[實用新型]MEMS麥克風的振膜結(jié)構(gòu)及MEMS麥克風有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201520566929.0 | 申請日： | 2015-07-30 |
| 公開（公告）號： | CN204836578U | 公開（公告）日： | 2015-12-02 |
| 發(fā)明（設計）人： | 萬蔡辛 | 申請（專利權(quán)）人： | 北京卓銳微技術有限公司 |
| 主分類號： | H04R19/04 | 分類號： | H04R19/04 |
| 代理公司： | 北京成創(chuàng)同維知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11449 | 代理人： | 蔡純;張靖琳 |
| 地址： | 100191 北京市海*** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | mems 麥克風 膜結(jié)構(gòu) | ||
1.一種MEMS麥克風的振膜結(jié)構(gòu)，其特征在于，包括：振膜主體、錨區(qū)以及多個連接所述振膜主體和錨區(qū)的折疊梁，
其中，所述折疊梁包括多個連續(xù)延伸的段，以及向著相鄰段橫向延伸的多個第一突起，用于限制該段以及相鄰段的相對范圍。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的振膜結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述第一突起的長度大于相鄰段之間的間隙的一半。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的振膜結(jié)構(gòu)，其特征在于，相鄰段之間的間隙為2微米至20微米，第一突起和相鄰的段之間的間隙為0.5微米至2微米。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的振膜結(jié)構(gòu)，其特征在于，至少一個所述段包括沿振膜的振動方向的第二突起。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的振膜結(jié)構(gòu)，其特征在于，至少一個所述第二突起設置于所述第一突起上。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的振膜結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述振膜結(jié)構(gòu)還包括設置于背板上的第三突起。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的振膜結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述第三突起和第二突起在振膜平面的投影位置靠近。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的振膜結(jié)構(gòu)，其特征在于，相鄰第一突起之間的過渡曲線在數(shù)學上連續(xù)并且曲率變化均勻。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的振膜結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述振膜結(jié)構(gòu)還包括設置在錨區(qū)上的第四突起，用于限制所述折疊梁的運動范圍。
10.一種MEMS麥克風，其特征在于，所述MEMS麥克風包括如權(quán)利要求1至9任一項所述的振膜結(jié)構(gòu)。
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