[實用新型]一種玻璃光罩倒角裝置有效
| 申請號: | 201520591113.3 | 申請日: | 2015-08-08 |
| 公開(公告)號: | CN204790306U | 公開(公告)日: | 2015-11-18 |
| 發明(設計)人: | 不公告發明人 | 申請(專利權)人: | 廣州市仕元光電有限公司 |
| 主分類號: | G03F1/72 | 分類號: | G03F1/72 |
| 代理公司: | 暫無信息 | 代理人: | 暫無信息 |
| 地址: | 510730 廣東省廣*** | 國省代碼: | 廣東;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 玻璃 倒角 裝置 | ||
技術領域
本實用新型涉及玻璃光罩技術領域,尤其涉及一種玻璃光罩倒角裝置。
背景技術
玻璃光罩,也稱光罩、光掩模版、MASK、光學玻璃,常見的玻璃光罩有鉻版、干版等,是指用高品質石英玻璃或蘇打玻璃作為襯底,在其上面鍍上一層金屬鉻和感光膠,成為一種感光材料,把已設計好的電路圖形通過激光設備精密定位曝光在感光膠上,被曝光的區域會被顯影出來,經過蝕刻、脫膜后在金屬鉻上形成電路圖形的產品。
玻璃光罩原材料的標準尺寸通常有3英寸、4英寸、5英寸、6英寸、7英寸、9英寸、16*18英寸、450*550mm、508*609mm、620*720mm、700*800mm等規格;有些客戶對玻璃光罩尺寸有不同需求,超出標準尺寸規格的玻璃光罩,需要訂制客戶需求尺寸的原材料,客戶對玻璃光罩尺寸規格需求越多,就需要采購各種規格的庫存,容易出現呆料和過期,庫存成本高,而且采購定制的規格數量較少時,供應商不生產,造成采購困難;為了滿足客戶的個性化需求,又能降低成本,通常用標準尺寸的材料切割成各種尺寸,切割后的邊緣非常鋒利,通常采用平面磨邊機進行手工倒角打磨處理,但是手工倒角處理時間長,倒角邊緣不整齊,倒角的角度可控制性差,因倒角質量問題遭到客戶多次投訴。
發明內容
為此,本實用新型所要解決的技術問題是:提供一種玻璃光罩倒角裝置,以解決現有技術中玻璃光罩倒角處理時間長、邊緣不整齊和倒角角度的問題,提高倒角效率和質量。
于是,本實用新型提供了一種玻璃光罩倒角裝置,包括:用于放置玻璃光罩的滑輪導軌、用于玻璃光罩倒角的金剛砂輪、用于調節砂帶的被動輥軸、以及用于驅動主動輥軸運轉的驅動裝置,主動輥軸、被動輥軸和金剛砂輪之間由砂帶連接,被動輥軸和金剛砂輪的運轉則由主動輥軸通過砂帶帶動。
其中,所述裝置包括兩個所述主動輥軸、兩個所述被動輥軸和兩個所述金剛砂輪,且一個所述主動輥軸、一個所述被動輥軸和和一個所述金剛砂輪組成一組,其中,一組所述主動輥軸、所述被動輥軸和所述金剛砂輪設置于所述玻璃光罩的前方,另一組所述主動輥軸、所述被動輥軸和所述金剛砂輪設置于所述玻璃光罩的后方,且兩個所述金剛砂輪緊鄰設置以便在所述玻璃光罩前后兩面分別打磨所述玻璃光罩邊角。
所述滑輪導軌的滑輪上有用于引導所述玻璃光罩移動的凹槽。
所述金剛砂輪為四個圓形金剛砂輪片以相同間距固定在一個輥軸上組成。
本實用新型所述一種玻璃光罩倒角裝置,通過驅動裝置帶動主動輥軸旋轉,主動輥軸通過砂帶使被動輥軸和金剛砂輪高速旋轉,當玻璃光罩通過滑輪導軌向左移動時,玻璃光罩的邊角與高速旋轉的金剛砂輪磨擦,使玻璃光罩的邊角變光滑,以及玻璃光罩的四個直角在砂帶上磨鈍,實現去除玻璃光罩鋒利邊角的功能;克服了采用平板磨邊機倒角處理時間長、邊緣不整齊和倒角角度質量差的問題。
附圖說明
圖1為本實用新型實施例所述一種玻璃光罩倒角裝置正面結構示意圖。
圖2為本實用新型實施例所述一種玻璃光罩倒角裝置側面結構示意圖。
具體實施方式
下面,結合附圖對本實用新型進行詳細描述。
如圖1所示,本實施例提供了一種玻璃光罩倒角裝置,該裝置包括:用于放置玻璃光罩32的滑輪導軌31、用于玻璃光罩32倒角的金剛砂輪12、用于調節砂帶21的被動輥軸13、以及用于驅動主動輥軸11運轉的驅動裝置(圖中未標示),主動輥軸11、被動輥軸13和金剛砂輪12之間由砂帶21連接,被動輥軸13和金剛砂輪12的運轉則由主動輥軸11通過砂帶21帶動。
為實現玻璃光罩32前后兩邊同時倒角,所述裝置包括兩個所述主動輥軸11、兩個所述被動輥軸13和兩個所述金剛砂輪12,且一個所述主動輥軸11、一個所述被動輥軸13和和一個所述金剛砂輪12組成一組,其中,一組所述主動輥軸11、所述被動輥軸13和所述金剛砂輪12設置于所述玻璃光罩32的前方,另一組所述主動輥軸11、所述被動輥軸13和所述金剛砂輪12設置于所述玻璃光罩32的后方,且兩個所述金剛砂輪12緊鄰設置以便在所述玻璃光罩32前后兩面分別高速打磨所述玻璃光罩32邊角。
為實現玻璃光罩32在一個水平面向左移動,本實施例所述一種玻璃光罩32倒角裝置所述滑輪導軌31的滑輪上有用于引導所述玻璃光罩32移動的凹槽。
為了提高玻璃光罩倒角的效率和質量,本實施例所述一種玻璃光罩32倒角裝置所述金剛砂輪12為四個圓形金剛砂輪片以相同間距固定在一個輥軸上組成。
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G03F1-00 用于圖紋面的照相制版的原版,例如掩膜,光掩膜;其所用空白掩膜或其所用薄膜;其專門適用于此的容器;其制備
G03F1-20 .用于通過帶電粒子束(CPB)輻照成像的掩膜或空白掩膜,例如通過電子束;其制備
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G03F1-26 .相移掩膜[PSM];PSM空白;其制備
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G03F1-38 .具有輔助特征的掩膜,例如用于校準或測試的特殊涂層或標記;其制備





