[實用新型]635納米的窄帶濾光片

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201520551992.7
• 申請日: 2015-07-28
• 公開（公告）號: CN204855848U
• 公開（公告）日: 2015-12-09
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 王衛(wèi)國;其他發(fā)明人請求不公開姓名
• 申請（專利權(quán)）人: 王衛(wèi)國
• 主分類號: G02B5/20
• 分類號: G02B5/20;G02B1/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及一種光學(xué)薄膜技術(shù)，具體是635納米的窄帶濾光片。

背景技術(shù)

窄帶濾光片的主要作用是對光進行光譜選擇，使需要的光通過，不需要的波長光截止，它作為濾光和選擇譜線的主要器件，有著廣泛的應(yīng)用。635納米波長作為一種激光測距的光譜波長，現(xiàn)在的技術(shù)所提供的635納米的窄帶濾光片，其信噪比低，精度不高，不能滿足市場要求。

發(fā)明內(nèi)容

為了解決上述技術(shù)問題，我們提供一種635納米窄帶濾光片，從而實現(xiàn)成本低、特性良好、截止區(qū)域內(nèi)截止深度小于3OD、透過率大于90%、具有良好信噪比、滿足高精度的測量儀器的苛刻需要。

為達到上述目的，本實用新型公開一種635納米的窄帶濾光片，其特征是：以玻璃為基板，鍍膜材料為SiO2和TiO2；膜系結(jié)構(gòu)為基板兩個表面上分別沉積多層薄膜，第一膜系為24層，由內(nèi)到外的材料及厚度分別為TiO2層29納米、SiO2層132納米、TiO2層68納米、SiO2層431納米、TiO2層68納米、SiO2層108納米、TiO2層68納米、SiO2層108納米、TiO2層68納米、SiO2層108納米、TiO2層68納米、SiO2層431納米、TiO2層68納米、SiO2層108納米、TiO2層68納米、SiO2層108納米、TiO2層68納米、SiO2層108納米、TiO2層68納米、SiO2層431納米、TiO2層68納米、SiO2層108納米、TiO2層90納米、SiO2層121納米；第二膜系為68層，由內(nèi)到外的材料及厚度分別為TiO2層28納米、SiO2層62納米、TiO2層48納米、SiO2層73納米、TiO2層44納米、SiO2層67納米、TiO2層41納米、SiO2層66納米、TiO2層41納米、SiO2層70納米、TiO2層39納米、SiO2層62納米、TiO2層37納米、SiO2層63納米、TiO2層34納米、SiO2層68納米、TiO2層53納米、SiO2層81納米、TiO2層47納米、SiO2層77納米、TiO2層50納米、SiO2層84納米、TiO2層59納米、SiO2層83納米、TiO2層49納米、SiO2層77納米、TiO2層49納米、SiO2層84納米、TiO2層61納米、SiO2層85納米、TiO2層48納米、SiO2層72納米、TiO2層36納米、SiO2層75納米、TiO2層92納米、SiO2層152納米、TiO2層97納米、SiO2層145納米、TiO2層83納米、SiO2層144納米、TiO2層90納米、SiO2層145納米、TiO2層85納米、SiO2層144納米、TiO2層88納米、SiO2層145納米、TiO2層88納米、SiO2層147納米、TiO2層93納米、SiO2層149納米、TiO2層101納米、SiO2層170納米、TiO2層111納米、SiO2層178納米、TiO2層103納米、SiO2層169納米、TiO2層105納米、SiO2層175納米、TiO2層108納米、SiO2層173納米、TiO2層104納米、SiO2層173納米、TiO2層107納米、SiO2層173納米、TiO2層108納米、SiO2層170納米、TiO2層103納米、SiO2層84納米。

本實用新型公開一種635納米的窄帶濾光片，其特征為以玻璃為基板，以SiO2和TiO2為鍍膜材料，采用電子束蒸發(fā)，真空度＜10^-3pa，溫度在小于250℃以下的條件下，加以離子輔助沉積，采用反射光的間接式的控制，水晶監(jiān)控沉積速率以保持其穩(wěn)定的沉積速率，沉積速率少于8?/S。

本實用新型在玻璃基板的兩面，一面采用標準F-P結(jié)構(gòu)進行，而另一面是一個截止次峰結(jié)構(gòu)，這是一種非常優(yōu)異的方法，可以大大提高產(chǎn)品特性，特別適用于大批量生產(chǎn)，物理特性也滿足實際使用要求。

本實用新型提供一種635納米的窄帶濾光片，透過率T＞90%，截止區(qū)域的截止深度小于0.1%，獲得優(yōu)異的信噪比，比目前市場上的產(chǎn)品的性能有了大幅度的提高。

附圖說明

為了更清楚地說明本實用新型實施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面對實施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡單的介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實用新型的一個實施例，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。

圖1為本實用新型實施例的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖中：11是玻璃基板12是第一膜系13是第二膜系。

圖2為本實用新型實施例的測量曲線圖。