[實用新型]一種高通量液相物質組合遞送裝置

有效

• 申請號: 201520587500.X
• 申請日: 2015-08-06
• 公開（公告）號: CN204911399U
• 公開（公告）日: 2015-12-30
• 發明（設計）人: 向勇;王曉波;張曉琨
• 申請（專利權）人: 寧波英飛邁材料科技有限公司
• 主分類號: B01F15/02
• 分類號: B01F15/02
• 代理公司: 寧波誠源專利事務所有限公司 33102
• 代理人: 劉鳳欽;王瑩

1.一種高通量液相物質組合遞送裝置，其特征在于：包括用于輸送前驅體溶液的溶液輸送裝置、用于混合不同前驅體溶液的溶液混合器(2)、用于輸出所述溶液混合器(2)中混合溶液的推送器(3)；

所述溶液輸送裝置包括至少兩個前驅體溶液輸送通道(11)及分別連接在各前驅體溶液輸送通道(11)的輸入口上的前驅體溶液儲存器(1)；

所述溶液混合器(2)上具有溶液輸入口以及溶液輸出口，所述溶液輸入口與各前驅體溶液輸送通道(11)的輸出口相連接；

所述推送器(3)設置于所述溶液混合器(2)的上方，所述推送器(3)能夠伸入到所述溶液混合器(2)中以推動所述溶液混合器(2)中溶液自所述溶液輸出口輸出。

2.根據權利要求1所述的高通量液相物質組合遞送裝置，其特征在于：所述溶液混合器(2)包括至少兩個，所述溶液混合器(2)均設置在一可活動的支撐體(4)上，所述支撐體(4)能夠帶動各個所述溶液混合器(2)移動以使得各個所述溶液混合器(2)的溶液輸入口與各前驅體溶液輸送通道(11)的輸出口相連通。

3.根據權利要求2所述的高通量液相物質組合遞送裝置，其特征在于：所述支撐體(4)為一可轉動的平臺。

4.根據權利要求2所述的高通量液相物質組合遞送裝置，其特征在于：每個溶液混合器(2)的溶液輸出口上連接有一混合液輸送管(5)，每個所述混合液輸送管(5)上設置有一開關閥(51)。

5.根據權利要求1所述的高通量液相物質組合遞送裝置，其特征在于：每個所述前驅體溶液輸送通道(11)上均設置有一閥門(6)。

6.根據權利要求1～5任一權利要求所述的高通量液相物質組合遞送裝置，其特征在于：還包括一清洗裝置，所述清洗裝置包括用于容置清洗劑的清洗劑儲存器(7)以及連接在清洗劑儲存器(7)上的清洗通道(71)，所述清洗通道(71)的出口能與所述溶液混合器(2)的溶液輸入口相連通。

7.根據權利要求6所述的高通量液相物質組合遞送裝置，其特征在于：還包括一輸導管(8)，所述輸導管(8)的一端與每個前驅體溶液輸送通道(11)的輸出口及所述清洗通道(71)的出口相連接，所述輸導管(8)的另一端與所述溶液混合器(2)的溶液輸入口相連通。

8.根據權利要求6所述的高通量液相物質組合遞送裝置，其特征在于：所述清洗通道(71)上設置有一閥門(6)。