[實用新型]具有多孔結(jié)構(gòu)的氧化物薄膜有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201520593779.2 | 申請日: | 2015-08-07 |
| 公開(公告)號: | CN205011641U | 公開(公告)日: | 2016-02-03 |
| 發(fā)明(設(shè)計)人: | 高彥峰 | 申請(專利權(quán))人: | 瀛石(上海)實業(yè)有限公司;南京協(xié)合新材料科技有限公司 |
| 主分類號: | C03C17/25 | 分類號: | C03C17/25 |
| 代理公司: | 福州君誠知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 35211 | 代理人: | 戴雨君 |
| 地址: | 200001 上海市青浦*** | 國省代碼: | 上海;31 |
| 權(quán)利要求書: | 查看更多 | 說明書: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 具有 多孔 結(jié)構(gòu) 氧化物 薄膜 | ||
1.一種具有多孔結(jié)構(gòu)的氧化物薄膜,其特征在于:其包括基板和覆蓋在基板上的氧化物結(jié)晶晶粒;所述氧化物結(jié)晶晶粒具有金屬-絕緣體相變的結(jié)晶結(jié)構(gòu),該氧化物結(jié)晶晶粒呈規(guī)則的環(huán)狀結(jié)構(gòu),且環(huán)狀結(jié)構(gòu)的氧化物結(jié)晶晶粒覆蓋在所述基板上形成連續(xù)的氧化物薄膜,其中氧化物結(jié)晶晶粒的環(huán)狀結(jié)構(gòu)的內(nèi)徑為30-3000納米。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述一種具有多孔結(jié)構(gòu)的氧化物薄膜,其特征在于:所述氧化物結(jié)晶晶粒為二氧化釩結(jié)晶晶粒。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述一種具有多孔結(jié)構(gòu)的氧化物薄膜,其特征在于:所述形成的連續(xù)的氧化物薄膜厚度小于400納米。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述一種具有多孔結(jié)構(gòu)的氧化物薄膜,其特征在于:所述形成的連續(xù)的氧化物薄膜厚度小于100納米。
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