[實用新型]振動的拉晶爐

有效

• 申請號: 201520589703.2
• 申請日: 2015-08-04
• 公開（公告）號: CN204752898U
• 公開（公告）日: 2015-11-11
• 發明（設計）人: 陳磊;劉栓紅;趙麗萍;張文濤;蔡水占;郭晶晶;張會超;陳永平;王東勝;惠小青;辛世明;田紅麗
• 申請（專利權）人: 河南鴻昌電子有限公司
• 主分類號: C30B15/00
• 分類號: C30B15/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本實用新型涉及半導體致冷件生產技術領域的設備，特別是涉及拉晶爐。

背景技術

晶粒是制造半導體致冷件的部件，晶粒的主要成分是三碲化二鉍，作為制造致冷件的晶粒要求其分子排列整齊，晶粒里面的分子排列越整齊，致冷件的效率就越高。

晶粒是由晶棒切割而成的，這就要求晶棒里面的分子排列是整齊的。

制造晶棒時，對其里面的分子進行排列的過程就是拉晶，拉晶是在拉晶爐中進行的，原料盛裝在拉晶管中進行拉晶，現有技術中，拉晶爐中沒有振動裝置，這樣拉晶的過程就在靜止的狀態下進行，具有拉晶效果差、拉晶時間長、生產效率低的缺點。

發明內容

本實用新型的目的就是針對上述缺點，提供一種拉晶效果好、生產效率高的拉晶爐——振動的拉晶爐。

本實用新型的技術方案是這樣實現的：振動的拉晶爐，包括爐體，爐體具有爐腔，在爐腔內具有安裝拉晶管的卡座，所述的爐腔內還有拉晶套，拉晶套是對產品進行拉晶的部件，其特征是：所述的卡座下面設置有振動裝置。

進一步地講，所述的振動裝置的振幅是1—2毫米，頻率是20—25赫茲。

進一步地講，所述的振動裝置連接控制裝置，所述的拉晶套連接控制裝置，在拉晶進行到三分之二時，控制裝置可以使振動裝置停止工作。

本實用新型的有益效果是：

1、這樣的振動的拉晶爐具有拉晶效果好、生產效率高的優點；

2、所述的振動裝置的振幅是1—2毫米，頻率是20—25赫茲，具有效果更好的優點；

3、所述的振動裝置連接控制裝置，所述的拉晶套連接控制裝置，在拉晶進行到三分之二時，控制裝置可以使振動裝置停止工作，具有自動化程度高的優點。

附圖說明

圖1是本實用新型的剖面結構示意圖。

其中：1、爐體2、爐腔3、卡座4、拉晶套5、振動裝置6、拉晶管7、控制裝置。

具體實施方式

下面結合附圖對本實用新型作進一步說明。

如圖1所示，振動的拉晶爐，包括爐體1，爐體具有爐腔2，在爐腔內具有安裝拉晶管的卡座3，所述的爐腔內還有拉晶套4，拉晶套是對產品進行拉晶的部件，其特征是：所述的卡座下面設置有振動裝置5，這樣拉晶的過程中，拉晶管6就會處于振動狀態，有利于其里面分子的排列，具有本實用新型的優點。

進一步地講，所述的振動裝置的振幅是1—2毫米，頻率是20—25赫茲，這樣可以取得較好的拉晶效果。

進一步地講，所述的振動裝置連接控制裝置7，所述的拉晶套連接控制裝置，在拉晶進行到三分之二時，控制裝置可以使振動裝置停止工作。在拉晶的后期，拉晶管處于靜止狀態，其拉晶的效果更好。

以上所述僅為本實用新型的具體實施例，但本實用新型的結構特征并不限于此，任何本領域的技術人員在本實用新型的領域內，所作的變化或修飾皆涵蓋在本實用新型的專利范圍內。