[實用新型]太陽能電池硅片清洗裝置

有效

• 申請號: 201520584548.5
• 申請日: 2015-08-05
• 公開（公告）號: CN204953426U
• 公開（公告）日: 2016-01-13
• 發明（設計）人: 何晨旭;孔祥照;朱潔;朱姚培
• 申請（專利權）人: 江蘇榮馬新能源有限公司
• 主分類號: B08B3/06
• 分類號: B08B3/06;B08B3/10;B08B3/12
• 代理公司: 南京經緯專利商標代理有限公司 32200
• 代理人: 張惠忠

技術領域

本實用新型涉及一種清洗裝置，尤其涉及一種太陽能電池硅片清洗裝置。

背景技術

隨著科學技術的發展，硅片的應用越來越廣，在各種領域中都得到了應用。

半導體器件生產中硅片須經嚴格清洗。微量污染也會導致器件失效。清洗的目的在于清除表面污染雜質，包括有機物和無機物。這些雜質有的以原子狀態或離子狀態，有的以薄膜形式或顆粒形式存在于硅片表面。有機污染包括光刻膠、有機溶劑殘留物、合成蠟和人接觸器件、工具、器皿帶來的油脂或纖維。無機污染包括重金屬金、銅、鐵、鉻等，嚴重影響少數載流子壽命和表面電導；堿金屬如鈉等，引起嚴重漏電；顆粒污染包括硅渣、塵埃、細菌、微生物、有機膠體纖維等，會導致各種缺陷。清除污染的方法有物理清洗和化學清洗兩種。

硅片清洗時需要用到清洗裝置，但是一般的清洗裝置清洗效果比較差，而且硅片清洗后還要取出進行甩干，操作起來比較麻煩。

實用新型內容

本實用新型發明的目的是提供一種太陽能電池硅片清洗裝置，該太陽能電池硅片清洗裝置解決了清洗裝置清洗效果不好和清洗后甩干操作不方便的問題。

為了實現上述發明目的，本實用新型的太陽能電池硅片清洗裝置包括支架、清洗槽、表面開有孔洞的轉筒，清洗槽設置在支架上，清洗槽內設有轉筒，清洗槽下方設有電機，電機輸出端連接轉軸，轉軸延伸至清洗槽內，轉軸與轉筒連接，所述轉筒內設有若干層隔網，所述清洗槽內設有溫度傳感器、加熱裝置、超聲波發生器，清洗槽外側設有控制器，溫度傳感器、加熱裝置分別與控制器連接，所述清洗槽外壁下端設有出水管，出水管與排水管連接，出水管與排水管之間設有給水管，給水管的出水端延伸至清洗槽上方，所述出水管上設有第一閥門，排水管上設有第二閥門，給水管上設有水泵。

所述加熱裝置為加熱管。

所述電機為防震電機。

所述隔網與轉筒內壁卡槽連接。

所述第一閥門、第二閥門均為電磁閥。

采用這種太陽能電池硅片清洗裝置，具有以下優點：

1、由于清洗槽內設有轉筒，清洗槽下方設有電機，電機輸出端連接轉軸，轉軸延伸至清洗槽內，轉軸與轉筒連接，這樣在硅片清洗時，可以提高清洗效果，而且清洗完后，可以利用轉筒進行甩干，操作起來非常方便；

2、由于清洗槽內設有溫度傳感器、加熱裝置，溫度傳感器、加熱裝置分別與控制器連接，當清洗槽內的清洗液溫度高于或低于設定值范圍時，由控制器控制加熱裝置是否工作，這樣就能保證清洗液始終保持在最適宜的清洗溫度，提高了清洗效果；而且使用了超聲波發生器，進一步提高了清洗效果；

3、由于清洗槽外壁下端設有出水管，出水管與排水管連接，出水管與排水管之間設有給水管，這樣可以使清洗液進行循環流動，進一步提高了清洗效果。

附圖說明

下面結合附圖和具體實施方式對本實用新型作進一步詳細的說明。

圖1是本實用新型太陽能電池硅片清洗裝置的結構示意圖。

其中有：1.支架；2.清洗槽；3.轉筒；4.電機；5.轉軸；6.隔網；7.超聲波發生器；8.溫度傳感器；9.加熱裝置；10.控制器；11.出水管；12.排水管；13.給水管；14.第一閥門；15.水泵；16.第二閥門。

具體實施方式

圖1所示太陽能電池硅片清洗裝置，包括支架1、清洗槽2、表面開有孔洞的轉筒3，清洗槽2設置在支架1上，清洗槽2內設有轉筒3，清洗槽2下方設有電機4，電機4輸出端連接轉軸5，轉軸5延伸至清洗槽2內，轉軸5與轉筒3連接，所述轉筒3內設有若干層隔網6，所述清洗槽2內設有溫度傳感器8、加熱裝置9、超聲波發生器7，清洗槽2外側設有控制器10，溫度傳感器8、加熱裝置9分別與控制器10連接，所述清洗槽2外壁下端設有出水管11，出水管11與排水管12連接，出水管11與排水管12之間設有給水管13，給水管13的出水端延伸至清洗槽2上方，所述出水管11上設有第一閥門14，排水管12上設有第二閥門16，給水管13上設有水泵15。

所述加熱裝置9為加熱管。

所述電機4為防震電機。

所述隔網6與轉筒3內壁卡槽連接。

所述第一閥門14、第二閥門16均為電磁閥。