[實用新型]具有多孔結構的氧化物薄膜有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201520593779.2 | 申請日： | 2015-08-07 |
| 公開（公告）號： | CN205011641U | 公開（公告）日： | 2016-02-03 |
| 發(fā)明（設計）人： | 高彥峰 | 申請（專利權）人： | 瀛石（上海）實業(yè)有限公司;南京協(xié)合新材料科技有限公司 |
| 主分類號： | C03C17/25 | 分類號： | C03C17/25 |
| 代理公司： | 福州君誠知識產(chǎn)權代理有限公司 35211 | 代理人： | 戴雨君 |
| 地址： | 200001 上海市青浦*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 具有 多孔 結構 氧化物 薄膜 | ||
【權利要求書】：
1.一種具有多孔結構的氧化物薄膜,其特征在于：其包括基板和覆蓋在基板上的氧化物結晶晶粒；所述氧化物結晶晶粒具有金屬-絕緣體相變的結晶結構，該氧化物結晶晶粒呈規(guī)則的環(huán)狀結構，且環(huán)狀結構的氧化物結晶晶粒覆蓋在所述基板上形成連續(xù)的氧化物薄膜，其中氧化物結晶晶粒的環(huán)狀結構的內(nèi)徑為30-3000納米。
2.根據(jù)權利要求1所述一種具有多孔結構的氧化物薄膜,其特征在于：所述氧化物結晶晶粒為二氧化釩結晶晶粒。
3.根據(jù)權利要求2所述一種具有多孔結構的氧化物薄膜,其特征在于：所述形成的連續(xù)的氧化物薄膜厚度小于400納米。
4.根據(jù)權利要求3所述一種具有多孔結構的氧化物薄膜,其特征在于：所述形成的連續(xù)的氧化物薄膜厚度小于100納米。
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