[實用新型]一種柔性傳感器陣列

有效

• 申請號: 201520559137.0
• 申請日: 2015-07-29
• 公開（公告）號: CN204833209U
• 公開（公告）日: 2015-12-02
• 發明（設計）人: 張珽;熊作平;谷文
• 申請（專利權）人: 蘇州能斯達電子科技有限公司
• 主分類號: G06F3/041
• 分類號: G06F3/041
• 代理公司: 北京科億知識產權代理事務所(普通合伙) 11350
• 代理人: 湯東鳳

技術領域

本實用新型涉及傳感器技術領域，尤其涉及一種柔性傳感器陣列。

背景技術

隨著柔性電子學的發展，柔性傳感技術已逐漸發展成為一項令人矚目的高新智能交互技術，對實現柔性接觸界面、曲面和不規則形狀接觸界面之間的接觸交互作用力的感測，以及動態分布信息的感測具有至關重要的作用。基于此技術的柔性傳感器陣列是測量多種柔性接觸界面及超窄間隙接觸界面之間接觸壓力大小及分布信息的理想器件，表現出了極大的應用前景。

而，傳統的剛性或柔性較小的傳感器難以準確感測上述接觸界面之間的接觸交互作用力及其動態分布信息，并且，傳統的制備方法也難以達到此類新型柔性傳感器陣列的制備精度和批量制備速度與低成本。

實用新型內容

本實用新型針對上述的不足，提供了一種柔性傳感器陣列及其制備方法。

本實用新型實施例提供了一種柔性傳感器陣列，包括柔性襯底、陣列電極、柔性敏感層和保護層；

所述陣列電極設置于所述柔性襯底的表面，其中，所述陣列電極包括至少一個電極陣列；

在所述陣列電極的表面設置有所述柔性敏感層；

所述保護層設置于所述柔性敏感層的上方，且，所述保護層覆蓋所述柔性敏感層和所述柔性襯底。

優選的，還包括引線電極，其中，所述柔性襯底包括陣列區和引線區：

所述陣列電極設置于所述陣列區，所述引線電極設置于所述引線區，且，所述引線電極設置于所述柔性襯底的表面。

優選的，所述保護層覆蓋所述柔性敏感層和位于所述陣列區的所述柔性襯底。

優選的，所述柔性襯底通過紫外壓印具有第一圖案。

優選的，所述陣列電極通過氣溶膠噴墨方式印刷于所述柔性襯底的表面。

優選的，所述陣列電極通過無膠柔性印刷電路板方式設置于所述柔性襯底的表面。

優選的，所述電極陣列為金屬薄膜電極陣列。

優選的，所述柔性襯底為乙烯-醋酸乙烯共聚物、聚乙烯醇、聚二甲基硅氧烷、聚對苯二甲酸乙二酯、聚甲基丙烯酸甲酯、聚酰亞胺和聚乙烯中的一種。

優選的，所述柔性敏感層的材料為納米材料。

優選的，所述保護層的材料為具有生物相容性的柔性高分子材料。

本實用新型實施例中的一個或多個技術方案，至少具有如下技術效果或優點：

通過在柔性襯底和柔性敏感層之間設置包括至少一個電極陣列的陣列電極，每個電極陣列都能夠獨立采集壓力數據，從而實現了同時采集多點壓力數據的技術效果，并且，基于納米材料的三維孔狀結構可以保證柔性傳感器陣列具有高靈敏度和信噪比，同時，本申請的柔性傳感器陣列在工業生產上簡單、方便，還可以實現高精度、大批量、低成本的制備。

附圖說明

圖1為本實用新型一種實施例中柔性傳感器陣列的俯視圖；

圖2為本實用新型另一種實施例中柔性傳感器陣列的俯視圖。

圖中標記為：1為電極陣列，2為保護層，3為柔性襯底，4為引線電極。

具體實施方式

為使本實用新型實施例的目的、技術方案和優點更加清楚，下面將結合本實用新型實施例中的附圖，對本實用新型實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例是本實用新型一部分實施例，而不是全部的實施例。基于本實用新型中的實施例，本領域普通技術人員在沒有作出創造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本實用新型保護的范圍。

本實用新型提供一種柔性傳感器陣列，如圖1所示，所述柔性傳感器陣列包括柔性襯底3、陣列電極、柔性敏感層和保護層2，陣列電極設置于柔性襯底3的表面，其中，陣列電極包括至少一個電極陣列1。在陣列電極的表面設置有柔性敏感層。保護層2設置于柔性敏感層的上方，且，保護層2覆蓋所述柔性襯底3和柔性敏感層。

進一步，如圖2所示，柔性傳感器陣列還包括引線電極4，其中，柔性襯底3包括陣列區和引線區，陣列電極設置于陣列區，引線電極4設置于引線區，且，引線電極4設置于柔性襯底3的表面。同時，保護層2覆蓋柔性敏感層和位于陣列區的柔性襯底3。

其中，柔性襯底3為乙烯-醋酸乙烯共聚物、聚乙烯醇、聚二甲基硅氧烷、聚對苯二甲酸乙二酯、聚甲基丙烯酸甲酯、聚酰亞胺和聚乙烯中的一種。同時，柔性襯底3通過紫外壓印具有第一圖案。通過納米壓印技術中的紫外壓印，可在柔性襯底3上實現不同微結構圖案化復形的可控制備，紫外壓印不需要高溫、高壓的條件，速度快、環節少、成本低，并且可以在納米尺度得到高分辨率的圖案。