此，在具備線鋸、線鋸罐以及循環機構的線鋸裝置中，在賦予冷卻劑的再生功能時，能夠有效地利用線鋸裝置的循環機構。

而且，在本實用新型中，從線鋸罐被導出到導出路徑的冷卻劑的導出量由導出量調節機構來調節。此外，處理裝置中再生的冷卻劑向線鋸罐的導入量由導入量調節機構來調節。因此，在本實用新型中，能夠自動且穩定地將線鋸罐內的冷卻劑中所含的切削屑的濃度維持得低。由此，在本實用新型中，無需如圖8所示的線鋸裝置2那樣在加工后將線鋸罐內22內的冷卻劑的一部分或全部更換為新的冷卻劑的作業，因此，能夠防止生產效率降低。