[實用新型]具有多孔結構的氧化物薄膜有效
| 申請號： | 201520593779.2 | 申請日： | 2015-08-07 |
| 公開（公告）號： | CN205011641U | 公開（公告）日： | 2016-02-03 |
| 發明（設計）人： | 高彥峰 | 申請（專利權）人： | 瀛石（上海）實業有限公司;南京協合新材料科技有限公司 |
| 主分類號： | C03C17/25 | 分類號： | C03C17/25 |
| 代理公司： | 福州君誠知識產權代理有限公司 35211 | 代理人： | 戴雨君 |
| 地址： | 200001 上海市青浦*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 具有 多孔 結構 氧化物 薄膜 | ||
【權利要求書】：
1.一種具有多孔結構的氧化物薄膜,其特征在于：其包括基板和覆蓋在基板上的氧化物結晶晶粒；所述氧化物結晶晶粒具有金屬-絕緣體相變的結晶結構，該氧化物結晶晶粒呈規則的環狀結構，且環狀結構的氧化物結晶晶粒覆蓋在所述基板上形成連續的氧化物薄膜，其中氧化物結晶晶粒的環狀結構的內徑為30-3000納米。
2.根據權利要求1所述一種具有多孔結構的氧化物薄膜,其特征在于：所述氧化物結晶晶粒為二氧化釩結晶晶粒。
3.根據權利要求2所述一種具有多孔結構的氧化物薄膜,其特征在于：所述形成的連續的氧化物薄膜厚度小于400納米。
4.根據權利要求3所述一種具有多孔結構的氧化物薄膜,其特征在于：所述形成的連續的氧化物薄膜厚度小于100納米。
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